Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь хүний ухаалаг чадварын хил хязгаарыг туулдаг нарийвчлалын хэмжээнд ажилладаг. Энэ салбарын чанарын хяналтын гол цөм нь чипийг зах зээлд гаргахад бэлэн гэж үзэхээс өмнөх эцсийн, чухал алхам бөгөөд энгийн мэт санагдах материал болох боржин чулуу юм. Тодруулбал, нарийн боржин чулуун тавцан нь хагас дамжуулагч чипийн шалгалтын гол шийдэл бөгөөд энэ нь салбараас гадуурх хүмүүсийг гайхшруулж магадгүй юм. ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) дээр бид энэ харилцааг маш сайн ойлгодог. Хэт өндөр нарийвчлалтай боржин чулуун эд анги, хэмжих хэрэгслийг үйлдвэрлэх чиглэлээрх бидний туршлага нь биднийг дэлхийн тэргүүлэгч хагас дамжуулагч, хэмжилзүйн компаниудын гол түнш болгосон. Энэхүү чухал хэрэглээнд боржин чулуунд найдах нь уламжлалын асуудал биш, харин цэвэр физик, инженерчлэлийн асуудал юм. Энэ нь өөр ямар ч материал ийм үр дүнтэй хангаж чадахгүй өвөрмөц, өндөр шаардлага тавьдаг шаардлагыг хангах тухай юм.
Тогтвортой байдлын тууштай шаардлага
Хагас дамжуулагч чипийн үзлэг нь зөвхөн согогийг шалгах тухай биш; энэ нь ихэвчлэн нанометрээр хэмжигддэг бичил харуурын шинж чанарууд төгс хэлбэртэй эсэхийг шалгах тухай юм. Энэ үйл явцад оптик үзлэгийн систем (AOI) болон үйлдвэрлэлийн компьютер томографийн сканнер зэрэг нарийн төвөгтэй тоног төхөөрөмж багтдаг бөгөөд эдгээр нь сканнердах явцад төгс тогтвортой байх ёстой. Аливаа чичиргээ, дулааны тэлэлт эсвэл бүтцийн хэлбэлзэл нь алдаа гаргаж, хуурамч эерэг үр дүн гарах эсвэл бүр дордоход алдагдсан согог үүсэхэд хүргэдэг.
Энэ бол боржин чулуу гялалздаг газар юм. Температурын өөрчлөлтөөс болж мэдэгдэхүйц тэлж, агшдаг металлаас ялгаатай нь боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттэй байдаг. Манай ZHHIMG® хар боржин чулуу нь ойролцоогоор 3100кг/м3 нягтралтай бөгөөд энэ нь онцгой дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Энэ нь боржин чулуун тавцан нь орчны температур бага зэрэг хэлбэлздэг орчинд ч хэлбэр, тэгш байдлаа хадгална гэсэн үг юм. Манай 10,000м2 байгууламж шиг цаг уурын хяналттай цехэд температурыг цэргийн нарийвчлалтайгаар хадгалдаг тул боржин чулууны тогтвортой байдал харьцуулшгүй юм.
Түүнчлэн, боржин чулууны дээд зэргийн чийгшүүлэгч шинж чанар нь зайлшгүй шаардлагатай. Энэ нь механик чичиргээг байгалийн жамаар шингээж, тарааж, нарийн шалгалтын төхөөрөмжид шилжихээс сэргийлдэг. Машин механизмаар дүүрэн завгүй үйлдвэрлэлийн үйлдвэрт энэхүү чичиргээг чийгшүүлэх нь хэмжилтийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Манай цехүүдийг үүнийг харгалзан бүтээсэн бөгөөд хэт зузаан бетон шал, чичиргээний эсрэг шуудууг ашиглан манай гар урчууд ажилдаа нанометрийн түвшний нарийвчлалд хүрэх боломжтой орчинг бүрдүүлдэг.
Үнэмлэхүй тэгш байдлын эрэл хайгуул
Чипийн шалгалтын систем ажиллахын тулд түүний суурь нь аль болох төгс тэгш байх ёстой. Энэ нөхцөлд "хавтгай гадаргуу" гэсэн ойлголт нь харааны биш, харин математикийн аргаар хийгддэг бөгөөд Renishaw лазер интерферометр болон Swiss Wyler электрон түвшин зэрэг багаж хэрэгслээр хэмжигддэг. Чипийн шалгагчийн зорилго бол чипийн тэгш байдлыг хэдэн микрон эсвэл бүр нанометр хүртэл хэмжих явдал юм. Үүний тулд платформ өөрөө маш хавтгай байх ёстой.
Боржин чулуу бол бидний тусгай гараар өнгөлөх техникүүдийн тусламжтайгаар бараг хосгүй тэгш түвшинд нунтаглах боломжтой материал юм. 30 гаруй жилийн туршлагатай манай мастер гар урчууд хэдхэн микроны хавтгайн хазайлтыг "мэдрэх" боломжийг олгодог хүрэлцэх мэдрэмжтэй байдаг. Энэхүү хүний хүрэлт нь дэлхийн түвшний тоног төхөөрөмжтэй хослуулан бидэнд нанометрийн түвшний тэгш байдалтай боржин чулуун гадаргуугийн хавтанг үйлдвэрлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь тэдгээрийг тохируулга, үзлэг хийхэд хамгийн тохиромжтой лавлах хавтгай болгодог. Энэ бол хагас дамжуулагчийн нарийвчлалтай үзлэгийг бий болгох үндэс суурь юм.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өвөрмөц эрэлт хэрэгцээг хангах нь
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь тогтвортой байдал болон тэгш байдлаас гадна тодорхой хэрэгцээтэй байдаг. Жишээлбэл, олон хяналтын систем нь үрэлтгүй хөдөлгөөнд зориулж агаарын холхивч ашигладаг. Боржин чулуу нь төрөлхийн хатуулаг, нарийн, жигд агаарын урсгалыг хангах сүвэрхэг чанараараа агаарын холхивчийн чиглүүлэгч замд маш сайн орчин болдог. Манай боржин чулуун агаарын холхивчийг өндөр хурдтай, өндөр нарийвчлалтай үзлэг хийхэд зайлшгүй шаардлагатай жигд, нарийн хөдөлгөөнийг хангахын тулд захиалгаар хийдэг.
Үүнээс гадна, манай ZHHIMG® хар боржин чулуу нь соронзон бус, цахилгаан дамжуулдаггүй тул мэдрэмтгий электрон эд ангиудад чухал ач холбогдолтой. Энэ нь туршилтын төхөөрөмжийн цахилгаан соронзон орон эсвэл чипийн өөрийнх нь үйл ажиллагаанд нөлөөлдөггүй. Энэхүү төвийг сахисан байдал нь олон металл платформуудын санал болгож чадахгүй онцлог шинж юм.
ZHHIMG® дээр бид зөвхөн боржин чулуу зараад зогсохгүй. Бид дэлхийн хамгийн дэвшилтэт технологийн чухал суурийг тавьж байна. Үйлчлүүлэгчдэдээ өгөх бидний үүрэг бол хууран мэхлэлт, нуун дарагдуулах, төөрөгдүүлэхгүй шийдлүүдийг санал болгох явдал юм. Бид бүтээгдэхүүнээ зөвхөн техникийн үзүүлэлтэд нь нийцүүлээд зогсохгүй, технологийн дэвшилд хувь нэмэр оруулахын тулд Samsung зэрэг аварга компаниуд болон хэмжилзүйн байгууллагууд зэрэг түншүүдтэйгээ нягт хамтран ажилладаг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өндөр эрсдэлтэй тоглоомд ZHHIMG®-ийн нарийвчлалтай боржин чулуун платформууд нь чимээгүй, хөдөлгөөнгүй хүч бөгөөд маргаашийн инновацийг амьдралд авчрах тогтвортой байдал, нарийвчлалыг хангадаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 9-р сарын 28