Боржингийн агаар агуулсан үе шатууд нь хагас дамжуулагч, микроэлектроник, оптик төхөөрөмж, хиймэл дагуулыг үйлдвэрлэх, туршихад түгээмэл хэрэглэгддэг нарийн тоног төхөөрөмжийн чухал хэсэг юм.Эдгээр үе шатууд нь агаарын нимгэн давхаргад өргөгдсөн, цахилгаан соронзон мотор, шугаман кодлогчоор хөдөлдөг хөдөлгөөнт тавцанг байрлуулсан боржин чулуун сууринаас бүрддэг.Боржингийн агаар агуулсан үе шатууд нь бусад олон төрлийн үе шатуудаас илүүд үздэг олон өвөрмөц шинж чанартай байдаг.
Боржингийн агаар агуулсан үе шатуудын давуу талууд:
1. Өндөр нарийвчлал ба нарийвчлал - Боржин чулуун агаар агуулсан үе шатууд нь өндөр нарийвчлалыг санал болгодог бөгөөд энэ нь хэдхэн нанометрийн нарийвчлалыг хадгалах чадвартай.Энэ нь литографи гэх мэт процессуудад маш чухал бөгөөд аливаа алдаа нь эцсийн бүтээгдэхүүнд мэдэгдэхүйц өөрчлөлт оруулахад хүргэдэг.
2. Ачааллын өндөр хүчин чадал – Боржин чулуун агаарын даацын үе шатууд нь бөмбөлөг холхивч гэх мэт бусад хувилбаруудаас ялгаатай нь хүнд ачааг даах боломжийг олгодог бат бөх боржин чулуун суурьтай.Энэ онцлог нь хагас дамжуулагч болон микроэлектроникийн үйлдвэрлэлд ашигладаг том өрөм, багаж хэрэгсэлтэй ажиллахад тохиромжтой.
3. Үрэлтгүй хөдөлгөөн ба гөлгөр байдал – Боржингийн агаар агуулсан үе шатууд нь хөдөлгөөнт платформыг агаарын нимгэн давхаргад түдгэлзүүлж, тавцан ба суурийн хоорондох холбоог арилгана.Тиймээс хөдөлж буй хэсгүүдийн хооронд үрэлт байхгүй, жигд, чичиргээгүй хөдөлгөөнийг хангана.
4. Өндөр хурдны чадавхи – Боржингийн агаар агуулсан үе шатанд ашиглагддаг цахилгаан соронзон мотор нь өндөр хурдтай хөдөлгөөн хийх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь байрлал тогтоох, сканнердах болон бусад өндөр нарийвчлалтай ажлуудыг хийхэд тохиромжтой.
5. Урт наслалт ба хамгийн бага засвар үйлчилгээ - Тайзны суурийг бүрдүүлдэг боржин чулуун суурь нь онцгой хатуулаг, дулааны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг санал болгодог.Тиймээс боржин чулуун агаар агуулсан үе шатууд нь хамгийн бага засвар үйлчилгээ шаарддаг бөгөөд урт наслах боломжийг олгодог.
Боржингийн агаар агуулсан үе шатуудын сул талууд:
1. Зардал – Боржин чулуун агаар агуулсан үе шатыг зохион бүтээх, үйлдвэрлэхэд ашигладаг дэвшилтэт технологи нь үүнийг өндөр өртөгтэй хөрөнгө оруулалт болгодог.Энэ нь жижиг бизнесүүд эсвэл төсөв багатай компаниудын хувьд сул тал байж болох юм.
2. Цогцолбор суурилуулалт – Боржингийн агаар агуулсан үе шатууд нь суурилуулах, тохируулга хийх, ажиллуулах явцад тусгай мэдлэг, туршлага шаарддаг тул энэ нь мэргэжилтэн бус хүмүүст хүндрэл учруулдаг.
3. Чичиргээнд мэдрэмтгий байдал – Боржингийн агаар агуулсан үе шатууд нь гөлгөр, чичиргээгүй хөдөлгөөнийг хангахаар бүтээгдсэн ч хөвөгч тавцангийн нарийн тэнцвэрийг алдагдуулдаг гадны чичиргээнд өртөж болно.
Дүгнэж хэлэхэд, боржингийн агаар агуулсан үе шатууд нь их хэмжээний ачааг жигд, хурдан хөдөлгөх шаардлагатай өндөр нарийвчлалтай хэрэглээнд зориулагдсан өндөр үр дүнтэй, үнэн зөв шийдэл юм.Бат бөх, удаан эдэлгээтэй, удаан эдэлгээтэй байх нь үүнийг олон үйлдвэрлэл, туршилт, судалгааны ажилд илүүд үздэг.Хэдийгээр анхны өртөг өндөр, нарийн төвөгтэй суурилуулалт нь сул тал байж болох ч боржин чулуун агаар агуулсан үе шатуудын давуу тал нь сул талуудаас давж, нарийн тоног төхөөрөмжид маш сайн хөрөнгө оруулалт болдог.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 10-р сарын 20-ны хооронд