XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь нарийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгаа, хайгуул зэрэгт өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хянах үндсэн төхөөрөмж болсон. Тэдгээрийн дотроос боржин чулуун суурийг ашиглах нь платформын гүйцэтгэлийг сайжруулах олон гол давуу талыг авчирдаг.
Маш сайн тогтвортой байдал, гадны нөлөөллөөс тусгаарлагдсан
Боржингийн суурь нь олон сая жилийн геологийн нөлөөгөөр хатуурсан бөгөөд дотоод ашигт малтмал нь хоорондоо нягт уялдаатай, бүтэц нь нягт, жигд байдаг. Үйлдвэрийн цехийн том тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, эргэн тойрон дахь хөдөлгөөний улмаас үүссэн хүчтэй чичиргээ зэрэг нарийн төвөгтэй гадаад чичиргээний эх үүсвэрийн өмнө энэ нь хатуу цайз мэт юм. Нарийн төвөгтэй талст бүтэцээр дамжуулан боржин чулуун суурь нь чичиргээг үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформд дамжих чичиргээний далайцыг 80% -иас илүү бууруулах боломжтой. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх цехийг жишээ болгон авч үзвэл фотолитографийн процесс нь платформын маш өндөр тогтвортой байдлыг шаарддаг бөгөөд жижиг чичиргээ ч гэсэн чипийн хэв маягийн хазайлтад хүргэж болзошгүй юм. Энэ хувилбарт боржин чулуун суурьтай XYT платформ нь литографийн төхөөрөмжийн үнэн зөв ажиллагааг хангаж, чип үйлдвэрлэх тогтвортой суурийг бүрдүүлж, чипний гарцыг сайжруулахад тусалдаг.
Маш сайн дулааны тогтвортой байдал нь байнгын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг
Температурын хэлбэлзэл нь нарийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд нөлөөлдөг гол асуудал боловч боржингийн суурь нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициентээр амархан шийдэгддэг. Түүний дулааны тэлэлтийн коэффициент нь ерөнхийдөө 5-7 ×10⁻⁶/℃ бөгөөд температур өөрчлөгдөхөд хэмжээ нь маш бага өөрчлөгддөг. Одон орон судлалын салбарт өдөр шөнийн температурын зөрүү их байсан ч дурангийн линзийг боржин чулуун суурьтай нарийн тааруулах зориулалттай XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөнт платформ нь линзний байршлын нарийвчлалыг микрон доогуур түвшинд байлгаж, одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийн нарийн динамикийг олж авахад тусалдаг.
Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, урт хугацааны эдэлгээг хангах
XYT нарийн идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь урт хугацааны ашиглалтын үед суурьтай тодорхой үрэлттэй байдаг. Боржингийн хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг 6-7 хүртэл, элэгдэлд тэсвэртэй. Материал судлалын лабораторид байнга ашиглагддаг XYT платформ, түүний боржин чулуун суурь нь энгийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, платформын засвар үйлчилгээний хугацааг 50% -иас дээш хугацаагаар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангах боломжтой.
XYT Precision идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөнт платформ нь боржин суурьтай, тогтвортой байдал, дулааны тогтвортой байдал, бат бөх чанараараа маш сайн гүйцэтгэлтэй тул олон нарийн тоног төхөөрөмжийн дундаас ялгардаг.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 11