Чип үйлдвэрлэх, нарийвчлалыг хэмжих зэрэг салбарт материалын шинж чанар нь төхөөрөмжийн нарийвчлалыг шууд тодорхойлдог. Боржин чулуу нь таван үндсэн шинж чанараараа метал, инженерийн хуванцар, керамик зэрэг материалаас ялгарч, өндөр зэрэглэлийн тоног төхөөрөмжийн "алтан түнш" болжээ.
1. Дулааны тогтвортой байдал: Температурын хэлбэлзэлд "дархлаа"
Температурын 1℃ өөрчлөлт тутамд зэвэрдэггүй ган 17μm/m, хөнгөн цагааны хайлш 23μm/m, боржин чулуу нь зөвхөн 4-8μm/m-ээр тэлж байдаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүдэд фотолитографийн машинуудын үйл ажиллагааны үр дүнд бий болсон өндөр температур эсвэл агааржуулагчийг эхлүүлэх, зогсоох температурын зөрүү нь боржингийн хэмжээсүүдэд бараг үл тоомсорлодог. Үүний эсрэгээр, дулааны тэлэлт, агшилтын улмаас металл, хуванцар деформаци нь нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн буруу байрлалыг амархан үүсгэдэг.
2. Чичирхийллийн эсэргүүцэл: Чичиргээний энергийн "Зайлуулагч"
Боржин чулуу нь өндөр нягтралтай (2.6-3.1 г/см³), хатуулаг нь Mohs масштабаар 6-7, чийгшүүлэх харьцаа нь зэвэрдэггүй гангаас 5-10 дахин их байдаг. Нарийвчлалтай хэмжих төхөөрөмжид чичиргээний энергийн 90%-ийг 0.5 секундын дотор бууруулж чаддаг бол металл материалд 3-5 секунд зарцуулдаг. Тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, цех дэх ажилчдын хөдөлгөөнөөс үүсэх чичиргээ нь боржин чулуугаар бэхлэгдсэн тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдлыг сэгсрэх нь хэцүү байдаг.
3. Химийн тогтвортой байдал: Хүчиллэг ба шүлтлэг орчинд "зөрүүд"
Боржин чулууг хүчтэй хүчил (рН=2) эсвэл хүчтэй шүлтийн (рН=12) уусмалд 1000 цагийн турш дэвтээхэд гадаргуугийн зэврэлтийн хэмжээ 0.01мкм-ээс бага байна. Зэвэрдэггүй ган нь хүчил, шүлтээр зэврэлтэнд өртөмтгий байдаг, хөнгөн цагаан хайлш нь шүлтлэг бодисоос айдаг, инженерийн хуванцар нь органик уусгагчид өртөх үед хавдах болно. Боржингийн нягт бүтэц (сүвэрхэг чанар < 0.1%) нь бөөмийн бохирдлоос сэргийлж, хагас дамжуулагч цэвэрлэх өрөөнд "сонгосон материал" болгодог.
4. Боловсруулалт ба зардал: Нарийвчлал ба зардлын гүйцэтгэлийн хоорондох "тэнцвэрийн мастер"
Боржин чулууг ≤0.5μm/m тэгш, гадаргуугийн тэгш бус байдал Ra ≤0.05μm хүртэл нунтаглаж болох боловч боловсруулалт нь харьцангуй удаан хугацаа шаарддаг. Зэвэрдэггүй ган нь боловсруулахад хялбар боловч хэв гажилтанд өртөмтгий байдаг бол керамик нь өндөр нарийвчлалтай боловч үнэтэй байдаг. Нано хэмжээст нарийвчлалыг эрэлхийлдэг хувилбаруудад боржингийн иж бүрэн өртөг нь бусад материалынхаас хамаагүй өндөр байдаг.
5. Цахилгаан соронзон цэвэр байдал: Цахим төхөөрөмжүүдийн "цэвэрлэгч"
Төмөр бус материалын хувьд боржин нь соронзон бус, цахилгаан дамжуулах чадваргүй бөгөөд мэдрэгч болон электрон эд ангиудад саад болохгүй. Металлын цахилгаан дамжуулах чанар, соронзон чанар, инженерийн хуванцаруудын статик цахилгаан, керамикийн диэлектрик алдагдал зэрэг нь фотолитографийн машин, цөмийн соронзон резонансын машин зэрэг нарийн тоног төхөөрөмжийн өмнө "сул цэг" болдог. Гэсэн хэдий ч боржин чулуу нь цахилгаан соронзон мэдрэмтгий орчинд төгс тохирно.
Өндөр температурт тэсвэртэй, чичиргээний эсэргүүцэл, зэврэлтээс хамгаалахаас эхлээд цахилгаан соронзон хөндлөнгийн оролцоог тэглэх хүртэл боржин чулуу нь нарийн үйлдвэрлэлийн салбарт юугаар ч орлуулашгүй "хаан" гэдгийг хатуу үндсэн шинж чанараараа нотолсон.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 5-р сарын 20-ны хооронд