Боржин чулуун агаарын тулгуур шат нь хагас дамжуулагч болон микроэлектроник, оптик төхөөрөмж, хиймэл дагуулыг үйлдвэрлэх, туршихад түгээмэл хэрэглэгддэг нарийн тоног төхөөрөмжийн чухал хэсэг юм. Эдгээр шат нь нимгэн агаарын давхаргаар хөөргөгдөж, цахилгаан соронзон мотор болон шугаман кодлогчоор хөдөлдөг хөдөлгөөнт тавцан байрладаг боржин чулуун сууриас бүрдэнэ. Боржин чулуун агаарын тулгуур шат нь бусад олон төрлийн шатнаас илүү давуу сонголт болгодог олон өвөрмөц шинж чанартай байдаг.
Боржин чулуун агаарын холхивчийн үе шатуудын давуу талууд:
1. Өндөр нарийвчлал ба нарийвчлал – Боржин чулуун хийн тулгуурын үе шатууд нь өндөр түвшний нарийвчлалыг санал болгодог бөгөөд хэдхэн нанометрийн дотор нарийвчлалыг хадгалах чадвартай. Энэ нь литографи гэх мэт процессуудад чухал ач холбогдолтой бөгөөд аливаа алдаа нь эцсийн бүтээгдэхүүнд мэдэгдэхүйц өөрчлөлт оруулж болзошгүй.
2. Өндөр ачааллын багтаамж – Боржин чулуун хийн тулгууртай шат нь бөмбөлөг холхивчтой шат гэх мэт бусад хувилбаруудаас ялгаатай нь хүнд ачааг зөөх боломжийг олгодог бат бөх боржин чулуун суурьтай. Энэ онцлог нь хагас дамжуулагч болон микроэлектроникийн үйлдвэрлэлд ашигладаг том хэмжээтэй хавтан болон багаж хэрэгслийг ашиглахад тохиромжтой.
3. Үрэлтгүй хөдөлгөөн ба жигд байдал – Боржин чулуун хийн тулгууртай шатууд нь хөдөлж буй платформыг нимгэн агаарын давхаргад өлгөдөг бөгөөд энэ нь платформ болон суурийн хоорондох ямар ч холбоог арилгадаг. Ингэснээр хөдөлж буй хэсгүүдийн хооронд үрэлт байхгүй бөгөөд жигд, чичиргээгүй хөдөлгөөнийг хангадаг.
4. Өндөр хурдны чадавхи – Боржин чулуун хийн тулгуурын шатанд ашигладаг цахилгаан соронзон мотор нь өндөр хурдтай хөдөлгөөн хийх боломжийг олгодог тул байрлал тогтоох, сканнердах болон бусад өндөр нарийвчлалтай ажлуудад тохиромжтой.
5. Урт наслалт ба хамгийн бага засвар үйлчилгээ – Тайзны суурийг бүрдүүлдэг боржин чулуун суурь нь онцгой хатуулаг, дулааны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг хангадаг. Тиймээс боржин чулуун агаар агуулсан шат нь хамгийн бага засвар үйлчилгээ шаарддаг бөгөөд урт хугацааны эдэлгээтэй.
Боржин чулуун агаарын холхивчийн үе шатуудын сул талууд:
1. Зардал – Боржин чулуун хийн тулгууртай шатыг зохион бүтээх, үйлдвэрлэхэд ашигладаг дэвшилтэт технологи нь үүнийг үнэтэй хөрөнгө оруулалт болгодог. Энэ нь жижиг бизнес эрхлэгчид эсвэл төсөв багатай компаниудын хувьд сул тал байж болно.
2. Нарийн төвөгтэй суурилуулалт – Боржин чулуун хийн тулгуурын үе шатууд нь суурилуулалт, тохируулга, ашиглалтын явцад тусгай мэдлэг, туршлага шаарддаг тул мэргэжлийн бус хүмүүст хүндрэл учруулдаг.
3. Чичиргээнд мэдрэмтгий байдал – Боржин чулуун агаарын тулгуур шатууд нь жигд, чичиргээгүй хөдөлгөөнийг хангахаар бүтээгдсэн боловч хөвөгч тавцангийн нарийн тэнцвэрийг алдагдуулдаг гадны чичиргээнд нөлөөлж болно.
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуун хийн тулгуур шат нь их хэмжээний ачааг жигд, хурдан зөөх шаардлагатай өндөр нарийвчлалтай хэрэглээнд маш үр дүнтэй, нарийвчлалтай шийдэл юм. Бат бөх, удаан эдэлгээтэй, урт хугацааны ашиглалтын хугацаа нь олон үйлдвэрлэл, туршилт, судалгааны үйл ажиллагаанд илүү тохиромжтой сонголт болгодог. Анхны өндөр өртөг, суурилуулалтын нарийн төвөгтэй байдал нь сул тал байж болох ч боржин чулуун хийн тулгуур шатуудын давуу талууд нь сул талуудаасаа давж гардаг тул нарийн тоног төхөөрөмжид маш сайн хөрөнгө оруулалт болдог.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 10-р сарын 20