00 зэрэглэлийн боржин чулуун туршилтын тавцан нь өндөр нарийвчлалтай хэмжих хэрэгсэл бөгөөд түүний зэрэглэлийн стандартууд нь голчлон дараах талыг хамардаг.
Геометрийн нарийвчлал:
Хавтгай байдал: Платформын гадаргуу дээрх тэгш байдлын алдаа маш бага байх ёстой бөгөөд ихэвчлэн микроны түвшинд хянагддаг. Жишээлбэл, стандарт нөхцөлд тэгш байдлын хазайлт нь 0.5 микроноос хэтрэхгүй байх ёстой бөгөөд энэ нь платформын гадаргуу бараг бүрэн хавтгай гэсэн үг бөгөөд хэмжилтийн тогтвортой лавлагаа болдог.
Зэрэгцээ байдал: Хэмжилтийн нарийвчлалыг хангахын тулд өөр өөр ажлын гадаргуугийн хооронд маш өндөр параллелизм шаардлагатай. Жишээлбэл, өнцөг эсвэл харьцангуй байрлалыг хэмжих үед өгөгдлийн найдвартай байдлыг хангахын тулд зэргэлдээ хоёр ажлын гадаргуугийн хоорондох параллелизмын алдаа 0.3 микроноос бага байх ёстой.
Перпендикуляр байдал: Ажлын гадаргуу болон лавлах гадаргуугийн хоорондох перпендикуляр байдлыг хатуу хянаж байх ёстой. Ерөнхийдөө перпендикуляр чанарын хазайлт нь 0.2 микрон дотор байх ёстой бөгөөд энэ нь гурван хэмжээст координатын хэмжилт гэх мэт босоо хэмжилт шаардлагатай хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой юм.
Материалын шинж чанар:
Боржин чулуу: Үндсэн материал болгон жигд бүтэцтэй, нягт бүтэцтэй боржин чулууг ихэвчлэн ашигладаг. Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй байдал, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь платформын хэмжээст тогтвортой байдал, урт хугацааны ашиглалтын явцад деформацид тэсвэртэй байдлыг хангадаг. Жишээлбэл, сонгосон боржин чулуу нь платформын элэгдэл, зурааснаас хамгаалах маш сайн чанарыг хангахын тулд 70 ба түүнээс дээш Роквеллийн хатуулагтай байх ёстой.
Тогтвортой байдал: 00 зэрэглэлийн боржин чулуун туршилтын тавцангууд нь дотоод стрессийг арилгахын тулд үйлдвэрлэлийн явцад хатуу хөгшрөлтийн боловсруулалтанд ордог бөгөөд энэ нь янз бүрийн орчны нөхцөлд тогтвортой ажиллагааг хангадаг. Боловсруулалтын дараа тавцангийн хэмжээсийн өөрчлөлтийн хурд жилд 0.001 мм/м-ээс хэтрэхгүй бөгөөд өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийн шаардлагыг хангадаг.
Гадаргуугийн чанар:
Барзгар байдал: Тавцангийн гадаргуугийн барзгар байдал маш бага, ихэвчлэн Ra0.05-аас доош байдаг тул толин тусгал мэт гөлгөр байдлыг бий болгодог. Энэ нь хэмжих хэрэгсэл болон хэмжиж буй объектын хоорондох үрэлт болон алдааг бууруулж, улмаар хэмжилтийн нарийвчлалыг сайжруулдаг.
Гялбаа: Платформын өндөр гялбаа нь ихэвчлэн 80-аас дээш байдаг нь түүний гоо зүйн байдлыг сайжруулаад зогсохгүй хэмжилтийн үр дүн болон тохируулгыг операторын ажиглалтад дөхөм болгодог.
Хэмжилтийн нарийвчлалын тогтвортой байдал:
Температурын тогтвортой байдал: Хэмжилт нь ихэвчлэн өөр өөр температурын орчинд ажиллахыг шаарддаг тул 00 зэрэглэлийн боржин чулуун туршилтын тавцан нь маш сайн температурын тогтвортой байдлыг харуулах ёстой. Ерөнхийдөө тавцангийн хэмжилтийн нарийвчлал нь -10°C-аас +30°C хүртэлх температурын хязгаарт 0.1 микроноос хэтрэхгүй байх ёстой бөгөөд энэ нь бүх температурын нөхцөлд хэмжилтийн үр дүнгийн нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
Урт хугацааны тогтвортой байдал: Платформын хэмжилтийн нарийвчлал нь удаан хугацаанд ашиглагдах үед тогтвортой хэвээр байх ёстой бөгөөд ашиглалтын хугацааны дараа нарийвчлал нь тогтоосон хязгаараас хэтрэхгүй байх ёстой. Жишээлбэл, хэвийн ажиллагааны нөхцөлд платформын хэмжилтийн нарийвчлал нэг жилийн хугацаанд 0.2 микроноос илүү хэлбэлзэх ёсгүй.
Товчхондоо, 00 зэрэглэлийн боржин чулуун туршилтын тавцангийн зэрэглэлийн стандартууд нь маш хатуу бөгөөд геометрийн нарийвчлал, материалын шинж чанар, гадаргуугийн чанар, хэмжилтийн нарийвчлалын тогтвортой байдал зэрэг олон талыг хамардаг. Зөвхөн эдгээр өндөр стандартыг хангаснаар л тавцан нь өндөр нарийвчлалтай хэмжилтэд чухал үүрэг гүйцэтгэж, шинжлэх ухааны судалгаа, инженерийн туршилт, чанарын хяналтын нарийвчлалтай, найдвартай хэмжилтийн жишиг болж чадна.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 9-р сарын 5