Боржин чулуу нь маш сайн механик шинж чанар, дулааны тогтвортой байдал, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент зэргээрээ хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг материал юм.Гэсэн хэдий ч илүү өндөр нарийвчлал, бүтээмжийн эрэлт хэрэгцээ байнга нэмэгдэж байгаа тул хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн эд ангиудыг үйлдвэрлэх боломжит хувилбарууд болох өөр материалууд гарч ирэв.Энэ нийтлэлд бид хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн боржин чулуун эд ангиудын зарим өөр материалыг судалж, тэдгээрийн давуу болон сул талуудыг харьцуулах болно.
Боржингийн эд ангиудын өөр материал
1. Шилэн керамик материал
Zerodur, Cervit зэрэг шилэн керамик материалууд нь дулааны тэлэлтийн коэффициент бага буюу цахиуртай ойролцоо байдаг тул хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгдэх болсон.Иймээс эдгээр материалууд нь хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх процесст илүү сайн дулааны тогтвортой байдал, сайжруулсан нарийвчлалыг хангаж чадна.Ялангуяа Zerodur нь нэгэн төрлийн, тогтвортой байдлын өндөр зэрэгтэй тул литографийн төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
Давуу тал:
- Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент
- Өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдал
- Өндөр температурт хэрэглэхэд тохиромжтой
Сул тал:
- Боржин чулуутай харьцуулахад өндөр өртөгтэй
- Харьцангуй хэврэг, боловсруулах, боловсруулахад хүндрэл учруулж болзошгүй
2. Керамик эдлэл
Хөнгөн цагааны исэл (Al2O3), цахиурын карбид (SiC), цахиурын нитрид (Si3N4) зэрэг керамик материалууд нь маш сайн механик шинж чанартай, өндөр температурт тэсвэртэй, дулааны тэлэлтийн коэффициент багатай байдаг.Эдгээр шинж чанарууд нь керамик эдлэлийг хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн өндөр дулааны тогтвортой байдал, нарийвчлал шаарддаг хэсгүүдэд тохиромжтой болгодог.
Давуу тал:
- Өндөр дулааны тогтвортой байдал, хүч чадал
- Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент
- Элэгдэлд тэсвэртэй, химийн идэвхгүй байдал
Сул тал:
- Хэврэг, хагаралд өртөмтгий, ялангуяа боловсруулах, боловсруулах үед
- Керамик эдлэлийг боловсруулах, өнгөлөх нь хэцүү, цаг хугацаа их шаарддаг
3. Металл
Зэвэрдэггүй ган, титан зэрэг метал дээр суурилсан материалыг маш сайн боловсруулах чадвартай, өндөр бат бэхийн улмаас хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн зарим эд ангиудад ашигласан.Эдгээрийг ихэвчлэн камерын эд анги, холбоос, дамжуулагч гэх мэт өндөр дулааны тогтвортой байдал шаарддаггүй хэрэглээнд ашигладаг.
Давуу тал:
- Машины боловсруулалт сайтай, гагнах чадвар сайтай
- Өндөр бат бэх, уян хатан чанар
- Зарим өөр материалтай харьцуулахад бага өртөгтэй
Сул тал:
- Дулааны тэлэлтийн өндөр коэффициент
- Дулааны тэлэлтийн асуудлаас болж өндөр температурт хэрэглэхэд тохиромжгүй
- Зэврэлт, бохирдолд өртөмтгий
Дүгнэлт:
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуу нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн эд ангиудын хувьд түгээмэл сонголт байсан бол өөр материалууд гарч ирсэн бөгөөд тус бүр нь өөрийн гэсэн давуу болон сул талуудтай.Шилэн керамик материал нь өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой боловч хэврэг байж болно.Керамик нь бат бөх бөгөөд дулааны тогтвортой байдал сайтай боловч хэврэг байж болох тул үйлдвэрлэхэд илүү төвөгтэй болгодог.Металл нь хямд, боловсруулах боломжтой, уян хатан чанартай боловч дулааны тэлэлтийн илүү өндөр коэффициенттэй бөгөөд зэврэлт, бохирдолд өртөмтгий байдаг.Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн материалыг сонгохдоо хэрэглээний тусгай шаардлагыг харгалзан үзэж, өртөг, гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг тэнцвэржүүлсэн материалыг сонгох нь маш чухал юм.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 3-р сарын 19