Боржин чулуун эд ангиуд нь өндөр тогтвортой байдал, бат бөх чанараараа хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг. Эдгээр нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын нарийвчлал, нарийвчлалыг хадгалах үүрэгтэй. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун эд ангиудын үр ашиг, найдвартай байдал нь тэдгээрийг зохион бүтээх, үйлдвэрлэх, суурилуулах явцад мөрдөгдөж буй стандарт, техникийн үзүүлэлтээс хамаарна.
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид боржин чулуун эд ангиудыг ашиглахдаа дагаж мөрдөх ёстой зарим стандарт, техникийн үзүүлэлтүүдийг дор дурдав.
1. Материалын нягтрал: Боржин чулуун эд анги үйлдвэрлэхэд ашигладаг боржин чулуун материалын нягтрал нь ойролцоогоор 2.65г/см3 байх ёстой. Энэ нь байгалийн боржин чулуун материалын нягтрал бөгөөд боржин чулуун эд ангиудын шинж чанарын тогтвортой байдал, найдвартай байдлыг хангадаг.
2. Хавтгай байдал: Хавтгай байдал нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг боржин чулуун эд ангиудын хамгийн чухал үзүүлэлтүүдийн нэг юм. Боржин чулуун гадаргуугийн тэгш байдал нь 0.001 мм/м2-ээс бага байх ёстой. Энэ нь эд ангийн гадаргуу тэгш, тэгш байх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст зайлшгүй шаардлагатай.
3. Гадаргуугийн өнгөлгөө: Боржин чулуун эд ангийн гадаргуугийн өнгөлгөө нь өндөр чанартай, гадаргуугийн барзгаржилт нь 0.4µm-ээс бага байх ёстой. Энэ нь боржин чулуун эд ангийн гадаргуу нь үрэлтийн бага коэффициенттэй байхыг баталгаажуулдаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн жигд ажиллагаанд чухал үүрэгтэй.
4. Дулааны тэлэлтийн коэффициент: Хагас дамжуулагч төхөөрөмж өөр өөр температурт ажилладаг бөгөөд боржин чулуун эд ангиуд нь деформацигүйгээр дулааны хэлбэлзлийг тэсвэрлэх чадвартай байх ёстой. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ашигладаг боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 2 x 10^-6 /°C-аас доош байх ёстой.
5. Хэмжээст хүлцэл: Хэмжээст хүлцэл нь боржин чулуун эд ангийн гүйцэтгэлд чухал үүрэгтэй. Боржин чулуун эд ангийн хэмжээст хүлцэл нь бүх чухал хэмжээсийн хувьд ±0.1 мм дотор байх ёстой.
6. Хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал: Хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ашигладаг боржин чулуун эд ангиудын зайлшгүй үзүүлэлт юм. Боржин чулуу нь Мохсын 6-7 шатлалын хатуулагтай тул хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хэрэглээнд тохиромжтой материал юм.
7. Дулаалгын гүйцэтгэл: Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ашигладаг боржин чулуун эд ангиуд нь мэдрэмтгий электрон эд ангиудыг гэмтээхээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд маш сайн дулаалгын гүйцэтгэлтэй байх ёстой. Цахилгаан эсэргүүцэл нь 10^9 Ω/см-ээс дээш байх ёстой.
8. Химийн эсэргүүцэл: Боржин чулуун эд ангиуд нь хүчил ба шүлт зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст ашиглагддаг нийтлэг химийн бодисуудад тэсвэртэй байх ёстой.
Эцэст нь хэлэхэд, хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид ашигладаг боржин чулуун эд ангиудын стандарт, техникийн үзүүлэлтүүд нь эд анги болон тэдгээрийг ашиглаж буй тоног төхөөрөмжийн удаан эдэлгээ, найдвартай байдлыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Дээрх удирдамжийг зураг төсөл, үйлдвэрлэл, угсралтын явцад эд ангиуд хамгийн өндөр чанартай байхын тулд чанд дагаж мөрдөх ёстой. Эдгээр стандарт, техникийн үзүүлэлтүүдийг дагаж мөрдсөнөөр хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид тоног төхөөрөмжийнхөө гүйцэтгэлийг оновчтой байлгаж, бүтээмж, ашигт ажиллагааг нэмэгдүүлэх боломжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 3-р сарын 20