Дэлхийн хагас дамжуулагч болон оптикийн салбарууд улам бүр жижиг хэмжээтэй, өндөр нарийвчлалын шаардлагад хүрэхийн хэрээр хэмжилт болон тохируулгыг хийх боломжийг олгодог үндсэн хэрэгслүүд улам бүр чухал болж байна. Транзисторын хэмжээсүүд одоо нэг оронтой нанометрт хүрсэн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд, тохируулгын хүлцэл нь долгионы уртын бутархайтай ойролцоо байдаг оптик системд хэмжих хэрэгслийн тогтвортой байдал, нарийвчлал нь бүтээгдэхүүний гарц болон гүйцэтгэлийг шууд тодорхойлдог. Энэхүү нийтлэлд боржин чулуун хэмжих хэрэгслүүд - түүний дотор боржин чулуун гадаргуугийн хавтан, нарийн боржин чулуун суурь, хэмжилзүйн бүрэлдэхүүн хэсгүүд - яагаад өндөр нарийвчлалтай хэрэглээний салбарын стандарт болж, уламжлалт металлын хувилбаруудаас илүү үр дүнтэй болсон талаар авч үзэх болно.
Микроноос доош нарийвчлалын эрэлт хэрэгцээ нь хэмжилзүйн салбарт парадигмын өөрчлөлтийг бий болгосон. Уламжлалт цутгамал төмөр болон ган хэмжих хэрэгслүүд нь уламжлалт үйлдвэрлэлд хангалттай боловч хагас дамжуулагч хавтангийн үзлэг, литографийн тохируулга, оптик угсралтад шаардагдах хатуу нөхцөлд тогтвортой байдлаа хадгалахад бэрхшээлтэй байдаг. Дэлхийн царцдасын доор сая сая жилийн турш бий болсон физик шинж чанаруудын өвөрмөц хослол бүхий боржин чулуу нь орчин үеийн үйлдвэрлэлийн хамгийн нарийн төвөгтэй шаардлагыг хангасан шийдлийг санал болгодог.
Гол физик шинж чанарууд: Боржин чулуу яагаад нарийвчлалтай хэрэглээнд давуу талтай вэ
Дулааны тогтвортой байдал: Тогтмол хэмжилтийн үндэс суурь
Боржин чулуун хэмжих хэрэгслийн хамгийн чухал давуу талуудын нэг нь тэдний онцгой дулааны тогтвортой байдал юм. 6.5±0.5×10⁻⁶/℃ дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй боржин чулуу нь цутгамал төмрийн дулааны тэлэлтийн гуравны нэг, хөнгөн цагааны аравны нэгтэй тэнцүү байгааг харуулж байна. Энэхүү бага дулааны тэлэлт нь боржин чулуун дээр суурилсан хэмжилтийн системүүд нь үйлдвэрлэлийн орчинд түгээмэл тохиолддог температурын хэлбэлзэлд өртсөн ч хэмжээст нарийвчлалаа хадгалдаг гэсэн үг юм.
Хагас дамжуулагч хэмжилзүйн хэрэглээнд ердөө 1°C температурын өөрчлөлт нь 300мм-ийн цахиурын хавтанг ойролцоогоор 7.5μм-ээр тэлэхэд хүргэдэг тул боржин чулуун дулааны тогтвортой байдал чухал ач холбогдолтой болдог. Ижил температурын өөрчлөлтөд өртсөн боржин чулуун гадаргуугийн хавтан нь ижил диаметрээр ердөө 1.95μм-ээр тэлж, чухал хэмжилтийн хувьд илүү тогтвортой лавлах хавтгайг бий болгодог. Энэ шинж чанар нь тоног төхөөрөмж нь хэмжилтийн нарийвчлалд нөлөөлж болох тасралтгүй дулааныг үүсгэдэг 24/7 үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагаанд онцгой ач холбогдолтой юм.
Онцгой хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй
Гранитын Мохсын 6-7 хатуулгийн зэрэглэл нь үүнийг нарийн хэмжилт хийхэд ашигладаг хамгийн хатуу үйлдвэрлэлийн материалын нэг гэж үздэг. Энэхүү өндөр хатуулаг нь элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг шууд илэрхийлдэг бөгөөд боржин чулуу хэмжих хэрэгсэл нь удаан хугацааны турш нарийвчлалаа хадгалах боломжийг олгодог. Давтан хүрэлцэх үед зураас, хонхорхой, элэгдлийн хэв маяг үүсч болох металл гадаргуугаас ялгаатай нь боржин чулуун талст бүтэц нь гадаргуугийн доройтлыг тэсвэрлэдэг.
Энэхүү элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг салбарын мэдээллээр тоон үзүүлэлтээр хэмждэг бөгөөд нарийн боржин чулуун гадаргуу нь арван жилийн тогтмол хэрэглээний хугацаанд 0.3μm-ээс бага элэгдэлд ордог бол цутгамал төмрийн хувьд жилд ойролцоогоор 0.8μm байдаг. Хагас дамжуулагч болон оптик үйлдвэрлэгчдийн хувьд энэ нь дахин тохируулгын давтамж буурах, засвар үйлчилгээний зардал буурах, багажны ашиглалтын хугацаанд хэмжилтийн нарийвчлал тогтвортой байх гэсэн үг юм.
Дээд зэргийн чичиргээг намсгах чадвар
Чичиргээ нь нарийвчлалын хэмжилтийн дайсан юм. Шугаман мотор, робот жолоодлогын систем, HVAC тоног төхөөрөмж нь тогтмол механик чичиргээ үүсгэдэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн байгууламжуудад эдгээр эвдрэлийг тусгаарлаж, чийгшүүлэх чадвар нь маш чухал юм. Боржин чулуун байгалийн талст бүтэц нь цутгамал төмрөөс 3-5 дахин илүү үр дүнтэй чичиргээг намсгах өвөрмөц шинж чанарыг өгдөг.
Боржин чулууны өндөр масс болон дотоод чийгшүүлэгч шинж чанарууд нь мэдрэмтгий хэмжилтийн мэдрэгч эсвэл оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд хүрэхээс өмнө өндөр давтамжийн чичиргээг шингээж авдаг байгалийн механик нам дамжуулалтын шүүлтүүрийг бий болгодог. Энэхүү идэвхгүй чичиргээний тусгаарлалт нь координатын хэмжих машин (CMM), лазер интерферометр, вафлийн үзлэгийн системд онцгой ач холбогдолтой бөгөөд нанометрийн хэмжээний чичиргээ нь хэмжилтийн өгөгдлийг гажуудуулж болзошгүй.
Соронзон бус болон химийн идэвхгүй шинж чанарууд
Боржин чулуун металл бус найрлага нь соронзон хөндлөнгийн оролцооны эрсдлийг арилгадаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч болон оптик хэмжилтийн аль алиных нь чухал давуу тал юм. Соронзон орон нь мэдрэмтгий электрон хэмжилтийн төхөөрөмжийг тасалдуулж, оптик системд тохируулгын алдаа үүсгэж болзошгүй. Боржин чулуун хэмжих хэрэгслийн хувьд соронзонжилт нь хэмжилтийн нарийвчлалд нөлөөлөх эсвэл эмзэг хавтангууд эсвэл оптик эд ангиудыг гэмтээж болзошгүй ферромагнет бөөмсийг татах эрсдэлгүй.
Үүнээс гадна, боржин чулуу нь химийн хувьд идэвхгүй бөгөөд цэвэр өрөөний орчинд түгээмэл хэрэглэгддэг хүчил, шүлт болон цэвэрлэгээний химийн бодисуудад тэсвэртэй байдаг. Энэхүү химийн эсэргүүцэл нь боржин чулуун гадаргуу нь хагас дамжуулагч боловсруулах болон оптик эд анги цэвэрлэхэд ашигладаг хатуу химийн бодисуудад өртсөн ч нарийн өнгөлгөө, бүтцийн бүрэн бүтэн байдлаа хадгалах боломжийг олгодог.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэрэглээ: Нано хувьсгалыг идэвхжүүлэх нь
Ваферын үзлэг ба хэмжилзүйн системүүд
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд вафлийн үзлэг нь гарц болон бүтээгдэхүүний чанарт шууд нөлөөлдөг чухал үйл явц юм. Боржин чулуун хэмжих хэрэгсэл нь автоматжуулсан оптик үзлэгийн (AOI) систем, вафлийн зузаан хэмжих төхөөрөмж, чухал хэмжээст хэмжилтийн хэрэгслүүдийн бүтцийн үндэс суурь болдог.
Нарийвчлалтай боржин чулуун суурийн хэт хавтгай гадаргуу нь вафлийн геометрийн нарийвчлалтай хэмжилт хийхэд шаардлагатай тогтвортой лавлах хавтгайг хангадаг. ≤1.5μm/m тэгш байдлын хүлцэлтэй 000-р зэргийн боржин чулуун гадаргуугийн хавтангууд нь шалгалтын явцад 300мм, тэр ч байтугай 450мм-ийн вафлиг жигд тулгуурлаж байгааг баталгаажуулдаг. Энэхүү жигд тулгуур нь вафлийн нугалах эсвэл хэмжилтийн алдаа болон хуурамч согог илрүүлэхэд хүргэж болзошгүй гажуудлаас сэргийлдэг.
Литографийн машины үе шатууд ба тэгшлэх системүүд
Хагас дамжуулагч литографи нь нарийн боржин чулуун эд ангиудын хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй хэрэглээ юм. Хэт хэт ягаан туяа (EUV) болон гүн хэт ягаан туяа (DUV) литографийн системд вафер болон торлог үе шатууд нь нанометрээс доогуур байрлалын нарийвчлалд хүрч, өртөлтийн талбайн дагуу уялдаа холбоог хадгалах ёстой.
Гранитийн дулааны тогтвортой байдал, чичиргээг намсгах болон хэмжээст тогтвортой байдлын хослол нь эдгээр чухал үе шатны бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд хамгийн тохиромжтой материал болгодог. Дулааны бага тэлэлт нь шугаман моторууд өндөр хурдтай байрлалд дулаан үүсгэдэг тул үе шатны геометр тогтмол хэвээр байх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь чипийн бүхэл бүтэн багцыг сүйтгэж болзошгүй давхаргын алдаанаас сэргийлдэг. Салбарын мэдээллээс харахад боржин чулуун дээр суурилсан литографийн үе шатууд нь 5нм-ээс бага байрлалын давтагдах чадварыг олж авдаг бөгөөд энэ нь 2нм ба түүнээс бага транзисторын зангилааны хэв маягийг бий болгох боломжийг олгодог.
Зонд станцууд болон цахилгааны туршилт
Хагас дамжуулагч ваферын зонд хийхэд датчикийн картууд болон ваферын туршилтын дэвсгэрүүдийн хооронд нарийн уялдаа холбоо шаардлагатай. Боржин чулуун хэмжих хэрэгсэл нь датчикийн станцуудын хатуу, тогтвортой суурийг бүрдүүлж, туршилтын дарааллын туршид датчик болон дэвсгэрүүдийн хоорондох нарийн уялдаа холбоог хадгалж байгааг баталгаажуулдаг. Боржин чулуун соронзон бус шинж чанарууд нь цахилгаан туршилтын дохионуудтай соронзон хөндлөнгийн оролцоог арилгаж, гүйдэл ба хүчдэлийн нарийвчлалтай хэмжилтийг баталгаажуулдаг.
Координат хэмжих машинууд (CMMs)
Координат хэмжих машинууд нь хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын бүрэлдэхүүн хэсэг, MEMS төхөөрөмж, тоног төхөөрөмжийн эд ангийн хэмжээст баталгаажуулалтад зайлшгүй шаардлагатай. Боржин чулуу нь эдгээр машинуудын суурь бүтэц болон лавлах гадаргуу болж, гурван хэмжээст хэмжилтийн нарийвчлалд шаардлагатай геометрийн тогтвортой байдлыг хангадаг. Боржин суурь, боржин чулуун гүүр, боржин чулуун агаарын тулгуурын хослол нь онцгой дулааны болон механик тогтвортой байдалтай хэмжилтийн системийг бий болгож, микроноос бага хүрээнд хэмжилтийн тодорхойгүй байдлыг бий болгодог.
Оптик үйлдвэрлэлийн хэрэглээ: Нарийвчлалтай гэрлийн удирдлага
Оптик ширээний суурь ба тавцангууд
Оптикийн салбар нь лазер систем, интерферометр, оптик угсралтын ажлын станцуудад тогтвортой тавцан бий болгохын тулд боржин чулуун хэмжих хэрэгслийг ашигладаг. Орчин үеийн оптик ширээнүүд нь ихэвчлэн зөгийн сархинаг хэлбэртэй ган тагийг ашигладаг боловч боржин чулуу нь суурь бүтэц болон дулааны болон механик тогтвортой байдлын дээд хязгаарыг шаарддаг хэрэглээнд илүүд үздэг материал хэвээр байна.
Боржин чулуун оптик платформууд нь онцгой тэгш байдал, хатуу байдлыг санал болгодог бөгөөд оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд цаг хугацааны явцад нарийн уялдаа холбоогоо хадгалах боломжийг олгодог. Энэ нь интерферометрийн хэмжилтэд онцгой чухал бөгөөд хэдхэн нанометрийн замын уртын зөрүү нь хэмжилтийн үр дүнд мэдэгдэхүйц нөлөөлж болно. Боржин чулуун чичиргээг намсгах шинж чанар нь оптик системийг барилгын чичиргээ болон тоног төхөөрөмжийн үүсгэсэн гажуудлаас тусгаарлахад тусалдаг.
Лазер интерферометрийн суурь ба лавлах бүтэц
Лазер интерферометрүүд нь хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй оптик хэмжилтийн хэрэглээ бөгөөд толь, цацраг хуваагч болон оптик эд ангиудын нарийн уялдаа холбоог хадгалахын тулд онцгой тогтвортой байдлыг шаарддаг. Боржин чулуун суурь нь эдгээр өндөр мэдрэмжтэй багаж хэрэгсэлд шаардлагатай хатуу, дулааны хувьд тогтвортой суурийг бүрдүүлдэг.
Үндэсний Стандарт, Технологийн Хүрээлэн (NIST)-ийн боловсруулсан XCALIBIR интерферометр гэх мэт хагас дамжуулагч ваферийн хавтгай хэмжилтийн системд боржин чулуун ширээ нь оптик системийг бүхэлд нь дэмжих тогтвортой платформ болж үйлчилдэг. (20 ± 0.02)°C температурын хяналтанд ажилладаг эдгээр системүүд нь ойролцоогоор 1nm RMS хэмжилтийн тодорхойгүй байдалд хүрдэг бөгөөд энэ нь металл суурьтай бүтцээр хүрэх боломжгүй нарийвчлалын түвшинд хүрдэг.
Нарийвчлалтай оптик угсралт ба тохируулга
Камерын линз, дурангийн оптик, лазер туяа дамжуулах систем зэрэг нарийн төвөгтэй оптик системийг угсрах нь олон оптик элементүүдийг нарийн тохируулахыг шаарддаг. Боржин чулуун хэмжих хэрэгсэл - түүний дотор гадаргуугийн хавтан, шулуун ирмэг, өнцгийн хавтан - нь угсралтын явцад зөв тохируулахыг хангахад шаардлагатай геометрийн лавлагааг өгдөг.
Оптик техникчид линзний элементүүдийг тэгшлэхийн тулд боржин чулуун гадаргуугийн хавтанг лавлах хавтгай болгон ашигладаг бөгөөд энэ нь бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийг оптик тэнхлэгтэй харьцангуй нарийн байрлуулсан эсэхийг баталгаажуулдаг. Боржин чулуун маш сайн хэмжээст тогтвортой байдал нь эдгээр лавлах хэрэгслүүд нь хэдэн арван жилийн турш нарийвчлалаа хадгалж, оптик системийн үйлдвэрлэлийн амьдралын мөчлөгийн туршид тогтвортой тэгшлэх жишиг үзүүлэлтүүдийг өгдөг.
Харьцуулсан давуу талууд: Боржин чулуу ба уламжлалт металл материал
Үйлчилгээний хугацааг уртасгасан
Боржин чулуун хэмжих хэрэгсэл нь металлын хувилбаруудтай харьцуулахад ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг. 30+ жилийн ашиглалтын хугацаатай боржин чулуун багаж нь үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн олон үеийг ашиглах боломжтой бөгөөд хөрөнгө оруулалтын онцгой өгөөжийг өгдөг. Үүний эсрэгээр цутгамал төмрийн гадаргуугийн хавтангууд нь ихэвчлэн 5-10 жил тутамд гадаргууг шинэчлэх шаардлагатай бөгөөд солих шаардлагатай болохоос өмнө 10-15 жилийн ашиглалтын хугацаатай байдаг.
Энэхүү ашиглалтын хугацааг уртасгах нь урт хугацаанд зардлын мэдэгдэхүйц хэмнэлтийг бий болгодог. Америкийн Механик Инженерүүдийн Нийгэмлэгийн (ASME) 2023 онд хийсэн судалгаагаар боржин чулуун бүтцийн эд ангиуд нь 10 жилийн хугацаанд ган эсвэл цутгамал төмрийн хувилбаруудтай харьцуулахад нийт эзэмшлийн зардлыг 27%-иар бууруулдаг болохыг тогтоожээ. Хагас дамжуулагч үйлдвэрүүд болон оптик үйлдвэрлэлийн байгууламжуудын хувьд энэ нь хөрөнгө оруулалтын зардлыг бууруулж, багаж хэрэгслийг солихоос үүдэлтэй үйлдвэрлэлийн тасалдал багасна гэсэн үг юм.
Засвар үйлчилгээний доод шаардлага
Боржин чулуун хэмжих хэрэгсэл нь металлын хувилбаруудтай харьцуулахад хамаагүй бага засвар үйлчилгээ шаарддаг. Зэврэлтээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд тогтмол тослох, тэгш байдлыг сэргээхийн тулд байнга хусах шаардлагатай цутгамал төмрийн гадаргуугаас ялгаатай нь боржин чулуун гадаргуу нь хэвийн ажиллагааны нөхцөлд засвар үйлчилгээ шаарддаггүй.
Боржин чулуу нь сүвэрхэг бус, химийн хувьд идэвхгүй шинж чанартай тул зэврэхгүй, хамгаалалтын бүрхүүл шаарддаггүй, цехийн хог хаягдал болон химийн бодисын бохирдолд тэсвэртэй гэсэн үг юм. Жилд ойролцоогоор 1% нарийвчлалын бууралтын түвшин нь боржин чулуун багаж нь элэгдэл болон хүрээлэн буй орчны хүчин зүйлээс шалтгаалан жилд 5-10% нарийвчлалын бууралттай металл багажнаас хамаагүй удаан тохируулгатай байдаг гэсэн үг юм.
Урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдал
Боржин чулуу хэмжих хэрэгслийн хамгийн чухал давуу тал нь тэдний урт хугацааны онцгой хэмжээст тогтвортой байдал байж болох юм. Дэлхийн гадаргын доор сая сая жилийн турш байгалийн стрессийг тайлах үйл явцыг туулсан боржин чулуу нь металл бүтцийг цаг хугацааны явцад муруйж, деформацид оруулдаг дотоод стрессийг тайлах үйл явцыг мэдэрдэггүй.
Энэхүү тогтвортой байдал нь боржин чулуун хэмжих хэрэгслийг эцсийн хэмжээс хүртэл нарийвчлалтай нунтагласны дараа хэдэн арван жилийн турш тэдгээр хэмжээсийг хадгалах болно гэсэн үг юм. Салбарын мэдээллээс харахад боржин чулуун гадаргуугийн хавтан нь 10 жилийн тогтмол хэрэглээний дараа анхны нарийвчлалынхаа 95%-ийг хадгалдаг бол өндөр чанартай цутгамал төмрийн хавтангийн хувьд 70-80% байдаг. Хагас дамжуулагч болон оптик үйлдвэрлэгчдийн хувьд энэ нь хэмжилтийн нарийвчлалыг жилээс жилд тогтвортой байлгаж, багажны тохируулгын улмаас үүсэх үйлдвэрлэлийн алдааны эрсдлийг бууруулдаг.
Бодит ертөнцийн гүйцэтгэл: Кейс судалгаа ба өгөгдөл
Хагас дамжуулагч ваферын үзлэг амжилттай болсон
Европын тэргүүлэгч хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч нь боржин чулуун суурьтай вафлийн үзлэгийн платформуудыг нэвтрүүлж, хэмжилтийн найдвартай байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулсан гэж мэдээлсэн. Цутгамал төмрөөс боржин чулуун лавлах гадаргуу руу шилжсэнээр дараахь үр дүнд хүрсэн.
- Температурын өөрчлөлтөөс хамааран хэмжилтийн хэлбэлзэл 40%-иар буурсан
- Дахин тохируулгын давтамжийг 60%-иар бууруулсан (6 сараас 2 жилийн зайтай)
- Илүү тогтвортой шалгалт хийснээр нийт үйлдвэрлэлийн гарц 2.3%-иар сайжирсан
Боржин чулуун тавцангийн дулааны тогтвортой байдал нь компанийн 24/7 үйлдвэрлэлийн орчинд онцгой үнэ цэнэтэй байсан бөгөөд тоног төхөөрөмжөөс үүссэн дулаан нь өмнө нь хэмжилтийн нарийвчлалд нөлөөлдөг байсан температурын хэлбэлзлийг үүсгэдэг байв.
Оптик хэмжилзүйн лабораторийн гүйцэтгэл
Үндэсний Стандарт, Технологийн Хүрээлэн (NIST) нь өөрийн ваферын хавтгай хэмжилзүйн лабораторид боржин чулуун суурьтай интерферометрийн системийн гүйцэтгэлийг баримтжуулсан. Нарийн боржин чулуун ширээн дээр суурилуулсан XCALIBIR интерферометр нь дараахь зүйлийг хийдэг.
- 300 мм-ийн вафлины хувьд ~1nm RMS-ийн хавтгай байдлын хэмжилтийн тодорхойгүй байдал
- Оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн чухал тохируулгын хувьд 0.01μrad өнцгийн тогтвортой байдал
- Бүтцийн эвдрэлгүйгээр 10 гаруй жилийн турш тасралтгүй ажиллах хугацаанд тогтвортой гүйцэтгэл
Боржин чулууны онцгой шинж чанараар хангагдсан энэхүү гүйцэтгэлийн түвшин нь дараагийн үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн технологийг хөгжүүлэхийг дэмждэг.
Урт хугацааны бат бөх байдлын баталгаажуулалт
Их Британийн Үндэсний Физик Лабораторийн бие даасан туршилтаар үйлдвэрлэлийн нөхцөлд боржин чулуу хэмжих хэрэгслийн урт хугацааны гүйцэтгэлийг үнэлсэн. Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн орчинд 15 жил тасралтгүй ашигласны дараа туршсан боржин чулуун гадаргуугийн хавтангууд нь дараахь зүйлийг харуулсан.
- Анхны үзүүлэлтээс 1.2μm-ээс бага хавтгай байдлын хазайлт (000-р зэргийн хүлцэл дотор)
- Хэмжилтийн хэдэн мянган мөчлөг байсан ч гадаргуугийн элэгдлийг хэмжих боломжгүй байна
- Анхны материалын үзүүлэлттэй тохирч буй дулааны тэлэлтийн тогтвортой гүйцэтгэл
Эдгээр үр дүнгүүд нь үйлдвэрлэлийн хүнд нөхцөлд боржин чулуу хэмжих багаж хэрэгслийн онцгой бат бөх чанар, урт хугацааны тогтвортой байдлыг баталж байна.
Ирээдүйн чиг хандлага ба дүгнэлт
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл 2 нм-ээс доош транзисторын зангилаа руу чиглэсэн ахиц дэвшлээ үргэлжлүүлж, оптикийн салбар лазер систем, дүрслэл, квант оптикийн нарийвчлалын хил хязгаарыг туулж байгаа тул тогтвортой, нарийвчлалтай хэмжих хэрэгслийн эрэлт хэрэгцээ улам бүр нэмэгдэх болно. Дулааны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдал, чичиргээг намсгах, урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдлын батлагдсан хослол бүхий боржин чулуун хэмжих хэрэгслүүд нь эдгээр хувьсан өөрчлөгдөж буй шаардлагыг хангахад тохиромжтой байр суурьтай байна.
Гибрид материалын систем дэх шинээр гарч ирж буй чиг хандлага нь боржин чулууг дэвшилтэт нийлмэл материал эсвэл керамиктай хослуулан хэрэглэх нь жин бууруулах эсвэл дулаан дамжуулалтыг сайжруулах зэрэг тодорхой хэрэглээний шаардлагыг хангахын зэрэгцээ нарийвчлалтай хэмжих хэрэгслийн гүйцэтгэлийг улам сайжруулах болно гэж амлаж байна. Гэсэн хэдий ч геологийн цаг хугацааны хэмжүүрээр цутгаж, нарийвчлалтай үйлдвэрлэлээр дамжуулан цэвэршүүлсэн байгалийн боржин чулуун үндсэн давуу талууд нь хамгийн өндөр нарийвчлалтай хэрэглээнд орлуулшгүй хэвээр байх болно.
Хагас дамжуулагч болон оптик үйлдвэрлэгчдийн хувьд боржин чулуу хэмжих хэрэгсэлд оруулсан хөрөнгө оруулалт нь хэмжилтийн нарийвчлалыг сайжруулах, засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулах, ашиглалтын хугацааг уртасгах, эцэст нь бүтээгдэхүүний гарцыг нэмэгдүүлэх замаар өгөөжийг өгдөг. Хэмжилтийн хүлцэл чангарч, үйлдвэрлэлийн процесс улам бүр боловсронгуй болохын хэрээр боржин чулуу хэмжих хэрэгслийн үнэ цэнийн санал улам бүр сонирхолтой болж байна.
Эцэст нь хэлэхэд, хагас дамжуулагч болон оптик үйлдвэрлэлийн боржин чулуун хэмжих хэрэгслийн давуу талууд нь тодорхой бөгөөд сайн баримтжуулсан байдаг. Онцгой дулааны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлаас эхлээд чичиргээг намсгах чадвар, 30 гаруй жилийн ашиглалтын хугацаа хүртэл боржин чулуун багаж хэрэгсэл нь орчин үеийн технологийн дэвшлийг бий болгох нарийвчлалын хэмжилтийн үндэс суурийг тавьдаг. Аж үйлдвэрүүд нано үйлдвэрлэл болон оптик нарийвчлалын боломжит хил хязгаарыг тэлсээр байгаа тул боржин чулуун хэмжих хэрэгсэл нь хэмжил зүй, тэгшлэлтийн хэрэглээний алтан стандарт хэвээр байх болно.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 5-р сарын 8