Механик бөмбөлөг холхивчийн хөтөч нь микроскопийн үрэлт, урвуу цохилт, механик элэгдлийг бий болгодог бөгөөд энэ нь өндөр зэрэглэлийн автоматжуулалтад байрлалын давтагдах байдлыг хязгаарладаг. Хэт нарийвчлалтай боржин чулуун агаарын холхивч нь цэвэр шахсан агаарын бичил нимгэн давхарга дээр хөвөгч ачаагаар физик холбоог арилгадаг. ZHHIMG® хар боржин чулуун (3100кг/м³) туйлын тэгш байдлыг ашиглан эдгээр системүүд нь бүрэн үрэлтгүй хөдөлгөөн, тэг гистерезис, нанометрээс доогуур байрлалын нарийвчлалыг хангадаг.
Механик үрэлт болон эд ангийн элэгдлийг бүрэн арилгах
Хөдөлгөөнт эд ангиудын хоорондох физик холбоо нь зайлшгүй үрэлтийг бий болгож, улмаар эд ангиудын доройтол, цаг хугацааны явцад нарийвчлал алдагдах шалтгаан болдог. Боржин хийн холхивч нь 5-10 микрон тасралтгүй агаарын зайгаар ажилладаг бөгөөд хатуу материалын хоорондох холбоог бүрэн арилгадаг. Энэхүү тэг үрэлтийн загвар нь таны шугаман моторын үе шатууд тэрбум тэрбум үйлдлийн мөчлөгийн туршид үйлдвэрээс баталгаажсан нарийвчлалыг хадгалах боломжийг олгодог.
Тэг-Урвуу удирдамжаар дамжуулан нанометрийн бус байрлалын давтагдах чадвар
Механик чиглүүлэгч төмөр зам нь хөдөлгөөнийг эхлүүлэхэд нэмэлт хүч шаардагдах наалдах-гулсах нөлөөнд өртдөг бөгөөд энэ нь байрлалын бага зэргийн өөрчлөлтийг үүсгэдэг. Агаарын холхивч нь чөлөөтэй хөвдөг тул тэдгээр нь шугаман моторын бутархай оролтод тэг наалдац эсвэл урвуу цохилтгүйгээр шууд хариу үйлдэл үзүүлдэг. Энэхүү харьцуулшгүй шингэн чанар нь лазер боловсруулах системд нанометрээс доогуур найдвартай байрлал тогтоох давталтыг бий болгох боломжийг олгодог.
Дундажлах төрөлхийн эффект нь гадаргуугийн жижиг өө сэвийг тэгшилдэг
Хавтгай гадаргуу ч гэсэн микроскопоор харахад бичил топографийн бага зэргийн өөрчлөлтийг агуулдаг. Гараар бүрсэн хар боржин чулуун зам дээр агаар агуулсан дэвсгэр гулсах үед даралттай агаарын хальс нь байгалийн интеграцийн шүүлтүүр болж үйлчилдэг. Энэхүү агаарын хальсны даралт нь бичил гадаргуугийн хазайлтыг дундажлаж, физик замын тэгш байдлаас давсан шугаман хөдөлгөөний шулуун байдлыг бий болгодог.
Засвар үйлчилгээ шаарддаггүй, цэвэр өрөөний архитектуртай нийцтэй
Механик холхивч нь тасралтгүй тосоор тослох шаардлагатай бөгөөд энэ нь вакуум камерт агаарт байгаа зүлгүүрийн тоос шороо болон хийн ялгаралтыг татдаг. Боржин чулуун агаарын холхивч нь цэвэр, хуурай шахсан хий ашигладаг тул тосолгооны шингэн шаарддаггүй. Энэхүү цэвэр өрөөнд нийцтэй ажиллагаа нь тоосонцрын бохирдлыг арилгадаг тул хагас дамжуулагч литографи болон вакуум орчинд хамгийн сайн сонголт болдог.
Зааварчилгааны механизмын шинжилгээ: Боржин чулуун агаарын холхивч ба механик шугаман чиглүүлэгч
| Үйл ажиллагааны параметр | ZHHIMG® Нарийвчлалтай Боржин Хийн Холхивч | Бөмбөлөг холхивчийн стандарт профайлын гарын авлага | Хөндлөн өнхрөх үрэлтийн гарын авлага |
| Статик ба кинетик үрэлт | Үнэмлэхүй тэг (0.0000) | Өндөр наалдамхай чанар (0.005 – 0.01) | Дунд зэргийн үрэлт (0.002) |
| Механик төмөр замын элэгдэл | Байхгүй (Хязгааргүй ашиглалтын хугацаа) | Өндөр (Тогтмол солих шаардлагатай) | Дунд зэрэг (Бүтцийн нүх сүв үүсэх хандлагатай) |
| Тосолгооны шаардлага | Байхгүй (Цэвэр шахсан агаар ашигладаг) | Заавал (Тос эсвэл тос шаардлагатай) | Заавал (Тосон ванн шаардлагатай) |
| Cleanroom бөөмийн гаралт | Тэг (100% цэвэр өрөөнд нийцдэг) | Өндөр (Тосны манан болон металл тоос ялгаруулдаг) | Дунд зэрэг |
| Байршлын нарийвчлал | Нанометрээс доогуур хэмжээний чадавхи | Урвуу нөлөөллөөр микроноор хязгаарлагдсан | Саваа гулсах механикаар хязгаарлагддаг |
Түгээмэл асуултууд (Түгээмэл асуултууд)
А1: Боржин чулуун хийн холхивч ажиллахад хэр их агаарын даралт шаардлагатай вэ?
А1: Ихэнх үйлдвэрлэлийн боржин чулуун агаарын холхивч нь 4.0-6.0 бар (60-90 PSI) хооронд тогтвортой хангамжийн даралттай үед оновчтой ажилладаг. Ус, тос, 0.1 микроноос том хэмжээтэй тоосонцорыг зайлуулахын тулд агаарын хангамжийг хатуу шүүж байх ёстой.
А2: Агаарын даралт гэнэт буурвал машинд ноцтой хохирол учруулах уу?
А2: Бид системүүдээ нэгдсэн аюулгүй байдлын хязгаартайгаар зохион бүтээдэг. Хэрэв агаарын даралт буурвал холхивчийн дэвсгэр нь байгалийн хар боржин чулуун зам дээр зөөлөн тогтдог. Боржин чулуу нь өөрөө тослогддог бөгөөд цочрол үүсгэдэггүй тул бүтцийн шууд гацахаас сэргийлдэг.
А3: Боржин чулуун замд зөвшөөрөгдөх хамгийн их тэгш байдлын хазайлт хэд вэ?
А3: 5 микроны агаарын зайг өндөр тогтвортой байлгахын тулд боржин чулуун чиглүүлэгч замыг манай тогтмол температурын цехэд боловсруулсан, метр тутамд 1.0 микроноос бага, ер бусын тэгш байдлын үзүүлэлтээр давхцуулах шаардлагатай.
А4: Боржин чулуун агаарын холхивчийг вакуум камерын орчинд ашиглаж болох уу?
А4: Тийм. Вакуум орчинд бид тусгай вакуум урьдчилан ачаалагдсан (VPL) агаарын холхивчийг ашигладаг. Эдгээр тохиргоонууд нь эерэг агаарын даралтыг вакуум сорох цагирагтай хослуулан агаарыг камер руу орохоос сэргийлдэг.
А5: ZHHIMG нь холбоогүй холхивчинд хэрхэн өндөр хатуулагтай болдог вэ?
А5: Агаарын зай багасах тусам агаарын холхивчийн хатуулаг нэмэгддэг. Хязгаарлагдмал элементийн шинжилгээ (FEA)-аар дамжуулан агаарын тархалтын ховил, нислэгийн өндөр, дэвсгэрийн хэмжээг оновчтой болгосноор бид хазайлтгүйгээр өндөр динамик ачааллыг тэсвэрлэхийн тулд хальсны хатуулгийг хамгийн их байлгадаг.
А6: ZHHIMG® боржин чулуун хийн холхивчийг ямар ердийн хэрэглээнд шаарддаг вэ?
А6: Эдгээрийг хагас дамжуулагч хавтангийн үзлэгийн систем, хавтгай самбарын дэлгэцийн сканнер, хэт нарийвчлалтай лазер зүсэх машин (фемтосекунд/пикосекунд), үйлдвэрлэлийн компьютер томографийн рентген координатын хэрэгсэл, өндөр зэрэглэлийн автомат хэмжилзүйн мэдрэгч зэрэгт өргөнөөр нэгтгэсэн.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 6-р сарын 5