Өндөр чанартай үйлдвэрлэл, оптик хяналт, хагас дамжуулагч боловсруулалт, нано хэмжээний шинжлэх ухааны судалгааны салбарт хүрээлэн буй орчны бичил чичиргээ нь тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлдөг гол хүчин зүйл юм. XYT нарийн идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь байгалийн боржин чулуун суурь дээр тулгуурлан идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах технологи, өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг удирдан чиглүүлж, таны туршилт, үйлдвэрлэлд бараг тэг чичиргээ бүхий хэт тогтвортой орчинг бүрдүүлж, нарийн тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийн хил хязгаарыг дахин тодорхойлдог.
Боржин суурь: Байгалийн бэлгүүдийн тогтвортой суурь
Байгалийн өндөр нягтралтай материалын хувьд боржин чулуу нь орлуулашгүй гурван давуу талтай:
Супер тогтвортой байдал: Нягт нь 2.6-3.1г/см³ хүртэл өндөр, дотоод болор бүтэц нь жигд, дулааны тэлэлтийн коэффициент маш бага (<5×10⁻⁶/℃), температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй хэв гажилтыг үр дүнтэй эсэргүүцэх, геометрийн нарийвчлалыг удаан хугацаанд хадгалах.
Маш сайн чичиргээ сааруулагч гүйцэтгэл: угаасаа гангаар хийсэн чийгшүүлэгч нь гангаас 3 дахин их бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн дотоод чичиргээ, гадаад ертөнцөөс бага давтамжийн хөндлөнгийн оролцоог хурдан шингээж, идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах системийг цэвэр "эхлэх шугам" болгодог.
Тэг нэвчилт ба зэврэлтэнд тэсвэртэй: соронзон хөндлөнгийн оролцоо байхгүй, хүчил ба шүлтийн зэврэлтэнд тэсвэртэй, электрон микроскоп, лазер интерферометр болон бусад цахилгаан соронзон мэдрэмтгий үзэгдлүүдэд тохиромжтой, ашиглалтын хугацаа 20 гаруй жил хүрч болно.
XYT нь платформ болон ачааны тоног төхөөрөмжийг жигд тохируулахын тулд AAA зэрэглэлийн "Жинан Ногоон" боржин чулуу, CNC ≤0.005мм/м² тэгш, гадаргуугийн тэгш бус байдал Ra≤0.2μm хүртэл нунтаглаж, өнгөлсөнийг сонгосон.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 11