Чип үйлдвэрлэх гол холбоос болох вафель сканнерийн хувьд төхөөрөмжийн нарийвчлал нь чипийн чанарыг тодорхойлдог. Тоног төхөөрөмжийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болох боржингийн машины суурийн дулааны тэлэлтийн асуудал олны анхаарлыг татсан.
Боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь ихэвчлэн 4-8 × 10⁻⁶/℃ хооронд байдаг бөгөөд энэ нь метал болон гантиг чулуунаас хамаагүй бага байдаг. Энэ нь температур өөрчлөгдөхөд түүний хэмжээ харьцангуй бага өөрчлөгддөг гэсэн үг юм. Гэсэн хэдий ч бага дулааны тэлэлт нь дулааны тэлэлт байхгүй гэсэн үг биш гэдгийг тэмдэглэх нь зүйтэй. Температурын хэт хэлбэлзлийн үед өчүүхэн төдий тэлэлт нь вафель сканнердах нано хэмжээний нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй.
Өрөөнд сканнердах явцад дулааны тэлэлт үүсэх олон шалтгаан бий. Цех дэх температурын хэлбэлзэл, тоног төхөөрөмжийн эд ангиудын үйл ажиллагаанаас үүсэх дулаан, лазер боловсруулалтаар авчирсан агшин зуурын өндөр температур зэрэг нь боржин чулуун суурийг "температурын өөрчлөлтөөс болж тэлэх, агших" шалтгаан болно. Суурь нь дулааны тэлэлтэнд орсны дараа чиглүүлэгч төмөр замын шулуун байдал болон тавцангийн тэгш байдал нь хазайж, ялтсан хавтангийн хөдөлгөөний замнал буруу болно. Дэмжих оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь мөн шилжиж, сканнерын цацрагийг "газайхад" хүргэдэг. Удаан хугацааны турш тасралтгүй ажиллах нь алдааг хуримтлуулж, нарийвчлалыг улам бүр дордуулна.
Гэхдээ санаа зовох хэрэггүй. Хүмүүс аль хэдийн шийдэлтэй болсон. Материалын хувьд дулааны тэлэлтийн бага коэффициент бүхий боржингийн судлыг сонгож, хөгшрөлтийн эмчилгээнд оруулна. Температурын хяналтын хувьд цехийн температурыг 23±0.5℃ буюу түүнээс бага температурт нарийн хянадаг бөгөөд сууринд идэвхтэй дулаан ялгаруулах төхөөрөмжийг мөн зохион бүтээнэ. Бүтцийн дизайны хувьд тэгш хэмтэй бүтэц, уян хатан тулгууруудыг авч, температур мэдрэгчээр дамжуулан бодит цагийн хяналтыг хийдэг. Дулааны хэв гажилтаас үүссэн алдааг алгоритмаар динамикаар засдаг.
ASML литографийн машин зэрэг өндөр зэрэглэлийн тоног төхөөрөмж нь эдгээр аргуудаар дамжуулан боржин чулуун суурийн дулааны тэлэлтийн нөлөөг маш бага хүрээнд хадгалж, вафель сканнерын нарийвчлалыг нанометрийн түвшинд хүргэх боломжийг олгодог. Тиймээс, энэ нь зохих ёсоор хянагддаг бол боржин чулуун суурь нь ялтсыг сканнердах төхөөрөмжийн найдвартай сонголт хэвээр байна.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 6-р сарын 12-ны хооронд