Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
Литографи: Литографи нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн гол үйл явц бөгөөд нарийн төвөгтэй хэлхээний хэв маягийг ялтсууд дээр нарийн дамжуулахыг шаарддаг. Боржин чулуун суурин дээрх XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөнт платформ нь литографийн төхөөрөмжийн тогтвортой дэмжлэг, зөв байрлалыг хангаж, өртөх процесс дахь вафель хүснэгтийн байршлын нарийвчлалыг нанометрийн түвшинд хүргэж, чичиргээ болон дулааны хэв гажилтаас үүсэх хэв маягийн хазайлтыг үр дүнтэй бууруулж, чипний үйлдвэрлэл, боловсруулалтыг сайжруулдаг.
Өргөст ялтсын үзлэг: Өргөст ялтсын үйлдвэрлэл дууссаны дараа жижиг согог, согогийг илрүүлэхийн тулд өндөр нарийвчлалтайгаар шалгах шаардлагатай. XYT нарийн идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь электрон цацрагийн микроскоп, атомын хүчний микроскоп гэх мэт илрүүлэх төхөөрөмжийг зөөвөрлөж, илрүүлэх процессын явцад тогтвортой хөдөлгөөн, зөв байрлалыг хадгалах боломжтой бөгөөд ингэснээр илрүүлэх төхөөрөмж нь ялтсуудын гадаргууг нарийн сканнердаж, илрүүлэх нарийвчлал, нарийвчлалыг сайжруулдаг.
Оптик багажийн үйлдвэрлэл
Линзийг нунтаглах, өнгөлөх: Оптик линз үйлдвэрлэх явцад сайн оптик шинж чанарыг олж авахын тулд линзийг өндөр нарийвчлалтайгаар нунтаглаж, өнгөлөх шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь нунтаглах, өнгөлөх багажны хөдөлгөөний замыг нарийн хянах боломжтой бол боржин чулуун суурь нь гаднах чичиргээг тусгаарлаж, чичиргээний боловсруулалтын нарийвчлалд үзүүлэх нөлөөллийг бууруулж, линзний гадаргуугийн тэгш байдал, өнгөлгөө нь дизайны шаардлагад нийцсэн байх болно.
Оптик системийн угсралт: Оптик системийг угсрах явцад янз бүрийн оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг тодорхой байрлалд нарийн суурилуулах шаардлагатай бөгөөд гэрэл, дүрсний чанарыг үнэн зөвөөр түгээх болно. Боржин чулуун суурьтай XYT нарийн идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь оптик эд ангиудыг суурилуулах, тохируулахад тогтвортой платформоор хангаж, хөдөлгөөнийг нарийн хянах замаар оптик эд ангиудыг өндөр нарийвчлалтай тэгшлэх, угсрах боломжтой.
сансар огторгуй
Инерцийн навигацийн системийн туршилт: Инерцийн навигацийн систем нь сансрын салбарт чухал навигацийн төхөөрөмж бөгөөд түүний нарийвчлал нь онгоцны навигацийн нарийвчлал, нислэгийн аюулгүй байдалд шууд нөлөөлдөг. Инерцийн навигацийн системийг турших явцад онгоцны янз бүрийн хөдөлгөөний төлөвийг дуурайлган дуурайлган хийх өндөр нарийвчлалтай эргэдэг тавцан ашиглах шаардлагатай. XYT нарийн идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформыг эргэдэг ширээний тулгуур тавцан болгон ашиглаж болно. Хөдөлгөөнийг нарийн хянах, чичиргээ тусгаарлах чадвараараа инерцийн навигацийн системийн туршилтыг тогтвортой, үнэн зөв хөдөлгөх орчинг бүрдүүлж, туршилтын нарийвчлал, найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Аэро хөдөлгүүрийн ирийг боловсруулах: Аэро хөдөлгүүрийн ирийг боловсруулах нарийвчлал нь хөдөлгүүрийн гүйцэтгэл, үр ашигт чухал нөлөө үзүүлдэг. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформыг таван тэнхлэгт холбоос боловсруулах төв гэх мэт хутганы боловсруулалтын процесст хэрэглэж, багажны хөдөлгөөний замыг нарийн хянаж, боловсруулах орчныг тогтвортой байлгаж, ирийг өндөр нарийвчлалтай боловсруулж, ирний чанарын нарийвчлал, гадаргуугийн нарийвчлалыг хангаж чадна.
Шинжлэх ухааны судалгааны туршилт
Нано шинжлэх ухааны судалгаа: Нано шинжлэх ухааны судалгаанд наноматериал бэлтгэх, нано төхөөрөмж угсрах зэрэг нано хэмжээний объектуудыг ажиллуулах, ажиглах шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөнт платформын боржин чулуун суурь нь дэд микрон эсвэл бүр нано түвшний байршлын нарийвчлалыг хангаж, нано шинжлэх ухааны судалгааны тогтвортой, үнэн зөв туршилтын платформоор хангаж, нано ертөнцийн нууцыг илүү сайн судлахад эрдэмтэд тусалдаг.
Биоанагаах ухааны дүрслэл: Биоанагаахын салбарт, тухайлбал, флюресцент микроскопи, конфокаль микроскопи болон бусад дүрслэлийн төхөөрөмжүүд нь өндөр нарийвчлалтай биологийн зургийг авахын тулд дээжийн нарийн байрлал, тогтвортой дүрслэл шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь биологийн дээжийг зөөвөрлөх, хөдөлгөөнийг нарийн хянах, сайн чичиргээ тусгаарлах гүйцэтгэлээр дээжийн чичиргээ, шилжилт хөдөлгөөнийг бууруулж, дүрслэлийн чанар, нарийвчлалыг сайжруулж, биоанагаахын судлаачдад эс, эд болон бусад бичил харуурын бүтцийн талаар гүнзгий судалгаа хийхэд тусалдаг.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 11