Боржин чулуу нь ер бусын механик шинж чанар, бат бөх чанараараа өрмөнцөр боловсруулах үйлдвэрт түгээмэл хэрэглэгддэг материал юм.Энэ бол дэлхийн өнцөг булан бүрээс олборлосон байгалийн чулуу бөгөөд олон зууны турш барилгын ажилд, тэр дундаа хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашиглагдаж ирсэн.Энэ өгүүлэлд бид боржингийн шинж чанар болон түүний өрмөнцөр боловсруулах төхөөрөмжид янз бүрийн хэрэглээг авч үзэх болно.
Боржингийн шинж чанар
Боржин чулуу нь гялтгануур, хээрийн жонш, кварцаас тогтсон магмын чулуулаг юм.Энэ нь онцгой хүч чадал, хатуулаг, бат бөх чанараараа алдартай тул өндөр нарийвчлал, нарийвчлал шаарддаг хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог.Боржин нь дулааны тэлэлтийн коэффициент багатай бөгөөд энэ нь температурын өөрчлөлтөөс болж тэлэхгүй, агшихгүй тул маш тогтвортой болгодог.Нэмж дурдахад боржин чулуу нь зэврэлт, химийн бодисуудад тэсвэртэй тул хатуу ширүүн орчинд ашиглахад тохиромжтой материал болдог.
Вафер боловсруулах төхөөрөмжид боржин чулууны хэрэглээ
Боржин чулуу нь өвөрмөц хосолсон шинж чанараараа өрмөнцөр боловсруулах үйлдвэрт өргөн хэрэглэгддэг материал юм.Өргөст цаас боловсруулах тоног төхөөрөмжид боржин чулууг ашиглахад дараахь зүйлс орно.
1. Хэмжил зүйн хэрэглүүр
Боржин чулууг хэмжилзүйн багаж хэрэгсэл, тухайлбал координат хэмжих машин (CMM) болон оптик хэмжилтийн систем үйлдвэрлэхэд ихэвчлэн ашигладаг.Эдгээр хэрэгслүүд нь чичиргээ, дулааныг тэсвэрлэх чадвартай тогтвортой гадаргууг шаарддаг.Боржингийн өндөр хөшүүн чанар, бага дулааны тэлэлт нь ийм төрлийн хэрэглээнд тохиромжтой материал болдог.
2. Өрөөн цаас
Өргөст ялтасыг үйлдвэрлэх явцад вафель барихад ашигладаг.Өргөст ялтсан хавтан нь эвдэрч, гулзайлгахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд тэдгээр нь тэгш, тогтвортой гадаргуутай байхыг шаарддаг.Боржин чулуу нь өндөр тогтвортой, эвдрэлд тэсвэртэй хавтгай гадаргууг хангадаг бөгөөд энэ нь өргүүрийн чак хийхэд маш сайн материал болдог.
3. Химийн механик өнгөлгөөний (CMP) хэрэгсэл
CMP хэрэгслийг үйлдвэрлэлийн явцад вафель өнгөлөхөд ашигладаг.Эдгээр хэрэгслүүд нь чичиргээ, дулааныг тэсвэрлэх чадвартай тогтвортой платформыг шаарддаг.Боржингийн маш сайн хөшүүн чанар, бага дулааны тэлэлт нь CMP хэрэгсэлд тохиромжтой материал болгодог.
4. Вафель шалгах төхөөрөмж
Өрөөвчийг шалгах төхөөрөмжийг согог, согогийг шалгахад ашигладаг.Эдгээр багажууд нь зөв хэмжилтийг хангахын тулд тогтвортой, тэгш гадаргуутай байхыг шаарддаг.Боржин чулуу нь тогтвор суурьшилтай, тэгш гадаргуутай тул эвдрэлд тэсвэртэй тул өргүүрийг шалгах төхөөрөмжид хамгийн тохиромжтой материал болдог.
Дүгнэлт
Дүгнэж хэлэхэд боржин чулуу нь онцгой механик шинж чанар, бат бөх чанараараа вафель боловсруулах үйлдвэрт өргөн хэрэглэгддэг материал юм.Энэ нь ихэвчлэн хэмжилзүйн багаж хэрэгсэл, вафель чак, CMP багаж, өрөм шалгах төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг.Өвөрмөц шинж чанаруудын хослол нь өндөр нарийвчлал, нарийвчлал шаарддаг хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог.Боржин чулуу нь олон давуу талтай тул өрмөнцөр боловсруулах тоног төхөөрөмжийн түгээмэл сонголт хэвээр байгаа бөгөөд цаашид түүний хэрэглээ өсөх хандлагатай байна.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 12-р сарын 27