Боржин чулуу нь онцгой механик шинж чанар, бат бөх чанараараа ялтас боловсруулах үйлдвэрт түгээмэл хэрэглэгддэг материал юм. Энэ нь дэлхий даяарх карьеруудаас олборлодог байгалийн чулуу бөгөөд олон зууны турш хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэх зэрэг янз бүрийн барилгын зориулалтаар ашиглагдаж ирсэн. Энэ нийтлэлд бид боржин чулуун шинж чанар болон ялтас боловсруулах тоног төхөөрөмжид түүний янз бүрийн хэрэглээний талаар авч үзэх болно.
Боржин чулуун шинж чанар
Боржин чулуу нь гялтгануур, хээрийн жонш, кварцаас бүрдсэн магмын чулуулаг юм. Энэ нь онцгой бат бөх, хатуулаг, бат бөх чанараараа алдартай тул өндөр нарийвчлал, нарийвчлал шаарддаг хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог. Боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй тул температурын өөрчлөлтөөс болж тэлэхгүй эсвэл агшихгүй тул маш тогтвортой болгодог. Нэмж дурдахад, боржин чулуу нь зэврэлт болон химийн бодисуудад тэсвэртэй тул хатуу ширүүн орчинд ашиглахад тохиромжтой материал болгодог.
Вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжид боржин чулуун хэрэглээ
Боржин чулуу нь өвөрмөц шинж чанаруудын хослолын ачаар вафли боловсруулах үйлдвэрт өргөн хэрэглэгддэг материал юм. Вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжид боржин чулууг дараах байдлаар хэрэглэнэ.
1. Хэмжилзүйн хэрэгслүүд
Боржин чулууг координатын хэмжих машин (CMM) болон оптик хэмжилтийн систем зэрэг хэмжилзүйн багаж хэрэгсэл үйлдвэрлэхэд түгээмэл ашигладаг. Эдгээр багаж хэрэгсэлд чичиргээ болон халуунд тэсвэртэй тогтвортой гадаргуу шаардлагатай. Боржин чулууны өндөр хатуулаг, бага дулааны тэлэлт нь үүнийг ийм хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог.
2. Вафер Чак
Үйлдвэрлэлийн явцад вафли барихад вафлины патроныг ашигладаг. Эдгээр патрон нь вафли муруйх эсвэл нугарахаас сэргийлж хавтгай, тогтвортой гадаргуу шаарддаг. Боржин чулуу нь маш тогтвортой, муруйлтад тэсвэртэй хавтгай гадаргууг бий болгодог тул вафлины патрон хийхэд маш сайн материал болдог.
3. Химийн механик өнгөлгөөний (CMP) хэрэгслүүд
CMP багажийг үйлдвэрлэлийн процессын явцад вафлиг өнгөлөхөд ашигладаг. Эдгээр багаж хэрэгсэл нь чичиргээ болон халуунд тэсвэртэй тогтвортой тавцан шаарддаг. Боржин чулуун маш сайн хатуулаг болон бага дулааны тэлэлт нь үүнийг CMP багаж хэрэгсэлд тохиромжтой материал болгодог.
4. Ваферын үзлэгийн тоног төхөөрөмж
Вафлийн үзлэгийн төхөөрөмжийг вафлийн согог, гажиг байгаа эсэхийг шалгахад ашигладаг. Эдгээр багаж хэрэгсэл нь нарийвчлалтай хэмжилт хийхийн тулд тогтвортой, тэгш гадаргуу шаарддаг. Боржин чулуу нь гажуудалд тэсвэртэй тогтвортой, тэгш гадаргууг бий болгодог тул вафлийн үзлэгийн тоног төхөөрөмжийн хамгийн тохиромжтой материал болдог.
Дүгнэлт
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуу нь онцгой механик шинж чанар, бат бөх чанараараа ялтас боловсруулах үйлдвэрт өргөн хэрэглэгддэг материал юм. Үүнийг хэмжилзүйн багаж хэрэгсэл, ялтас патрон, CMP багаж хэрэгсэл, ялтас шалгах тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд түгээмэл ашигладаг. Өвөрмөц шинж чанарын хослол нь өндөр нарийвчлал, нарийвчлал шаарддаг хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог. Олон давуу талтай тул боржин чулуу нь ялтас боловсруулах тоног төхөөрөмжийн түгээмэл сонголт хэвээр байгаа бөгөөд түүний хэрэглээ ирээдүйд өсөх хандлагатай байна.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 27