♦Хөнгөн цагааны исэл (Al2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) үйлдвэрлэсэн нарийн керамик эд ангиудыг өндөр цэвэршилттэй керамик түүхий эд, 92 ~ 97% хөнгөн цагаан, 99.5% хөнгөн цагаан, >99.9% хөнгөн цагаан исэл, CIP хүйтэн изостатик шахалтаар хийж болно.Өндөр температурт синтеринг ба нарийн боловсруулалт, хэмжээсийн нарийвчлал ± 0.001мм, Ra0.1 хүртэл гөлгөр, 1600 градус хүртэл ашиглах температур.Хар, цагаан, шаргал, хар улаан гэх мэтчилэн хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн төрөл бүрийн өнгөт керамик эдлэлийг хийж болно.Манай компанийн үйлдвэрлэсэн нарийн керамик эд анги нь өндөр температур, зэврэлт, элэгдэл, дулаалгад тэсвэртэй, өндөр температур, вакуум, идэмхий хийн орчинд удаан хугацаагаар ашиглагддаг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг: Хүрээ (керамик хаалт), субстрат (суурь), гар/гүүр (манипулятор), механик эд анги, керамик агаарын холхивч.
| Бүтээгдэхүүний нэр | Өндөр цэвэршилттэй 99 хөнгөн цагааны керамик дөрвөлжин хоолой / хоолой / саваа | |||||
| Индекс | Нэгж | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| Нягт | г/см3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Усны шингээлт | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Шингэрүүлсэн температур | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Хатуу байдал | Мохс | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Гулзайлтын хүч (20℃)) | Мпа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Шахалтын хүч | Кгф/см2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Удаан хугацааны ажлын температур | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Макс.Ажлын температур | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Эзлэхүүний эсэргүүцэл | 20℃ | Ω.см3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамикийн хэрэглээ:
1. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид хэрэглэнэ: керамик вакуум чак, зүсэх диск, цэвэрлэх диск, керамик CHUCK.
2. Өргөст ялтас шилжүүлэх эд анги: өрмөнцөртэй харьцах патрон, өрмөнцөр зүсэх диск, вафель цэвэрлэх диск, өрөвсний оптик шалгах сорох аяга.
3. LED / LCD хавтгай дэлгэцийн үйлдвэрлэл: керамик цорго, керамик нунтаглах диск, LIFT PIN, PIN rail.
4. Оптик холбоо, нарны үйлдвэр: керамик хоолой, керамик саваа, хэлхээний самбарын дэлгэц хэвлэх керамик хусуур.
5. Халуунд тэсвэртэй, цахилгаан тусгаарлагч эд анги: керамик холхивч.
Одоогийн байдлаар хөнгөн цагаан ислийн керамикийг өндөр цэвэршилттэй, нийтлэг керамик гэж хувааж болно.Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан ислийн керамик цуврал нь 99.9%-иас дээш Al₂O₃ агуулсан керамик материалыг хэлдэг.1650 - 1990 ° C хүртэл шингэлэх температур, дамжуулах долгионы урт нь 1 ~ 6 μм тул цагаан алтны тигелийн оронд ихэвчлэн хайлмал шилэнд боловсруулдаг: гэрлийн дамжуулалт, зэврэлтэнд тэсвэртэй тул натрийн хоолой болгон ашиглаж болно. шүлтлэг металл.Электроникийн үйлдвэрт үүнийг IC субстратын өндөр давтамжийн тусгаарлагч материал болгон ашиглаж болно.Хөнгөн цагааны ислийн янз бүрийн агууламжийн дагуу нийтлэг хөнгөн цагаан ислийн керамик цувралыг 99 керамик, 95 керамик, 90 керамик, 85 керамик гэж хувааж болно.Заримдаа 80% эсвэл 75% хөнгөн цагаан исэл агуулсан керамик эдлэлийг энгийн хөнгөн цагаан ислийн керамик цуврал гэж ангилдаг.Эдгээрийн дотор 99 хөнгөн цагаан ислийн керамик материалыг өндөр температурт тигель, галд тэсвэртэй зуухны хоолой, шаазан холхивч, керамик лац, хавхлаг хавтан зэрэг элэгдэлд тэсвэртэй тусгай материал үйлдвэрлэхэд ашигладаг.95 хөнгөн цагаан керамикийг зэврэлтэнд тэсвэртэй элэгдэлд тэсвэртэй эд анги болгон ашигладаг.85 керамик нь ихэвчлэн зарим шинж чанараараа холилддог бөгөөд ингэснээр цахилгаан гүйцэтгэл, механик хүчийг сайжруулдаг.Энэ нь молибден, ниобий, тантал болон бусад металл лацыг ашиглах боломжтой бөгөөд заримыг нь цахилгаан вакуум төхөөрөмж болгон ашигладаг.
| Чанарын зүйл (төлөөлөх үнэ цэнэ) | Бүтээгдэхүүний нэр | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химийн найрлага багатай натри багатай амархан шингэлэх бүтээгдэхүүн | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Хөөе | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Дунд зэргийн бөөмийн диаметр (MT-3300, лазерын шинжилгээний арга) | мкм | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Кристал хэмжээ | мкм | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Үүсгэх нягтрал** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Цутгах нягт ** | г/см³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Цутгах шугамын агшилтын хурд** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Al₂O₃-ийн цэвэр байдлын тооцоонд MgO ороогүй болно.
* Хуруу нунтаггүй 29.4МПа (300кг/см²), агломерын температур 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO нэмнэ, шингэлэх чадвар нь маш сайн тул 99% -иас дээш цэвэршилттэй хөнгөн цагаан ислийн керамик эдлэлд хэрэглэнэ.
AES-22S: Хэмжээний өндөр нягтралтай, агшилтын шугамын агшилтын хурд багатайгаараа онцлог бөгөөд шаардлагатай хэмжээсийн нарийвчлал бүхий гулсмал цутгамал болон бусад том хэмжээний бүтээгдэхүүнд хэрэглэнэ.
AES-23 / AES-31-03: Энэ нь AES-22S-ээс өндөр нягтралтай, тиксотропи, зуурамтгай чанар багатай.Эхнийх нь керамик эдлэлд ашиглагддаг бол сүүлийнх нь галд тэсвэртэй материалд ус багасгагч болгон ашиглагдаж, түгээмэл болж байна.
♦Цахиурын карбидын (SiC) шинж чанар
| Ерөнхий шинж чанар | Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн цэвэр байдал ( жин %) | 97 | |
| Өнгө | Хар | ||
| Нягт (г/см³) | 3.1 | ||
| Ус шингээлт (%) | 0 | ||
| Механик шинж чанар | Гулзайлтын бат бэх (МПа) | 400 | |
| Залуу модуль (GPa) | 400 | ||
| Викерсийн хатуулаг (GPa) | 20 | ||
| Дулааны шинж чанар | Ашиглалтын хамгийн их температур (°C) | 1600 | |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (Вт/м x К) | 130 110 | ||
| Дулааны цохилтын эсэргүүцэл ΔT (°C) | 300 | ||
| Цахилгааны шинж чанар | Эзлэхүүний эсэргүүцэл | 25°С | 3 х 106 |
| 300 ° C | - | ||
| 500 ° C | - | ||
| 800 ° C | - | ||
| Диэлектрик тогтмол | 10 ГГц | - | |
| Диэлектрик алдагдал (x 10-4) | - | ||
| Q хүчин зүйл (x 104) | - | ||
| Диэлектрикийн эвдрэлийн хүчдэл (КВ/мм) | - | ||
♦Цахиурын нитридын керамик
| Материал | Нэгж | Si₃N₄ |
| Шингэрүүлэх арга | - | Хийн даралтаар шингэрүүлсэн |
| Нягт | г/см³ | 3.22 |
| Өнгө | - | Хар саарал |
| Ус шингээлтийн түвшин | % | 0 |
| Залуу модуль | Gpa | 290 |
| Викерсийн хатуулаг | Gpa | 18-20 |
| Шахалтын хүч | Мпа | 2200 |
| Гулзайлтын хүч | Мпа | 650 |
| Дулаан дамжуулалтын | Вт/мК | 25 |
| Дулааны цохилтын эсэргүүцэл | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Ашиглалтын хамгийн их температур | °C | 1200 |
| Эзлэхүүний эсэргүүцэл | Ω·см | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрик тогтмол | - | 8.2 |
| Диэлектрик хүч | кВ/мм | 16 |