Боржин чулууг хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэх, зохион бүтээхэд олон жилийн турш өргөн ашиглаж ирсэн. Энэ нь түүний маш сайн шинж чанартай холбоотой бөгөөд энэ нь олон төрлийн хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог. Боржин чулуу нь элэгдэл, зэврэлт, дулааны цочролд маш тэсвэртэй тул хатуу ширүүн орчинд ашиглахад тохиромжтой. Энэ нийтлэлд бид хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид боржин чулууг ашиглах нийтлэг зарим талаар авч үзэх болно.
1. Хэмжилзүйн тоног төхөөрөмж
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хэмжээс болон шинж чанарыг хэмжихэд хэмжилзүйн төхөөрөмжийг ашигладаг. Боржин чулууг өндөр хэмжээст тогтвортой байдлаас шалтгаалан ийм төхөөрөмжийн суурь болгон ашигладаг. Боржин чулуун гадаргуугийн тэгш байдал болон нарийвчлал нь нарийвчлалтай хэмжилт хийхэд тохиромжтой лавлагаа болдог. Нэмж дурдахад, боржин чулуун дулааны тогтвортой байдал нь температурын хэлбэлзлээс шалтгаалан хэмжээст өөрчлөлтийн эрсдэлийг бууруулдаг.
2. Оптик тоног төхөөрөмж
Боржин чулууг хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг литографийн машин гэх мэт оптик тоног төхөөрөмжид ашигладаг. Боржин чулуун суурь нь эдгээр машинуудад ашиглагддаг өндөр нарийвчлалтай оптикийн тогтвортой тавцанг бүрдүүлдэг. Боржин чулуун маш сайн чичиргээг бууруулдаг шинж чанар нь оптикийн гүйцэтгэл болон нарийвчлалд нөлөөлж болох чичиргээг бууруулахад тусалдаг.
3. Вафли боловсруулах тоног төхөөрөмж
Хагас дамжуулагч хавтангийн боловсруулалт нь цэвэрлэх, сийлбэрлэх, тунадасжуулах зэрэг хэд хэдэн үе шатыг хамардаг. Боржин чулууг хавтангийн боловсруулалтын төхөөрөмжийн хэд хэдэн бүрэлдэхүүн хэсэгт ашигладаг. Жишээлбэл, боржин чулууг цахиурын хавтангууд дээр нимгэн хальс хуримтлуулахад ашигладаг химийн уурын тунадасжуулалтын (CVD) төхөөрөмжийн суурь болгон ашигладаг. Боржин чулууг мөн сийлбэрийн камер болон бусад процессын сав барихад ашигладаг бөгөөд түүний маш сайн химийн эсэргүүцэл болон хэмжээст тогтвортой байдал чухал юм.
4. Туршилтын тоног төхөөрөмж
Туршилтын төхөөрөмжийг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн гүйцэтгэл болон чанарыг шалгахад ашигладаг. Боржин чулууг өндөр хатуулаг, тогтвортой байдлаас шалтгаалан туршилтын төхөөрөмжийн суурь болгон ашигладаг. Боржин чулуу нь мэдрэмтгий туршилтын төхөөрөмжтэй холбоотой хөндлөнгийн оролцоог арилгадаг соронзон бус болон дамжуулагчгүй платформ юм. Боржин чулуун гадаргуугийн тэгш байдал болон нарийвчлал нь туршилтын өндөр нарийвчлалтай үр дүнг авах боломжийг олгодог.
Дүгнэлт
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуу нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн зураг төсөл, үйлдвэрлэлд чухал материал юм. Хэмжээст тогтвортой байдал, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл, чичиргээг багасгах зэрэг маш сайн шинж чанарууд нь олон хэрэглээнд тохиромжтой материал болгодог. Боржин чулууг хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн хэд хэдэн чухал бүрэлдэхүүн хэсэгт, түүний дотор хэмжилзүйн тоног төхөөрөмж, оптик тоног төхөөрөмж, ялтас боловсруулах тоног төхөөрөмж, туршилтын тоног төхөөрөмжид ашигладаг. Илүү хурдан, жижиг, илүү хүчирхэг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн эрэлт хэрэгцээ өссөөр байгаа тул хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид боржин чулуу ашиглах нь зайлшгүй шаардлагатай хэвээр байх магадлалтай.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 4-р сарын 8