Механик инженерчлэлийн хэлээр "үрэлтгүй" гэдэг нь онолын идеал бөгөөд сурах бичгийн бодлогын мэдэгдлүүдэд гардаг боловч физик ертөнцөд хэзээ ч бүрэн хэрэгждэггүй зүйл юм. Гэсэн хэдий ч литографийн машинууд, шууд бичих лазер системүүд, өндөр хурдны PCB өрөмдлөгийн тоног төхөөрөмж, нанометрийн масштабтай шалгалтын платформуудад цахиурын хавтанг хөдөлгөдөг нарийвчлалтай байрлал тогтоох үе шатуудад хөдөлгөөний элементүүд энэ идеалтай гайхалтай ойрхон байдаг. Тэд үүнийг агаарын холхивч гэж нэрлэгддэг технологийн тусламжтайгаар хийдэг бөгөөд агаарын нимгэн хальсан гадаргуу нь бараг үргэлж нарийвчлалтай боржин чулуу байдаг.
Агаарын холхивчийн технологийг ойлгох нь - түүний физик, шаардлага, хязгаарлалтууд - яагаад боржин чулуу нь агаарын холхивчийн чиглүүлэгч гадаргуугийн сонгосон материал болохыг ойлгохоос салшгүй юм. Хоёр технологи нь симбиотик шинж чанартай: агаарын холхивч нь боржин чулуун гадаргуугийн нарийвчлалын чанарыг ашиглах боломжийг олгодог бол боржин чулуу нь агаарын холхивчийг тогтвортой байдал, байршлын нарийвчлалд хүрэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь тэдгээрийг анхнаасаа ашиглахад үнэ цэнэтэй болгодог.
Агаарын холхивчийн ажиллагааны физик
Уламжлалт өнхрөх элементийн холхивч - бөмбөлөг холхивч эсвэл өнхрөх холхивч - нь Герцийн контактаар дамжин хөдөлж буй ачааллыг дэмждэг: бөмбөлөг эсвэл өнхрүүш нь уралдааны замд дарагдаж, ачааллын дор бага зэрэг деформацид орж, жижиг боловч тэгээс ялгаатай контактын хэсгээр хүч дамжуулдаг. Энэ контакт нь үрэлт үүсгэж, элэгдэл үүсгэж, чичиргээг холхивчоос тулгуур бүтэц рүү дамжуулах механик замыг бий болгодог.
Агаарын холхивч нь энэхүү хатуу холбоог даралттай хийн нимгэн хальсаар сольдог - ихэвчлэн цэвэр, хуурай шахсан агаар боловч азотыг агаарын чийгийн агууламж асуудалтай газарт ашигладаг. Хөдөлгөөнт элемент ("гулсагч" эсвэл "тэрэг") нь чиглүүлэгч гадаргуугаас ихэвчлэн 5-15 микрометр өргөнтэй завсараар тусгаарлагдсан байдаг. Даралтат агаар нь гулсагч гадаргуу дээрх жижиг нүхнүүд эсвэл сүвэрхэг гадаргуугаар дамжин орж, энэ завсар руу урсаж, дараа нь холхивчийн хэсгийн ирмэгээр гардаг.
Завсар дахь даралтын тархалт - хангамжийн нүхний ойролцоо өндөр, гаралтын ойролцоо бага байх нь тэрэгний жинг (хэвтээ тохиргоонд) эсвэл хэрэглэсэн ачааллыг дэмжих цэвэр өргөх хүчийг үүсгэдэг. Завсар багасах тусам (жишээлбэл, хэрэв тэрэг ачааллын дор бага зэрэг хазайвал) урсгалын эсэргүүцэл нэмэгдэж, даралт нэмэгдэж, сэргээх хүч нэмэгдэж, өөрөө тогтворжуулах системийг бий болгодог. Үүний эсрэгээр, хэрэв зай нэмэгдвэл даралт буурч, холхивчийн хөшүүн чанар буурдаг.
Энэхүү холбоо барихгүй ачааллын тулгуурын гол үр дагавар нь статик болон гулсах үрэлтийг бараг бүрэн арилгах явдал юм. Сайн зохион бүтээсэн агаарын тулгуурын үе шат нь хэмжигдэх боломжгүй статик үрэлттэй байдаг бөгөөд ихэнх хүчний хэмжилтийн системийн нарийвчлалд бараг тэг байдаг. Энэ шинж чанарыг "наалдах" байхгүй гэж тодорхойлдог бөгөөд энэ нь хөдөлгөөнийг эхлүүлэхийн тулд статик үрэлтийг (кинетик үрэлтээс өндөр) даван туулах шаардлагатай бөгөөд дараагийн байрлалд саад учруулдаг огцом гулсах үзэгдэл юм.
Нарийвчлалтай байрлал тогтооход наалдамхай хөдөлгөөн яагаад чухал вэ
Эргэлдэгч элементийн холхивчтой уламжлалт бөмбөлөг шураг эсвэл хар тугалган шурагтай байрлал тогтоох үе шатанд наалдац нь байрлалын давтагдах чадварын үндсэн хязгаарлалт юм. Байрлалын хяналтын систем нь жижиг хөдөлгөөнийг командлах үед хөтлөх механизм нь тэрэг огт хөдлөхөөс өмнө статик үрэлтийг даван туулах ёстой. Энэ нь удирдсан байрлал болон бодит байрлал нь жижиг алхамын хэмжээтэй ижил биш гэсэн үг юм - үе шат нь "наалдаж", дараа нь "гулсаж", суурьшихаасаа өмнө удирдсан байрлалаас хэтэрдэг.
Энэ нөлөө нь алхамын хэмжээ болон байрлалын зурвасын өргөнд практик доод хязгаарыг ногдуулдаг. Серво системд наалдац нь хязгаарын мөчлөгийг үүсгэдэг - байрлалын хяналтын гогцоо нь тушаал өгсөн байрлалын эргэн тойронд тасралтгүй ан хийж, тогтвортой утгад тогтож чадахгүй байх нөхцөл байдал, учир нь аливаа залруулгын хөдөлгөөн нь наалдацыг даван туулахыг шаарддаг бөгөөд энэ нь шатыг байг өнгөрүүлдэг.
Агаарын холхивч нь наалдацыг бүрэн арилгадаг. Тэрэг тасралтгүй агаарын хальсан дээр хөвдөг бөгөөд хөдөлгөөний чиглэлд үйлчилдэг дурын бага хүч нь пропорциональ хөдөлгөөн үүсгэдэг. Энэ нь:
- Нанометрийн түвшний байрлалыг тохирох хөтчийн механизм (шугаман мотор, пьезоэлектрик хөдөлгүүр эсвэл дуут ороомгийн хөдөлгүүр) ашиглан наалдацаас үүдэлтэй алхамын хэмжээнээс бага хязгаарлалтгүйгээр хийх боломжтой.
- Хяналтын гогцоо нь хөдөлгөөн бүр дээр хатуужилтай тэмцдэггүй тул суурьших хугацаа эрс багасдаг.
- Давтагдах чадвар нь үрэлтийн хувьсах чанараас илүүтэйгээр кодлогчийн нягтрал болон дулааны нөлөөллөөр голчлон хязгаарлагддаг
Хагас дамжуулагч фотолитографийн хувьд, вафлийн үе шат нь секундэд хэдэн зуун алхамын хурдаар нанометрээс бага давтагдах чадвартайгаар хэвний байрлал бүрт шилжих ёстой бөгөөд эдгээр шинж чанарууд нь чухал юм. Өөр ямар ч холхивчийн технологи нь одоогоор шаардлагатай хэмжээнд харьцуулах боломжтой гүйцэтгэлийг хангадаггүй.
Боржин чулуун чиглүүлэгч гадаргуу: Агаарын холхивчийн гүйцэтгэлийг хангах
Агаарын холхивч нь зөвхөн сууж буй гадаргуутайгаа л адил сайн байдаг. 5–15 μм агаарын хальсны зай нь чиглүүлэгч гадаргуугийн барзгаржилтын хүлцэл биш бөгөөд энэ нь бүх хэлбэлзлийн эх үүсвэрийг багтаасан нийт ажиллах зай юм. Агаарын холхивч зөв ажиллахын тулд чиглүүлэгч гадаргуу нь өөрөө энэ зайнаас хэд дахин илүү гөлгөр, хавтгай байх ёстой.
Гадаргуугийн өнгөлгөө (барзгаржилт)-ийн шаардлага
Чиглүүлэгч гадаргуугийн барзгаржилт нь агаарын завсарын багахан хэсэг байх ёстой. Ачиглүүлэгч гадаргууRa барзгаржилт нь 0.4 μм (боловсруулсан гадаргуу нь харьцангуй сайн) байх үед агаарын зайны мэдэгдэхүйц хэсэгтэй харьцуулах орон нутгийн өндрийн хэлбэлзэл гарч, тэрэг дээрх байрлалын чимээ шуугианд шууд хувирдаг турбулент даралтын хэлбэлзэл үүснэ.
Агааржуулагчийн нарийн боржин чулуун чиглүүлэгч гадаргууг толин тусгал чанартай өнгөлгөөтэй тэнцэх 0.02–0.1 μм (20–100 нм) Ra утгад хүртэл өнгөлдөг. Боржин чулуун дээрх эдгээр барзгаржилтын утгыг гаргахын тулд тусгай өнгөлгөөний техник, өндөр чанартай зүлгүүр, материалыг зайлуулах механик болон нарийн өнгөлгөөний үед боржин чулуун талст бичил бүтцийн зан төлөвийг ойлгодог чадварлаг операторууд шаардлагатай.
Боржин чулууны хатуулаг нь энд шууд хамааралтай: илүү хатуу, нягт чулууг (жишээлбэл, нягтрал ≈ 3,100 кг/м³ бүхий дээд зэрэглэлийн хар боржин чулуу) зөөлөн саарал боржин чулуу эсвэл гантиг чулуунаас бага барзгартай өнгөлж болно, учир нь түүний илүү нарийн, илүү нягт холбогдсон болор бүтэц нь нарийн өнгөлгөө хийх үед гадаргууг зурж буй үр тарианы хэлтэрхийг татаж гаргадаггүй. Энэ нь зөвхөн гадаргуугийн хавтангийн дэлхийн тэгш байдлын үзүүлэлтэд төдийгүй агаар агуулсан чиглүүлэгч гадаргууд материалын сонголт чухал байдаг гол техникийн шалтгаануудын нэг юм.
Хавтгай ба шулуун байдлын шаардлага
Гадаргуугийн барзгар байдлаас гадна агаарын тулгуурын чиглүүлэгч гадаргуу нь хатуу тэгш байдлын шаардлагыг хангасан байх ёстой. Агаарын тулгуурын шатны тээвэрлэлт нь чиглүүлэгч гадаргууг "уншдаг" бөгөөд түүний хөдөлгөөний дагуух цэг бүр дэх чиглэлийг чиглүүлэгч гадаргуугийн орон нутгийн хэлбэрээс тодорхойлдог. Хөтлөгчийн гадаргуугийн төгс тэгш байдал (Z чиглэлд) эсвэл шулуун байдлаас (XY хавтгай доторх хөдөлгөөнд перпендикуляр чиглэлд) хазайлт нь тээвэрлэлтийн харгалзах хөдөлгөөний алдаа хэлбэрээр хуулбарлагдана.
Энэ бол Аббегийн алдаа (эсвэл синусын алдаа) гэгддэг үзэгдэл юм: хэрэв чиглүүлэгч гадаргуу нь θ радианы налуугийн алдаатай бөгөөд тэрэгний сонирхлын цэг нь чиглүүлэгч гадаргуугаас L зайд байвал жижиг өнцгийн хувьд үүссэн хажуугийн байрлалын алдаа нь L × sin(θ) ≈ L × θ байна. Хэмжилтийн кодлогч болон хэмжиж буй хэсэг нь босоо чиглэлд 100 мм-ээр тусгаарлагдсан тэрэгний хувьд чиглүүлэгч гадаргуугийн налуугийн 1 нуман секундын алдаа нь ойролцоогоор 0.48 μм байрлалын алдаа үүсгэдэг.
Энэ нөлөөллийг багасгахын тулд шатны бүх аяллын уртад нуман секундын хязгаарт буюу түүнээс доош шулуун байдлын алдаатай чиглүүлэгч гадаргууг шаарддаг. 500 мм-ийн аяллын шатны хувьд энэ нь боржин чулуун чиглүүлэгчийн бүтэн уртад хэдэн микрометр буюу түүнээс бага өндрийн хэлбэлзэлтэй тохирч байна. Энэ түвшний шулуун байдалд хүрэх, баталгаажуулахын тулд нарийвчлалтай давхцах техник, электрон түвшин болон лазер интерферометрээр болгоомжтой хэмжих, гадаргуугийн хавтанг давхцахад ашигладагтай төстэй хусах залруулах техник шаардлагатай.
Сүвэрхэг чанар ба агаар нэвтрүүлэх чанар
Агаар холхивчийн хэрэглээнд маш чухал ач холбогдолтой боловч ерөнхий уран зохиолд ховорхон хэлэлцэгддэг боржин чулуун нэг шинж чанар бол сүвэрхэг чанар юм. Хэрэв боржин чулуун чиглүүлэгч гадаргуу нь чулуун дотор талыг гадаргуутай холбодог бичил хөндий буюу задгай нүхтэй бол холхивчийн завсар дахь даралттай агаар нь холхивчийн гарц руу жигд урсахын оронд чулуу руу нэвчиж болно. Энэ нь даралтын жигд бус тархалтыг бий болгож, агаарын хэрэглээг нэмэгдүүлж, онцгой тохиолдолд холхивчийг орон нутагт нь нурахад хүргэдэг.
Өндөр нягтралтай хар боржин чулуу нь нягт талст бүтэцтэй тул маш бага сүвэрхэг чанартай тул бага нягтралтай саарал боржин чулуутай харьцуулахад энэ асуудалд хамаагүй бага өртөмтгий байдаг. Ердийн 2600-2700 кг/м³ саарал боржин чулуутай харьцуулахад ойролцоогоор 3100 кг/м³ нягтралтай байх нь материалын хоосон хэсгийн хэмжээг хамаагүй бага харуулж байна. Агаар агуулсан чиглүүлэгч гадаргуугийн хувьд сүвэрхэг чанарын энэхүү ялгаа нь холхивчийн гүйцэтгэл болон тогтвортой байдалд шууд нөлөөлдөг.
Чухал хэрэглээнд нэмэлт гадаргуугийн боловсруулалт (эпоксидоор вакуум нэвчих эсвэл гадаргуугийн нүх сүвийг хаадаг тусгай давирхайн процедур) хийж болно. Гэсэн хэдий ч бага нүх сүвтэй материалаас эхлэх нь ийм боловсруулалтын хэрэгцээ болон нүх сүвтэй холбоотой гүйцэтгэлийн асуудлын эрсдлийг бууруулдаг.
Боржин чулуун агаарын холхивчийн угсралт: Дизайны анхаарах зүйлс
Боржин чулуун дээрх бүрэн агааржуулалтын үе шат нь чиглүүлэгч гадаргуугаас гадна олон инженерийн асуудлыг хамардаг:
Урьдчилан ачаалах дизайн
Агаарын холхивчийг урьдчилан ачаалсан байх ёстой - энэ нь сэргээх хүч нь тэрэгний чиглүүлэгч гадаргуугаас өргөх аливаа хандлагыг эсэргүүцэх ёстой гэсэн үг юм. Урьдчилан ачаалаагүй бол тэрэг дээш чиглэсэн аливаа саад тотгорын үед гадаргуугаас зүгээр л хөвөх болно. Урьдчилан ачаалахыг гурван аргын аль нэгээр гүйцэтгэдэг:
Эсрэг агаарын холхивч нь чиглүүлэгч төмөр зам эсвэл хавтгай гадаргуугийн эсрэг талд хоёр дахь агаарын холхивчийн гадаргууг ашигладаг бөгөөд энэ нь хоёр талдаа агаарын хальсны тусгаарлалтыг хадгалахын зэрэгцээ тэрэгийг чиглүүлэгч рүү хязгаарладаг эсрэг даралтын хүчийг үүсгэдэг. Энэ нь нарийн шугаман шатлалын хамгийн түгээмэл тохиргоо юм.
Вакуум урьдчилан ачаалагдсан холхивч нь холхивчийн гадаргуу дотор төвийн вакуум бүсийг ашигладаг бөгөөд үүнийг даралттай цагираг хэлбэртэй бүсээр хүрээлдэг. Цэвэр хүч нь даралттай бүсийн өргөх хүч ба вакуум бүсийн таталцлын зөрүү бөгөөд энэ нь чиглүүлэгч гадаргуу руу цэвэр урьдчилан ачаалал үүсгэдэг.
Соронзон урьдчилан ачаалах нь тэргэнцэр дэх байнгын соронз болон ферросоронзон чиглүүлэгч төмөр замын хоорондох таталцлын хүчийг ашиглан тэргэнцэрийг гадаргуу руу татдаг. Энэ арга нь боржин чулуун чиглүүлэгч төмөр замд ган эсвэл төмөр элементүүдийг оруулахыг шаарддаг бөгөөд энэ нь дизайныг хүндрүүлдэг боловч маш авсаархан холхивчийн угсралтуудыг бий болгож чаддаг.
Агаарын хангамж ба шүүлтүүр
Агаарын холхивчийн үе шатууд нь ихэвчлэн 0.4-0.6 МПа даралттай цэвэр, хуурай, тоосонцоргүй шахсан агаарыг тасралтгүй нийлүүлэхийг шаарддаг. Агаарын хангамжийг тосны аэрозоль, усны уур эсвэл хатуу тоосонцороор бохирдуулах нь агаарын холхивчийн эвдрэлийн хамгийн түгээмэл шалтгаануудын нэг юм. Тосны бохирдол нь холхивчийн гадаргууг бүрхэж, тэдгээрийн геометр болон норгох чадварыг өөрчилдөг; усны конденсаци нь даралтын хэлбэлзлийг үүсгэдэг; хатуу тоосонцор нь холхивчийн завсарыг гүүр болгож, тэрэгний гадаргуу болон боржин чулуун чиглүүлэгч гадаргууг хоёуланг нь цоолж чаддаг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчинд агаарын хангамжийн чанарыг ерөнхийдөө байгууламжийн стандартаар сайтар хянадаг. Бусад үйлдвэрлэлийн орчинд агаарыг шат руу нийлүүлэх үед зохих шүүлтүүр, хатаалтыг хангахад анхаарах хэрэгтэй.
Агаарын хальсан дээрх дулааны нөлөө
Агаарын зуурамтгай чанар нь температуртай хамт өөрчлөгддөг - өрөөний температурт Цельсийн нэг градус тутамд ойролцоогоор 2%. Агаарын хангамжийн температурын мэдэгдэхүйц өөрчлөлт (жишээлбэл, компрессорын өрөөнөөс температурын хяналттай цэвэр өрөө рүү) нь холхивчийн хатуулаг болон өргөх хүчийг өөрчилдөг. Нарийн хэрэглээнд даралтаас гадна агаарын хангамжийн температурыг зохицуулах шаардлагатай.
Холхивчийн завсар нь өөрөө агаарын хальсны наалдамхай зүсэлтээр бага хэмжээний боловч тэгээс ялгаатай дулаан үүсгэдэг. Өндөр хурдтай үе шатуудын хувьд боржин чулуу эсвэл тэрэгний бүтцэд гэнэтийн температурын градиентаас зайлсхийхийн тулд энэхүү дулааны эх үүсвэрийг системийн дулааны загварт харгалзан үзэх ёстой.
Агаарын холхивчийн шатлалын гүйцэтгэлийг хэмжих ба баталгаажуулах
Угсарсны дараа боржин чулуун дээрх агаарын даацын шат нь гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүдтэй нийцэж байгаа эсэхийг шалгахын тулд шинж чанарыг нь шалгах шаардлагатай. Хэмжих гол параметрүүдэд дараахь зүйлс орно.
Байршлын давтагдах чадвар — үе шатыг хэд хэдэн зорилтот байрлалд тушааж, өндөр нарийвчлалтай шугаман энкодер эсвэл лазер интерферометрээр бодит байрлалыг тэмдэглэснээр хэмждэг. Гистерезисийг тодорхойлох хоёр чиглэлт давтагдах чадварын (хоёр чиглэлээс ойртох) туршилт.
Хөдөлгөөний шулуун байдал — хөдөлгөөний замын дагуу нарийвчлалтай шулуун ирмэгийг (ихэвчлэн өөрөө нарийвчлалтай боржин чулуун лавлагаа) суурилуулж, бүрэн хүрээг туулах үед тэрэг шулуун шугамаас хазайлтыг хэмжихийн тулд электрон хэмжүүр ашиглан хэмждэг.
Өнцгийн алдаа (навигталт, өнхрөлт, хазайлт) — тэргэнцэр дээр суурилуулсан автоколлиматор эсвэл электрон түвшинг ашиглан хэмжиж, хөдөлж байх үед тэргэнцэрийн чиглэл дэх бага зэргийн өнцгийн өөрчлөлтийг илрүүлдэг.
Агаарын зарцуулалт ба холхивчийн хөшүүн байдал — энэ нь мэдэгдэж буй ачааллыг тэргэнд өгч, үүссэн зайны өөрчлөлтийг (энкодерын уншилтаас) хэмжих замаар хэмжиж, холхивчийн хөшүүн байдлыг (нэгж шилжилт тутамд ногдох хүч) тооцоолох боломжийг олгоно.
Эдгээр хэмжилтийг зохих нягтралтай, мөрдөх боломжтой тохируулгын хэрэгслээр гүйцэтгэсэн бөгөөд тайзыг ашиглалтын хугацаанд нь засвар үйлчилгээ хийж, дахин баталгаажуулах боломжтой гүйцэтгэлийн суурь үзүүлэлтийг өгдөг.
Боржин чулуун агаарын холхивчийн үе шатууд зайлшгүй шаардлагатай хэрэглээ
Агаарын даацын хөдөлгөөн болон боржин чулуун чиглүүлэгч гадаргуугийн хослол нь хэрэглээний физикийн шаардлагын дагуу тэдгээрийн хосолсон шинж чанарыг шаарддаг бүх газарт гарч ирдэг:
Хагас дамжуулагч хавтангийн үзлэг ба литографи — Технологийн хөгжлийг өнөөгийн түвшинд хүргэсэн жишиг хэрэглээ нь аль хэдийн өргөн хүрээнд хэлэлцэгдсэн.
Өндөр хурдны хэлхээний өрөмдлөг — Хэлхээний самбар дээр олон өрмийн хошууг нэгэн зэрэг байрлуулах ёстой олон голтой өрөмдлөгийн машинууд нь шаардлагатай хурд, нарийвчлал, урт хугацааны тогтвортой байдлын хослолыг бий болгохын тулд боржин чулуун суурь болон агаарын холхивчийн хөндлөн гулсуурыг ашигладаг.
Оптик профилометр ба гадаргуугийн үзлэг — Нанометрээс бага нягтралтайгаар гадаргуугийн хэлбэрийг хэмждэг багаж хэрэгсэл нь хэмжих датчикаа эд ангийн гадаргуу дээгүүр маш жигд, бага чичиргээтэй хөдөлгөөнөөр сканнердах ёстой. Боржин чулуун чиглүүлэгч гадаргуу дээрх агаарын холхивч нь шаардлагатай хөдөлгөөний чанарыг хангадаг.
Нарийвчлалтай лазер боловсруулалт — Нүдний эмгэг судлалаас эхлээд микроэлектроник, сансар судлалын эд ангиуд хүртэлх хэрэглээнд материалыг нарийвчлалтай зайлуулахад ашигладаг фемтосекунд ба пикосекунд лазер системүүд нь шаардлагатай абляцийн чанарыг хангахын тулд нанометрийн түвшний нарийвчлалтай, жигд, наалдамхай хөдөлгөөнтэй байрлал тогтоох үе шатуудыг шаарддаг.
Шугаман масштабын тохируулга — Нарийвчлалтай шугаман кодлогч болон лазер интерферометрийн системд зориулсан тохируулгын системүүд нь хөдөлгөөн өөрөө тохируулгын нарийвчлалыг хязгаарлахгүй байхаар хангалттай сайн хөдөлгөөний чанартай лавлагаа олдворыг хөдөлгөх ёстой. Нарийвчлалтай боржин чулуун чиглүүлэгч гадаргуу дээрх агаарын тулгуурын үе шатууд нь хамгийн өндөр шаардлага тавьдаг тохируулгын системийн стандарт сонголт юм.
Дүгнэлт: Агаарын хальс ба чулуу
Агаарын холхивчийн технологи болон нарийн боржин чулуу нь жинхэнэ инженерийн утгаараа бие биедээ зориулагдсан байдаг. Агаарын холхивчийн ажиллагааны физик нь чиглүүлэгч гадаргуугийн барзгар байдал, тэгш байдал, материалын шинж чанарт хатуу шаардлага тавьдаг бөгөөд нарийн боржин чулууг зохих стандартын дагуу үйлдвэрлэж, боловсруулсан тохиолдолд өвөрмөц байдлаар байрлуулахыг шаарддаг. Агаарын холхивч нь үрэлт болон контакт элэгдлийг арилгаснаар нарийн боржин чулуун нанометрийн хэмжээний гадаргуугийн өнгөлгөөг задралгүйгээр тасралтгүй ашиглах боломжийг олгодог.
Үүний үр дүнд хөдөлгөөний чанарыг нанометрээр хэмждэг байрлал тогтоох технологи бий болсон бөгөөд энэ нь өмнөх үеийн инженерүүдэд гайхалтай санагдах байсан юм. Энэхүү технологи нь физик болон концепцийн хувьд эртний чулуун суурь дээр суурилсан нь орчин үеийн нарийвчлалтай инженерчлэлийн хамгийн гоёмсог онигоонуудын нэг юм.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 6-р сарын 26