.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт вафель шалгах төхөөрөмжийн нарийвчлал нь чипсийн чанар, гарцыг шууд тодорхойлдог. Илрүүлэх үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг дэмжих үндэс суурь нь тоног төхөөрөмжийн үндсэн материалын хэмжээст тогтвортой байдал нь тоног төхөөрөмжийн урт хугацааны үйл ажиллагааны гүйцэтгэлд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуу, цутгамал төмөр нь өрөм шалгах төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг суурь материал юм. 10 жилийн харьцуулсан судалгаагаар хэмжээст тогтвортой байдлын хувьд тэдгээрийн хооронд ихээхэн ялгаа байгааг илрүүлж, тоног төхөөрөмжийг сонгоход чухал лавлагаа өгсөн. .
Туршилтын суурь ба дизайн
Хагас дамжуулагч хавтан үйлдвэрлэх процесс нь илрүүлэх нарийвчлалд маш өндөр шаардлага тавьдаг. Микрометрийн түвшний хэмжээсийн хазайлт ч гэсэн чипийн гүйцэтгэл буурах эсвэл бүр хусахад хүргэдэг. Боржин чулуу, цутгамал төмрийн урт хугацааны ашиглалтын үед хэмжээст тогтвортой байдлыг судлахын тулд судалгааны баг бодит ажлын орчныг дуурайлган хийсэн туршилтуудыг зохион бүтээсэн. Ижил үзүүлэлттэй боржин чулуу, цутгамал төмрийн дээжийг сонгон авч, температур нь 15 хэмээс 35 хэм хүртэл, чийгшил нь 30% -аас 70% RH хооронд хэлбэлздэг орчны камерт байрлуулсан. Тоног төхөөрөмжийг ажиллуулах явцад үүссэн механик чичиргээг чичиргээний хүснэгтээр дуурайлган хийсэн. Дээжийн гол хэмжээсийг улирал бүр өндөр нарийвчлалтай лазер интерферометр ашиглан хэмжиж, өгөгдлийг 10 жилийн турш тасралтгүй бүртгэсэн. .
Туршилтын үр дүн: Боржингийн үнэмлэхүй давуу тал
Арван жилийн туршилтын өгөгдөл нь боржингийн субстрат нь гайхалтай тогтвортой байдлыг харуулдаг. Түүний дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага бөгөөд дунджаар ердөө 4.6×10⁻⁶/℃ байна. Температурын огцом өөрчлөлтийн үед хэмжээсийн хазайлтыг үргэлж ±0.001мм дотор хянадаг. Чийгийн өөрчлөлтийн үед боржингийн нягт бүтэц нь бараг нөлөөлөлгүй, хэмжигдэхүйц хэмжээсийн өөрчлөлт гардаггүй. Механик чичиргээт орчинд боржингийн маш сайн чийгшүүлэх шинж чанар нь чичиргээний энергийг үр дүнтэй шингээдэг бөгөөд хэмжээсийн хэлбэлзэл нь маш бага байдаг. .
Үүний эсрэгээр цутгамал төмрийн субстратын хувьд түүний дулааны тэлэлтийн дундаж коэффициент 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ хүрч, 10 жилийн дотор температурын өөрчлөлтөөс үүсэх хэмжээсийн хамгийн их хазайлт нь ±0.05мм байна. Чийглэг орчинд цутгамал төмөр нь зэв, зэврэлтэнд өртөмтгий байдаг. Зарим дээж нь орон нутгийн хэв гажилтыг харуулж, хэмжээсийн хазайлт нь улам нэмэгддэг. Механик чичиргээний нөлөөгөөр цутгамал төмрийн чичиргээ сааруулагч чанар муутай бөгөөд хэмжээ нь байнга хэлбэлздэг тул вафель шалгалтын өндөр нарийвчлалтай шаардлагыг хангахад хэцүү болгодог. .
Тогтвортой байдлын ялгааны үндсэн шалтгаан
Боржин чулуу нь геологийн процессоор олон зуун сая жилийн туршид үүссэн. Түүний дотоод бүтэц нь нягт, жигд, эрдсийн талстууд нь тогтвортой байрлалтай бөгөөд дотоод стрессийг байгалиас нь арилгадаг. Энэ нь температур, чийгшил, чичиргээ зэрэг гадны хүчин зүйлийн өөрчлөлтөд маш мэдрэмтгий биш болгодог. Цутгамал төмрийг цутгах аргаар хийдэг бөгөөд дотор нь нүх, элсний нүх зэрэг бичил харуурын согогтой байдаг. Үүний зэрэгцээ цутгах явцад үүссэн үлдэгдэл стресс нь гадаад орчны өдөөлтөөр хэмжээсийн өөрчлөлтийг үүсгэдэг. Цутгамал төмрийн металл шинж чанар нь чийгшлийн улмаас зэврэлтэнд өртөмтгий болгож, бүтцийн эвдрэлийг хурдасгаж, хэмжээсийн тогтвортой байдлыг бууруулдаг. .
Өргөст хальсны хяналтын төхөөрөмжид үзүүлэх нөлөө
Тогтвортой хэмжээст гүйцэтгэлтэй боржин чулуун дэвсгэр дээр суурилсан вафель шалгах төхөөрөмж нь хяналтын систем нь өндөр нарийвчлалыг удаан хугацаанд хадгалж, төхөөрөмжийн нарийвчлалын зөрүүгээс үүдэлтэй буруу дүгнэлт, алдаа илрүүлэлтийг бууруулж, бүтээгдэхүүний гарцыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг. Үүний зэрэгцээ засвар үйлчилгээний бага шаардлагууд нь тоног төхөөрөмжийн амьдралын мөчлөгийн зардлыг бууруулдаг. Цутгамал төмрийн субстрат ашигладаг төхөөрөмж нь хэмжээсийн тогтвортой байдал муутай тул байнга тохируулга, засвар үйлчилгээ шаарддаг. Энэ нь зөвхөн ашиглалтын зардлыг нэмэгдүүлээд зогсохгүй хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн чанарт муугаар нөлөөлж, эдийн засгийн алдагдалд хүргэж болзошгүй юм. .
Хагас дамжуулагчийн салбарынхан илүү нарийвчлалтай, илүү чанартай байхыг эрэлхийлж буй чиг хандлагын дор боржин чулууг хавтангийн хяналтын тоног төхөөрөмжийн үндсэн материал болгон сонгох нь тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг хангах, аж ахуйн нэгжүүдийн өрсөлдөх чадварыг нэмэгдүүлэх ухаалаг алхам болох нь дамжиггүй. .
Шуудангийн цаг: 2025-05-14