Хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний удирдлагын ертөнцөд бараг итгэмээргүй сонсогдож байгаа зүйлийг хийж буй бүрэлдэхүүн хэсэг байдаг: хэдхэн микрон зузаантай агаарын хальсан дээр хөвж, бараг үрэлтгүй хөдөлдөг нарийвчлалтай тайз. Энэ бол шинжлэх ухааны уран зөгнөл биш. Энэ бол боржин чулуун агаарын холхивч бөгөөд хагас дамжуулагч литографи, ваферын үзлэг, цахилгаан тээврийн хэрэгслийн батерейны үзлэг болон нанометрийн түвшний байршил шаарддаг бараг бүх хэрэглээний ард байгаа боломжит технологи юм.
Агаарын холхивч гэж юу вэ?
Агаар холхивч нь даралттай агаарыг сүвэрхэг эсвэл нүхээр тэжээгддэг гадаргуугаар шахаж, хоёр гадаргуугийн хооронд бие махбодийн холбоо барих нимгэн, тасралтгүй агаарын дэр үүсгэх замаар ажилладаг. Ачаалал - шат, гол, хөдөлдөг ширээ - нь энэхүү агаарын хальсан дээр хөвдөг бөгөөд энэ нь загвар болон ачааллын шаардлагаас хамааран ихэвчлэн 5-20 микрон зузаантай байдаг.
Хөдөлгөөнтэй болон хөдөлгөөнгүй гадаргуугийн хооронд физик холбоо байхгүй тул механик үрэлт, наалдах-гулсах шинж чанар, үндсэндээ элэгдэл байхгүй. Энэ бол ... нөхцөл байдлаас үндсээрээ өөр нөхцөл байдал юм.уламжлалт механик холхивч, хичнээн сайн боловсруулсан ч хамаагүй, ашиглалтын хугацаандаа үргэлж тодорхой хэмжээний үрэлт, гадаргуугийн жигд бус байдал, аажмаар элэгдэлд ордог.
Яагаад боржин чулуу нь агаарын холхивчийн цорын ганц сонголт вэ
Агаарын холхивчийг онолын хувьд янз бүрийн хавтгай, хатуу материалаар хийж болох боловч боржин чулуу нь өндөр нарийвчлалтай хэрэглээнд хөдөлгөөнгүй холхивчийн гадаргуугийн стандарт сонголт болсон.
Цаг хугацааны явцад хавтгай байдлын тогтвортой байдал. Боржин чулуу нь боловсруулсан металлтай харьцуулахад маш бага дотоод стресстэй байдаг тул металл нь цутгах болон боловсруулах процессоос үлдэгдэл стрессийг хадгалдаг бөгөөд энэ нь хэдэн сар эсвэл жилийн турш аажмаар, жижиг хэмжээтэй өөрчлөлтийг үүсгэж болзошгүй тул боржин чулуун тулгуур гадаргуу нь хавтгай байдлын үзүүлэлтээ металлын эквивалентаас хамаагүй удаан хадгалах хандлагатай байдаг. Агаарын тулгуурын хувьд гүйцэтгэлийн бүхэл бүтэн бүрхүүл нь тогтвортой, хяналттай зайг хадгалахаас хамаардаг тул энэ тогтвортой байдал нь маш чухал юм.
Дулааны тогтвортой байдал. Агаарын холхивчийн зай нь микроскопийн хэмжээтэй байдаг бөгөөд ихэвчлэн 5-20 микрон байдаг. Чиглүүлэгчийн дулааны тэлэлт нь энэ зайг өөрчилж, холхивчийн гүйцэтгэлийг өөрчилж, байрлалын алдааг бий болгодог. Granite-ийн CTE нь гангийнхаас бараг хоёр дахин, хөнгөн цагааныхаас гуравны нэгтэй тэнцүү юм. Энэ нь нанометрийн түвшний байрлалын нарийвчлалыг 24 цагийн ажиллагааны мөчлөгийн туршид үнэн зөв байлгахыг баталгаажуулдаг.
Норгос ба чичиргээ тусгаарлагч. Боржин чулуу нь гангаас 10 дахин их байгалийн норгос багтаамжтай. Агаарын хальсны наалдамхай норгостой хослуулсан үед систем нь мэдрэмтгий ачааллыг шалны чичиргээ болон моторын чимээ шуугианаас тусгаарладаг "давхар норгос" эффектийг бий болгодог. Энэ нь электрон цацрагийн багана, интерферометр зэрэг хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой бөгөөд чичиргээ нь дүрсний нягтралыг алдагдуулдаг.
Соронзон бус, цахилгаан идэвхгүй. Хагас дамжуулагч болон электроникийн үйлдвэрлэлийн орчинд мэдрэмтгий процессын ойролцоо соронзон орон болон цахилгаан дамжуулах чадвараас зайлсхийх нь ихэвчлэн хэцүү шаардлага болдог. Боржин чулуу нь нэмэлт боловсруулалтгүйгээр үүнийг хангадаг.
"Давхар чийгшүүлэх" нөлөө
Боржин чулуу-агаарын холхивчийн хослолыг өвөрмөц үр дүнтэй болгодог зүйл бол энд байна. Боржин чулуу нь өөрөө онцгой чийгшүүлэгчтэй бөгөөд цутгамал төмөртэй харьцуулахад машины чичиргээг 10 дахин бууруулдаг. Агаарын хальс нь нэмэлт наалдамхай чийгшүүлэгчийг бий болгож, өндөр давтамжийн чичиргээг жигд болгодог. Тэд хамтдаа инженерүүдийн "давхар чийгшүүлэгч" эффект гэж нэрлэдэг зүйлийг бий болгодог.
Энэ нь боржин чулуун хийн холхивчийн шат нь зөвхөн нарийвчлалтай төдийгүй чимээгүй гэсэн үг юм. Шат нь механик холхивчийг зовоодог микроскопийн чичиргээгүйгээр жигд хөдөлдөг. Хэмжилтийг хойшлуулж болзошгүй дуугаралтгүйгээр хурдан тогтдог. Мөн механик холхивчийн гүйцэтгэлийг бууруулдаг аажмаар элэгдэлгүйгээр олон жилийн турш нарийвчлалаа хадгалдаг.
Боржин чулуун агаарын холхивчийг хаана ашигладаг вэ
Өргөдлийн жагсаалт нь орчин үеийн үйлдвэрлэл, үзлэгийн хамгийн өндөр нарийвчлалтай өнцөг булан бүрээр аялахтай адил юм:
Хагас дамжуулагч литографи ба вафлийн үзлэг. Вафлийн дагуух шинж чанаруудыг зөв тохируулахын тулд нанометрээс доогуур байрлалын давтагдах чадвар шаардлагатай. Боржин хийн холхивч нь дараагийн үеийн чип үйлдвэрлэхэд шаардлагатай нарийвчлалыг хангах үрэлтгүй, холбоогүй хөдөлгөөнийг хангадаг.
Координат хэмжих машин (CMM). Нарийвчлалтай боржин чулуун чиглүүлэгч болон агаарын холхивчийн хослол нь CMM-ийн алтан стандарт бөгөөд үе шатны чичиргээ нь хэмжилтийн нарийвчлалыг алдагдуулдаг. Агаарын холхивчийн үрэлт болон гулсах чадваргүй байдал нь нанометрийн алхамаар байрлуулах боломжийг олгодог.
Оптик болон лазер дээр суурилсан хэмжилтийн системүүд. Интерферометр эсвэл оптик дүрслэлд тулгуурладаг аливаа хэмжилтийн систем нь чичиргээ эсвэл байрлалын алдаа гаргадаггүй хөдөлгөөний үе шатыг шаарддаг. Боржин чулуун хийн холхивч нь эдгээр хүнд хэцүү хэрэглээнд шаардлагатай тогтвортой байдлыг хангадаг.
Цахилгаан тээврийн хэрэгслийн батерейны үзлэг. Цахилгаан тээврийн хэрэгслийн батерейны үйлдвэрлэл өргөжихийн хэрээр өндөр хурдтай, өндөр нарийвчлалтай үзлэгийн системийн эрэлт хэрэгцээ эрс нэмэгдсэн. Боржин чулуун хийн холхивчийн үе шатууд нь батерейны элементийн хэмжээс, электродын тохируулга болон бусад чухал параметрүүдийг шалгахад шаардлагатай хурд, нарийвчлалыг хангадаг.
Хэлхээний самбар өрөмдөх болон чиглүүлэх. Өндөр хурдтай Хэлхээний самбар өрөмдөх нь хамгийн бага суултын хугацаатай хурдан, нарийн байрлал шаарддаг. Агаарын холхивч нь өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлд шаардлагатай хурдан алхам ба суултын хөдөлгөөнийг бий болгодог.
ZHHIMG®-г юугаараа ялгаруулдаг вэ
Боржин чулуун хийн холхивчийн бүх эд ангиуд адилхан бүтээгдсэн биш. Боржин чулуун чанар, давхцлын нарийвчлал, гар урчуудын мэргэжлийн ур чадвар нь хийн холхивч нь техникийн шаардлагад нийцэж байгаа эсэхийг тодорхойлдог.
ZHHIMG® дээр манай ZHHIMG® хар боржин чулуу нь ≈3100 кг/м³ нягтралтай бөгөөд энэ нь Европын болон Америкийн ихэнх хар боржин чулуунаас өндөр бөгөөд энэ нь дээд зэргийн тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг хангадаг. 30 гаруй жилийн гар аргаар нунтаглах туршлагатай манай мастер нунтаглагчид агаарын холхивчийн хэрэглээнд шаардлагатай нанометрийн түвшний тэгш байдлыг хангадаг. 1000 мм зузаантай хэт хатуу бетон суурь дээр баригдсан, 2000 мм гүнтэй чичиргээний эсрэг шуудуутай 10,000 хавтгай дөрвөлжин метр талбай бүхий тогтмол температурын цех нь энэхүү нарийвчлалтай эд анги үйлдвэрлэхэд шаардлагатай тогтвортой орчныг бүрдүүлдэг.
Чанарын бодлогодоо нэгтгэн дүгнэсэн “Нарийвчлалын бизнес хэт өндөр шаардлага тавьж болохгүй” гэсэн чанарт тавих бидний үүрэг амлалт нь манай байгууламжаас гарч буй боржин чулуун агааржуулагч эд анги бүр дэлхийн хамгийн өндөр стандартыг хангасан байхыг баталгаажуулдаг.
Та хагас дамжуулагч литографийн дараагийн үеийн тоног төхөөрөмж, өндөр нарийвчлалтай CMM эсвэл цахилгаан тээврийн хэрэгслийн батерейны үзлэгийн системийг бүтээж байгаа эсэхээс үл хамааран нарийн боржин чулуу болон агаарын тулгуурын технологийн хослол нь нанометрийн түвшний хөдөлгөөний хяналтын үндэс суурийг тавьдаг. ZHHIMG® дээр бид энэ хослолыг хэдэн арван жилийн турш эзэмшиж байна.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 7-р сарын 8