Нарийн хэмжилтийн салбарт боржин чулуу нь тоног төхөөрөмж, хэмжилтийн нарийвчлалыг хангах гол хэрэгсэл болохын хувьд түүний тэгш байдлын зэрэг нь хэмжилтийн үр дүнгийн найдвартай байдалд шууд нөлөөлдөг. АНУ-ын Үндэсний Стандарт, Технологийн Хүрээлэнгийн (NIST) гэрчилгээ нь өндөр нарийвчлалтай хэмжих төхөөрөмжийн дэлхийд хүлээн зөвшөөрөгдсөн эрх мэдэл бүхий стандарт бөгөөд АА түвшний тэгш байдал нь маш өндөр нарийвчлал шаарддаг зэрэглэлийн нэг юм. Салбартаа тэргүүлэгч брэнд болох ZHHIMG нь дэвшилтэт технологи, нарийн гар урлалаараа хэрэглэгчдэд NIST-ийн гэрчилгээ, боржин чулуун шулуутгагч АА түвшний тэгш байдлын зорилгод хүрэхэд тусалдаг. Дараах нь шалгалт тохируулгын гол цэгүүд болон хэрэгжүүлэх замуудын нарийвчилсан дүн шинжилгээг танд өгөх болно.
1. NIST гэрчилгээ болон АА түвшний тэгш байдлын стандартыг ойлгох
NIST-ийн гэрчилгээ нь нарийн шалгалт, үнэлгээний үйл явцаараа алдартай бөгөөд гол зорилго нь хэмжих хэрэгслийг дэлхийн тэргүүлэгч нарийвчлалын стандартад нийцүүлэх явдал юм. Боржингийн шулуун ирмэгийн салбарт АА зэрэглэлийн тэгш байдлын шаардлага маш хатуу байдаг. Ерөнхийдөө метр бүрийн урт дахь тэгш байдлын алдааг ± 0.5μm дотор хянах ёстой гэж заасан байдаг. Энэхүү стандарт нь шулуун шугамын материалын шинж чанар, боловсруулах технологи, тохируулгын технологид маш өндөр шаардлага тавьдаг. NIST-ээр баталгаажсан АА зэрэглэлийн боржин чулуу нь өндөр нарийвчлалтай хэмжилт хийх найдвартай баталгаа төдийгүй аж ахуйн нэгжийн техникийн хүч чадал, бүтээгдэхүүний чанарын хүчтэй нотолгоо юм.
II. ZHHIMG боржин чулуун шонгийн чанарын суурь
ZHHIMG боржин чулуу нь материал сонгох шатнаас өндөр нарийвчлалтай суурийг тавьсан. Сонгогдсон өндөр чанартай байгалийн боржин чулуу нь дотоод эрдсийн нягт талсжилт, жигд бүтэцтэй, 5-7 × 10⁻⁶/℃ бага дулаан тэлэлтийн коэффициенттэй, байгалийн тогтворжилт, хэв гажилтын эсрэг чадвартай тул АА түвшний тэгш байдлыг хангах давуу талтай. Боловсруулах үе шатанд ZHHIMG нь CNC нунтаглах, өнгөлөх зэрэг дэвшилтэт техникийг ашиглан лазер интерферометр зэрэг өндөр нарийвчлалтай илрүүлэгч төхөөрөмжтэй хослуулан бодит цагийн шалгалт тохируулга хийдэг бөгөөд ингэснээр тэгшлэгчийн гадаргуу нь боловсруулалтын явцад маш өндөр анхны нарийвчлалд хүрч, дараагийн шалгалт тохируулгын ажилд таатай нөхцлийг бүрдүүлдэг.
Iii. Шалгалт тохируулгын өмнөх бэлтгэл
NIST-ийн баталгаажуулалтын шалгалт тохируулга хийхээс өмнө шулуун шугам нь хамгийн сайн нөхцөлд байгаа эсэхийг шалгах шаардлагатай. Юуны өмнө шулуун шугамын гадаргууг гүн цэвэрлэх хэрэгтэй. Шалгалт тохируулгын нарийвчлалд нөлөөлөхөөс зайлсхийхийн тулд гадаргуу дээрх тосны толбо, тоос шороо болон бусад бохирдлыг арилгахын тулд хөвөнгүй даавуу, тусгай цэвэрлэгч ашиглана. Хоёрдугаарт, шулуутгагчийг орчны температур, чийгшилд бүрэн дасан зохицож, хүрээлэн буй орчны өөрчлөлтөөс үүдэлтэй бага зэргийн хэв гажилтыг арилгахын тулд тогтмол температур, чийгшил бүхий орчинд 24 цагаас илүү хугацаагаар байрлуулна. Үүнээс гадна лазер интерферометр, электрон түвшин зэрэг өндөр нарийвчлалтай тохируулгын хэрэгслийг бэлтгэх шаардлагатай. Эдгээр хэрэгслүүдийн нарийвчлал нь шалгалт тохируулгын үр дүнгийн нарийвчлалд шууд нөлөөлдөг.
Iv. Шалгалт тохируулгын процесс ба гол технологиуд
Барзгар шалгалт тохируулга: Шулуун талын эхний хэмжилтийг хийхийн тулд электрон түвшинг ашиглана. Хэмжилтийн цэгийг тодорхой интервалаар (жишээ нь 100 мм) цуглуулж, шулуун шугамын гадаргуугийн контурын ойролцоо мэдээллийг авна. Хэмжилтийн үр дүнд тулгуурлан шулуун ирмэгийн гадаргууг CNC нунтаглах төхөөрөмжөөр ойролцоогоор боловсруулж, илэрхий өндөр цэгүүдийг арилгахын тулд тэгш байдлыг АА түвшний стандартын шаардлагад ойртуулсан.
Нарийвчлалын шалгалт тохируулга: Өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийг лазер интерферометр ашиглан гүйцэтгэдэг бөгөөд микрометрийн түвшинд шулуун шугамын гадаргуу дээрх өндрийн өөрчлөлтийг нарийн тодорхойлох боломжтой. Интерферометрээс авсан мэдээлэлд үндэслэн гар аргаар нунтаглах ажлыг CNC боловсруулалттай хослуулан шулуун ирмэгийн гадаргууг нарийн нунтагласан. Нунтаглах явцад тэгш байдлын алдааг аажмаар арилгахын тулд нунтаглах даралт, чиглэлийг байнга тохируулах шаардлагатай бөгөөд ингэснээр шулуун ирмэгийн гадаргуугийн тэгш байдал илүү өндөр түвшинд хүрч болно.
Давтан шалгах, нарийн тааруулах: Нарийн шалгалт тохируулга хийж дууссаны дараа лазер интерферометр болон электрон түвшинг ашиглан шулуун ирмэгийн иж бүрэн шалгалтыг дахин хийж хэмжилтийн цэг бүрийн тэгш байдлын алдаа АА түвшний стандартын хүрээнд байгаа эсэхийг шалгаарай. Хэрэв орон нутагт бага зэргийн алдаа олдвол шулуун шугамын ерөнхий тэгш байдал нь NIST-ийн гэрчилгээний АА түвшний шаардлагыг бүрэн хангах хүртэл зорилтот нарийн тохируулгыг хийх ёстой.
V. NIST гэрчилгээ олгох өргөдөл ба тойм
Шалгалт тохируулж, тэгш өнцөгт нь АА түвшний тэгш байдалд хүрсэн болохыг баталгаажуулсны дараа та гэрчилгээ олгох өргөдлөө NIST-д гаргаж болно. Өргөдөл гаргах явцад шулуун шугамын нарийвчилсан техникийн үзүүлэлтүүд, боловсруулах технологийн тодорхойлолт, шалгалт тохируулгын бүртгэл болон бусад материалыг өгөх ёстой. NIST нь мэргэжлийн хянагчдыг газар дээр нь шалгаж, шулуун шугамын үнэлгээг явуулах болно. Шалгалт нь шулуун шугамын тэгш байдал, дулааны тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдал зэрэг олон талыг хамарна. Зөвхөн хатуу хяналтанд тэнцсэн боржин чулуу нь NIST-ийн гэрчилгээг авч, нарийн хэмжилтийн салбарт жишиг бүтээгдэхүүн болж чадна.
Дээр дурдсан ZHHIMG боржин чулуун тэгш өнцөгт тохируулгын удирдамжийг дагаснаар аж ахуйн нэгж, судалгааны байгууллагууд NIST-ийн гэрчилгээ, АА түвшний тэгш байдлын зорилгод илүү үр дүнтэй хүрч чадна. Механик үйлдвэрлэл, сансар огторгуй, электрон чип зэрэг маш өндөр нарийвчлал шаардсан салбаруудад ч бай, NIST-ээр баталгаажсан ZHHIMG боржин чулуу нь хэмжилтийн нарийвчлал, бүтээгдэхүүний чанарыг баталгаажуулах найдвартай түнш болж, аж ахуйн нэгжүүдэд нарийн хэмжилтийн салбарт тасралтгүй нэвтэрч, илүү өндөр нарийвчлалтай ирээдүй рүү шилжихэд тусалдаг.
Шуудангийн цаг: 2025-05-13