Боржин чулуун эд ангиуд нь өндөр тогтвортой байдал, бат бөх чанараараа хагас дамжуулагч төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг.Тэд хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процессын нарийвчлал, нарийвчлалыг хадгалах үүрэгтэй.Гэсэн хэдий ч боржин чулуун эд ангиудын үр ашиг, найдвартай байдал нь тэдгээрийн дизайн, үйлдвэрлэх, суурилуулах явцад дагаж мөрддөг стандарт, техникийн үзүүлэлтүүдээс хамаарна.
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид боржин чулуун эд ангиудыг ашиглахдаа дагаж мөрдөх ёстой зарим стандарт, техникийн үзүүлэлтүүдийг доор харуулав.
1. Материалын нягт: Боржингийн эд анги үйлдвэрлэхэд ашигласан боржингийн материалын нягт нь ойролцоогоор 2.65г/см3 байх ёстой.Энэ нь байгалийн боржингийн материалын нягт бөгөөд энэ нь боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн шинж чанарын тогтвортой байдал, найдвартай байдлыг баталгаажуулдаг.
2. Хавтгай байдал: Хавтгай байдал нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид хэрэглэгддэг боржин чулуун эд ангиудын хамгийн чухал үзүүлэлтүүдийн нэг юм.Боржингийн гадаргуугийн тэгш байдал нь 0.001 мм / м2-аас бага байх ёстой.Энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст зайлшгүй шаардлагатай эд ангиудын гадаргууг тэгш, тэгш байлгах боломжийг олгодог.
3. Гадаргуугийн өнгөлгөө: Боржин чулуун эд ангиудын гадаргуугийн өнгөлгөө нь 0.4μм-ээс бага гадаргуугийн барзгаржилттай өндөр чанартай байх ёстой.Энэ нь боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргуу нь үрэлтийн бага коэффициенттэй байх ба энэ нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн жигд ажиллагааг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
4. Дулааны тэлэлтийн коэффициент: Хагас дамжуулагч төхөөрөмж нь янз бүрийн температурт ажилладаг бөгөөд боржин чулуун эд анги нь деформацигүйгээр дулааны хэлбэлзлийг тэсвэрлэх чадвартай байх ёстой.Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ашигладаг боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 2 x 10^-6 / ° C-аас бага байх ёстой.
5. Хэмжээст хүлцэл: Хэмжээст хүлцэл нь боржин чулуун эд ангиудын гүйцэтгэлд чухал үүрэгтэй.Боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хэмжээсийн хүлцэл нь бүх чухал хэмжигдэхүүнүүдийн хувьд ±0.1мм дотор байх ёстой.
6. Хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал: Хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид хэрэглэгддэг боржин чулуун эд ангиудын зайлшгүй үзүүлэлт юм.Боржин чулуу нь Mohs масштабын 6-7 хатуулагтай тул хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хэрэглээнд ашиглахад тохиромжтой материал болдог.
7. Тусгаарлалтын гүйцэтгэл: Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ашигладаг боржин чулуун эд ангиуд нь эмзэг электрон эд ангиудыг гэмтээхээс сэргийлж маш сайн тусгаарлагчтай байх ёстой.Цахилгаан эсэргүүцэл 10^9 Ом/см-ээс дээш байх ёстой.
8. Химийн эсэргүүцэл: Боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь хүчил, шүлт зэрэг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст хэрэглэгддэг нийтлэг химийн бодисуудад тэсвэртэй байх ёстой.
Дүгнэж хэлэхэд, хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ашигладаг боржин чулуун эд ангиудын стандарт, техникийн үзүүлэлтүүд нь эд анги, тэдгээрийн ашиглаж буй тоног төхөөрөмжийн урт наслалт, найдвартай байдлыг хангахад маш чухал юм. Зураг төсөл боловсруулах, үйлдвэрлэх, суурилуулах явцад дээрх зааврыг чанд дагаж мөрдөх ёстой. бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хамгийн өндөр чанартай байлгахын тулд үйл явц.Эдгээр стандарт, техникийн үзүүлэлтүүдийг дагаснаар хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид тоног төхөөрөмжийнхөө гүйцэтгэлийг оновчтой хэвээр байлгаж, бүтээмж, ашигт ажиллагааг нэмэгдүүлэх боломжтой.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 3-р сарын 20-ны хооронд