Технологийн хөгжлөөр хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид боржин чулуун эд ангиудыг ашиглах нь улам бүр түгээмэл болж байна. Боржин чулуу нь олон давуу талтай тул хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийг боловсруулах технологид түгээмэл хэрэглэгддэг сонголт юм. Боржин чулуу нь хамгийн хатуу бөгөөд хамгийн бат бөх материалын нэг тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт ашиглахад тохиромжтой. Энэ нь маш сайн дулаан дамжуулагч бөгөөд дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттэй тул өндөр температурт ашиглахад төгс төгөлдөр юм.
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн боржин чулуун эд ангиудыг боловсруулах технологи нь олон төрлийн техник, процессыг хамардаг. Үндсэн алхмууд нь боржин чулуун гадаргууг өнгөлөх, сийлэх, цэвэрлэх явдал юм. Ашиглаж буй боловсруулах технологийн төрөл нь хэрэглээ болон ашиглаж буй боржин чулуун төрлөөс хамаарна.
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн боржин чулуун эд ангиудыг боловсруулахад өнгөлгөө хийх нь чухал тал юм. Боржин чулуун гадаргууг өндөр гөлгөр хүртэл өнгөлөх нь боловсруулалтын явцад вафлийг гэмтээхгүй байхад тусалдаг. Энэ нь вафлийн гадаргуу дээрх тоосонцор эсвэл зураасаар бохирдох магадлалыг бууруулдаг. Өнгөлгөөг механик өнгөлгөө, химийн өнгөлгөө, электрохимийн өнгөлгөө гэх мэт янз бүрийн аргаар хийж болно.
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн боржин чулуун эд ангиудыг боловсруулах бас нэг үндсэн тал нь сийлбэр юм. Сийлбэрийг боржин чулуун эд ангийн гадаргуу дээр хүссэн хэв маягийг бий болгоход ашигладаг. Хээг хагас дамжуулагч вафли үйлдвэрлэх, боловсруулахад ашигладаг. Сийлбэр хийх хэд хэдэн арга байдаг бөгөөд үүнд плазмын сийлбэр, нойтон химийн сийлбэр, хуурай химийн сийлбэр гэх мэт орно. Ашигласан сийлбэрийн процессын төрөл нь материал болон хүссэн хэв маягаас хамаарна.
Боржин чулуун гадаргууг цэвэрлэх нь бас чухал юм. Цэвэрлэх үйл явц нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст саад учруулж болзошгүй тоосонцор болон бусад хольц зэрэг гадаргуугаас бохирдлыг зайлуулахад зайлшгүй шаардлагатай. Цэвэрлэгээг хэт авианы цэвэрлэгээ, химийн цэвэрлэгээ эсвэл плазмын цэвэрлэгээ гэх мэт янз бүрийн аргаар хийж болно.
Эцэст нь хэлэхэд, хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн боржин чулуун эд ангиудыг боловсруулах технологи нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуун эд ангиудыг ашиглах нь эцсийн бүтээгдэхүүний чанар, найдвартай байдлыг сайжруулахад тусалдаг. Боловсруулалтын технологи нь боржин чулуун гадаргууг өнгөлөх, сийлэх, цэвэрлэх зэрэг үйл ажиллагааг багтаадаг. Алхам бүрт янз бүрийн аргууд байдаг бөгөөд ашигласан боловсруулах технологийн төрөл нь материал болон хүссэн хэв маягаас хамаарна. Зөв боловсруулалтын технологийг ашигласнаар хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессыг илүү үр ашигтай, найдвартай, зардал багатай болгож чадна.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 3-р сарын 19