Дэлхий дээрх хамгийн чимээгүй өрөөнүүд болох хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн үйлдвэрүүдэд үл үзэгдэх дайсан болох чичиргээний эсрэг чимээгүй тулаан өрнөж байна. Дэлхийн микроэлектроникийн салбар 2нм ба түүнээс дээш логик хаалганы хязгаар руу чиглэхийн хэрээр механик тогтворгүй байдлын хүлцэл бараг алга болсон. Эдгээр даралттай, хэт хяналттай орчинд олон сая долларын үнэтэй литографи буюу хэмжилзүйн хэрэгслийн гүйцэтгэл нь түүний суурьтай үндсэндээ холбоотой байдаг. Тийм ч учраас эрэлт хэрэгцээ...Үйлдвэрт зориулсан чичиргээгүй боржин чулууДэд бүтэц нь тансаг зэрэглэлийн үзүүлэлтээс ургацыг оновчтой болгох үндсэн шаардлага болж хөгжсөн.
Уламжлалт чичиргээ тусгаарлах системүүд нь ихэвчлэн идэвхтэй агаарын холхивч эсвэл нарийн төвөгтэй электрон чийгшүүлэгч дээр төвлөрдөг. Гэсэн хэдий ч Европ болон Хойд Америкийн хамгийн боловсронгуй инженерчлэлийн оюун ухаан идэвхтэй системүүд нь зөвхөн суурийн идэвхгүй тогтвортой байдалтай адил үр дүнтэй гэдгийг хүлээн зөвшөөрдөг. Байгалийн боржин чулуу, ялангуяа хагас дамжуулагч зэрэглэлийн боржин чулуун гадаргуугийн хавтангийн стандартад боловсруулсан үед синтетик материалууд хуулбарлахад хэцүү байдаг дотоод молекулын нягтралыг санал болгодог. ZHHIMG-ийн сонгосон габбро болон боржин чулуун ордын талст бүтэц нь багажны үзүүрийн шилжилт хөдөлгөөнд шилжихээс өмнө өндөр давтамжийн бичил акустик энергийг шингээж, байгалийн нам дамжуулалтын шүүлтүүр болж ажилладаг.
Бид хэлэлцэхдээхагас дамжуулагч зэрэглэлийн боржин чулуун гадаргуугийн хавтан, бид стандарт үйлдвэрлэлийн хэмжилзүйн түвшинг давсан нарийвчлалын түвшинг хэлж байна. Ердийн цехэд 00-р зэргийн хавтан нь механик эд ангиудыг шалгахад хангалттай байж болно. Хагас дамжуулагчийн хувьд ZHHIMG инженерүүд эзэлхүүний нарийвчлал, гадаргуугийн гигроскопи, урт хугацааны үр тарианы тогтвортой байдлыг харгалзан үзэх ёстой. Чулуун дахь таван жилийн хугацаанд гарсан аливаа микроскопийн шилжилт нь EUV (Хэт ягаан туяаны) сканнерын фокусын сүйрэлд хүргэж болзошгүй юм. Тиймээс бидний боловсруулалт нь хатуу стресс тайлах үеийг хамардаг бөгөөд энэ нь эцсийн нарийвчлалтай давхцах ажил эхлэхээс өмнө чулууг геологийн тэнцвэрт байдалд хүргэх боломжийг олгодог.
Ач холбогдолҮйлдвэрт зориулсан чичиргээгүй боржин чулууОрчин үеийн вафли боловсруулах үйлдвэрлэлийн улам бүр нэмэгдэж буй хүчин чадлын шаардлага нь хэрэглээг улам бүр нэмэгдүүлж байна. Вафли шатыг гайхалтай хурдатгалаар хөдөлгөдөг өндөр хурдны шугаман моторууд нь ихээхэн хэмжээний реактив хүчийг үүсгэдэг. Асар том, идэвхгүй, чичиргээг бууруулдаг суурьгүйгээр эдгээр хүч нь хэмжилтийн хооронд "бууралтын хугацаа" шаарддаг үлдэгдэл хэлбэлзлийг үүсгэдэг. ZHHIMG өндөр масстай боржин чулуун шийдлийг хэрэгжүүлснээр үйлдвэрийн операторууд энэхүү суултын хугацааг мэдэгдэхүйц бууруулж, цагт илүү олон вафли үйлдвэрлэх, эзэмшлийн нийт зардлыг бууруулах боломжтой.
Үйлдвэрийн доторх хүрээлэн буй орчны хүчин зүйлс нь материалын сонголтод чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цэвэр өрөө нь маш мэдрэмтгий экосистем бөгөөд дулааны хэлбэлзэл нь маш бага байсан ч материалын тэлэлт эсвэл агшилтыг үүсгэж болзошгүй. ZHHIMG'sхагас дамжуулагч зэрэглэлийн боржин чулуун гадаргуугийн хавтанБүтээгдэхүүнүүдийг дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент (CTE)-ээр нь сонгосон. Бидний нэгдсэн хөргөлтийн сувгийн технологитой хослуулан эдгээр боржин чулуун суурь нь дээр байрлах электрон эд ангиудын үүсгэсэн дулаанаас үл хамааран тэгш байдлаа хадгалдаг дулааны хувьд өөрчлөгдөөгүй платформыг бий болгодог.
Салбарын өргөн хүрээг харвал 300мм болон 450мм-ийн хэмжээтэй вафли руу шилжих нь бүр ч том, илүү тогтвортой бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг шаарддаг. Энэхүү хэмжээс нь өвөрмөц инженерийн сорилт болдог: чулууг "чичиргээгүй" байлгахын зэрэгцээ гадаргуугийн илүү том талбайд туйлын тэгш байдлыг хадгалах. ZHHIMG нь хэдэн метрийн чулуун дээр микрон түвшний хүлцэлд хүрэх боломжтой захиалгат, том хэмжээтэй CNC нунтаглах, давхцуулах машинд хөрөнгө оруулалт хийснээр үүнийг шийдвэрлэжээ. Энэ нь үйлдвэрийн тоног төхөөрөмжийн хэмжээ нэмэгдэхийн хэрээр суурь тогтвортой байдал буурахгүй байхыг баталгаажуулдаг.
Тоног төхөөрөмжөөс гадна ZHHIMG-ийн философи нь техникийн ил тод байдал, хамтын ажиллагааны инженерчлэл дээр суурилдаг. АНУ эсвэл Европын Холбооны OEM (Анхны тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч)-ийн хувьд нийлүүлэлтийн сүлжээний найдвартай байдал нь чулууны тэгш байдалтай адил чухал гэдгийг бид ойлгож байна. Манай чанарын хяналтын баримт бичиг нь хэсэг бүрт бүрэн "төрсний гэрчилгээ" өгдөг.Үйлдвэрт зориулсан чичиргээгүй боржин чулуучулууны гарал үүсэл, эрдэс бодисын найрлага, хэт авианы шинжилгээний үр дүнг нарийвчлан харуулсан хүргэлт. Энэхүү түвшний нарийвчлал нь ZHHIMG суурийг суурилуулахад үйлдвэрийн өв уламжлалын байнгын, найдвартай бүрэлдэхүүн хэсэг болохыг баталгаажуулдаг.
Хиймэл оюун ухаан болон өндөр хүчин чадалтай тооцоолол нь хагас дамжуулагчийн хөрөнгө оруулалтын шинэ давалгааг бий болгож байгаа тул "төгс хөдөлгөөнгүй" орчныг эрэлхийлэх ажил үргэлжилсээр байна. ZHHIMG нь маргаашийн нано бүтцийн сорилтуудыг даван туулахын тулд чулуун хэмжилзүйн урлагийг сайжруулж, энэхүү эрэл хайгуулдаа үнэнч хэвээр байна. Бид технологийн ирээдүй бат бөх суурь дээр баригдсан гэдэгт итгэдэг бөгөөд дижитал эрин үеийн архитекторуудад хамгийн тогтвортой, хагас дамжуулагч зэрэглэлийн боржин чулуун гадаргуугийн хавтангийн шийдлүүдийг санал болгож байгаадаа бахархаж байна.
ZHHIMG нарийвчлалтай чулууг байгууламжид нэгтгэх нь бүтцийн сонголтоос илүү зүйл бөгөөд энэ нь физик хэмжилзүйн хамгийн өндөр стандартыг баримтлах үүрэг юм. Салбар дараагийн арван жилийн инновацийг харж байгаа тул нарийвчлалтай боржин чулууны чимээгүй, гуйвшгүй оршихуй нь амжилттай вафлийн гарц бүрийн чимээгүй баатар хэвээр байх болно.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 3-р сарын 5