XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь нарийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгаа, хайгуулд өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтыг бий болгох гол тоног төхөөрөмж болсон. Эдгээрийн дотор боржин чулуун суурийг ашиглах нь платформын гүйцэтгэлийг сайжруулах олон гол давуу талыг авчирдаг.
Маш сайн тогтвортой байдал, гадны нөлөөллөөс тусгаарлагдсан
Боржин чулуун суурь нь сая сая жилийн геологийн нөлөөгөөр зөөлөрсөн бөгөөд дотоод эрдэс бодисууд нь хоорондоо нягт уялдаатай бөгөөд бүтэц нь нягт, жигд байдаг. Үйлдвэрийн цехэд том тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, хүрээлэн буй орчны хөдөлгөөнөөс үүссэн хүчтэй чичиргээ зэрэг нарийн төвөгтэй гадаад чичиргээний эх үүсвэрүүдийн өмнө энэ нь бат бөх цайз мэт юм. Нарийн төвөгтэй болор бүтцээр дамжуулан боржин чулуун суурь нь чичиргээг үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ руу дамжуулсан чичиргээний далайцыг 80 гаруй хувиар бууруулж чаддаг. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх цехийг жишээ болгон авч үзвэл, фотолитографийн процесс нь платформын маш өндөр тогтвортой байдлыг шаарддаг бөгөөд тэр ч байтугай жижиг чичиргээ нь чипийн хэв маягийн хазайлтад хүргэж болзошгүй юм. Энэ тохиолдолд боржин чулуун суурийн тулгууртай XYT платформ нь литографийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалтай ажиллагааг хангаж, чип үйлдвэрлэх тогтвортой суурийг бий болгож, чипийн гарцыг сайжруулахад тусалдаг.
Маш сайн дулааны тогтвортой байдал нь тогтмол нарийвчлалыг баталгаажуулдаг
Температурын хэлбэлзэл нь нарийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд нөлөөлдөг томоохон асуудал боловч боржин чулуун суурь нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициентоор амархан шийдэгддэг. Дулааны тэлэлтийн коэффициент нь ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ бөгөөд температур өөрчлөгдөхөд хэмжээ нь маш бага өөрчлөгддөг. Одон орон судлалын салбарт өдөр шөнийн температурын зөрүү мэдэгдэхүйц байсан ч гэсэн линзний байрлалын нарийвчлалыг микроноос доош түвшинд хадгалах боломжийг олгодог бөгөөд одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийн нарийн динамикийг авахад тусалдаг.
Урт хугацааны бат бөх чанарыг хангахын тулд өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй
XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөнт платформ нь удаан хугацааны ашиглалтын явцад суурьтай тодорхой үрэлттэй байдаг. Боржин чулуун өндөр хатуулагтай, Мохсын хатуулаг 6-7 хүртэл, элэгдэлд маш сайн тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг XYT платформ нь боржин чулуун суурь нь ердийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, платформын засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50%-иас дээш хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангаж чаддаг.
Боржин чулуун суурьтай XYT Precision идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөнт платформ нь тогтвортой байдал, дулааны тогтвортой байдал, бат бөх чанарын хувьд маш сайн гүйцэтгэлтэй тул олон нарийн тоног төхөөрөмжөөс ялгардаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 11