Лазер технологи, сансрын гүний судалгаа, хэт хэт ягаан туяаны (EUV) литографийн хурдацтай хөгжиж буй салбарт оптик нарийвчлалын эрэлт атомын түвшинд хүрч байна. Оптик болон фотоникийн компаниудын хувьд нарийвчлалтай шилэн эд ангийн чанар нь зөвхөн техникийн үзүүлэлт биш, харин системийн гүйцэтгэлийг тодорхойлох хүчин зүйл юм.
ZHHIMG Групп дээр бид эдгээр эд ангиудыг үйлдвэрлэхэд зөвхөн материалыг огтлохоос илүү ихийг шаарддаг гэдгийг ойлгож байна; энэ нь гэрэл ба бодисын физикийг эзэмших шаардлагатай гэсэн үг юм. Энэхүү нийтлэлд оптик шилний чухал хэрэглээ болон хэт нарийвчлалтай оптик суурийг бий болгохын тулд бидний даван туулдаг нарийн үйлдвэрлэлийн бэрхшээлүүдийг авч үзэх болно.
Чухал хэрэглээ: Нарийвчлал чухал
Оптик шил нь орчин үеийн фотоникийн гол тулгуур юм. Харилцаа холбооноос эхлээд хамгаалалт хүртэл эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тавигдах шаардлага улам бүр чангарч байна.
1. Лазер цөмийн нэгдэл ба хүчтэй лазер системүүд
Өндөр хүчин чадалтай лазер системд оптик эд ангиуд нь асар их энергийн нягтралыг тэсвэрлэх ёстой. Шилэн дэх аливаа бичил согог эсвэл хольц нь лазерын нөлөөгөөр үүссэн гэмтэлд хүргэж, системийг бүхэлд нь гэмтээж болзошгүй. Энд үйлдвэрлэлийн гол анхаарал нь гадаргуугийн гэмтлийг арилгах, цацрагийн гажуудлаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд өндөр нэгэн төрлийн байдлыг хангахад чиглэгддэг.
2. Сансрын оптик ба гүний орон зай илрүүлэлт
Сансрын дуран болон алсын зайн тандан судлалын багаж хэрэгслийн диафрагмын хэмжээ нэмэгдэхийн хэрээр (одоо 4 метрээс хэтэрсэн) хөнгөн жин болон гадаргуугийн нарийвчлалын шаардлага улам бүр нэмэгдэж байна. Сансрын оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь хэт халуун орчинд хэлбэрээ хадгалах ёстой бөгөөд хэт бага дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй материал шаардлагатай байдаг.
3. Хагас дамжуулагч ба EUV литографи
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд EUV литографийн системүүд нь гадаргуугийн барзгаржилтыг 0.1 нм (RMS)-ээс бага хэмжээнд хянадаг тусгал толь дээр суурилдаг. Атомын түвшний овойлт ч гэсэн гэрлийг тарааж, чипийн нягтралыг алдагдуулдаг. Энэ нь оптик шил үйлдвэрлэлийн оргил үеийг илэрхийлдэг.
Үйлдвэрлэлийн сорилт: Стресс, хавтгай байдал, гөлгөр байдал
Эдгээр хэрэглээнд шаардлагатай чанарыг хангахын тулд үйлдвэрлэлийн процесст гурван томоохон саад бэрхшээлийг даван туулах шаардлагатай.
1. Дотоод стрессийг хянах
Үлдэгдэл стресс нь оптик тогтвортой байдлын дайсан юм. Энэ нь хоёр хугаралт (хугарлын индексийг өөрчлөх) үүсгэж, дулааны ачааллын дор хагарал үүсэхэд хүргэдэг.
- Сорилт: Хатуу, хэврэг шилийг боловсруулах нь ихэвчлэн бичил стресс үүсгэдэг.
- Бидний арга барил: Бид дэвшилтэт хайлуулах процесс болон бага гэмтэлтэй хэлбэржүүлэх техникийг ашигладаг. Хөргөлтийн хурдыг хатуу хянаж, стресс тайлах боловсруулалтын стратеги ашигласнаар шилний дотоод бүтцийг төвийг сахисан, тогтвортой байлгахыг баталгаажуулдаг.
2. Хэт өндөр тэгш байдлыг хангах (бага давтамжийн нарийвчлал)
Хэт нарийвчлалтай оптик суурь болон толин тусгал суурь материалын хувьд гадаргуугийн "хэлбэр" нь маш чухал юм.
- Сорилт: Уламжлалт нунтаглалт нь долгион үүсгэх эсвэл долгионы урд талын нарийвчлалыг бууруулдаг алдаа үүсгэж болзошгүй.
- Бидний арга барил: Бид өндөр нарийвчлалтай компьютерийн удирдлагатай оптик гадаргууг (CCOS) ашигладаг. Энэ нь бидэнд бага давтамжийн алдааг (хэлбэрийн хазайлт) засах, ихэвчлэн 1 нм-ээс бага оргил-хөндий (PV) утгыг авах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь оптик замыг төгс тэгшитгэх боломжийг олгодог.
3. Гадаргуугийн барзгар байдал (Өндөр давтамжийн жигд байдал)
Тархалт нь өндөр давтамжтай гадаргуугийн бүтэцээс үүдэлтэй.
- Сорилт: Нунтаглахаас үлдсэн "манан" болон бичил зураасыг арилгахын тулд материалыг зайлуулахаас гадаргууг тэгшлэх рүү шилжих шаардлагатай.
- Бидний арга барил: Бид соронзон тусламжтайгаар өнгөлөх зэрэг дэвшилтэт өнгөлгөөний технологийг ашигладаг. Энэхүү техник нь нарийн төвөгтэй хэлбэрийг (чөлөөт хэлбэрийн линз гэх мэт) багцаар боловсруулах боломжийг олгодог бөгөөд гадаргуугийн барзгаржилтыг (Ra < 0.6 нм) шинээр гадаргуу дээр гэмтэл учруулахгүйгээр бий болгодог.
ZHHIMG: Хэт нарийвчлалтай салбарт таны түнш
Түүхий шилнээс функциональ оптик бүрэлдэхүүн хэсэг рүү шилжих нь нанотехнологийн аялал юм. ZHHIMG Групп дээр бид материалын шинжлэх ухаан болон нарийвчлалын инженерчлэлийн хоорондох зайг гүүр болгодог.
Бидний чадавхууд нь:
- Нарийн төвөгтэй геометр: Чөлөөт хэлбэртэй, огторгуй хэлбэртэй, хавтгай оптик эд ангиудыг боловсруулах.
- Хэмжил зүй ба үзлэг: Гадаргуугийн чанар болон хэлбэрийн нарийвчлалыг бодит цаг хугацаанд шалгахын тулд интерферометр болон профилометр ашиглах.
- Материалын мэргэжил: Өндөр дамжуулалттай, бага тэлэлттэй гэдгээрээ алдартай хайлуулсан цахиур, кварц болон тусгай оптик шилэн дээр гүнзгий туршлагатай.
Дүгнэлт
Оптик системүүд боломжтой зүйлсийн хил хязгаарыг тэлж байгаа тул нарийн шилэн эд анги үйлдвэрлэх нь
Оптик системүүд боломжтой зүйлсийн хил хязгаарыг тэлж байгаа тул нарийн шилэн эд анги үйлдвэрлэх нь
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 4-р сарын 9