Хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг ашиглахад суурь нь үндсэн туслах бүрэлдэхүүн хэсэг болох модулийн гүйцэтгэлд шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуун нарийн суурь ба цутгамал суурь нь өөрийн гэсэн онцлог шинж чанартай бөгөөд тэдгээрийн хоорондох ялгаа нь илэрхий юм.
I. Тогтвортой байдал
Олон сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа боржин чулуу нь ихэвчлэн кварц, хээрийн жонш болон бусад ашигт малтмалын нягт нийлбэрээр нягт, жигд бүтэцтэй байдаг. Энэхүү өвөрмөц бүтэц нь түүнд маш сайн тогтвортой байдлыг өгч, гадны нөлөөллийг үр дүнтэй эсэргүүцэх чадвартай. Цахим чип үйлдвэрлэх цехэд захын тоног төхөөрөмж байнга ажилладаг бөгөөд боржин чулуун суурь нь агаарын хөвөгч рүү дамждаг хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн чичиргээний далайцыг 80% -иар бууруулж, модулийн жигд хөдөлгөөнийг хангаж, литографи, чип боловсруулах зэрэг өндөр нарийвчлалтай үйл явцын найдвартай баталгааг өгдөг.
Цутгамал суурь нь чичиргээг тодорхой хэмжээгээр дарах чадвартай боловч цутгах явцад элсний нүх, нүх сүв зэрэг зарим согогтой байж болох бөгөөд энэ нь бүтцийн жигд байдал, тогтвортой байдлыг бууруулдаг. Өндөр давтамжийн болон өндөр хүч чадлын чичиргээний үед чичиргээ саармагжуулах чадвар нь боржин чулуун суурьтай адил сайн биш тул агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн хөдөлгөөний тогтвортой байдал муудаж, энэ нь төхөөрөмжийн боловсруулалт, илрүүлэлтийн нарийвчлалд нөлөөлдөг.
Хоёрдугаарт, нарийвчлалыг хадгалах
Боржингийн дулаан тэлэлтийн коэффициент маш бага, ерөнхийдөө 5-7 ×10⁻⁶/℃, температурын хэлбэлзэлтэй орчинд хэмжээ нь хамгийн бага өөрчлөлттэй байдаг. Одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тааруулахад зориулагдсан хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг боржин суурьтай хослуулсан нь өдөр шөнийн температурын зөрүү их байсан ч линзний байршлын нарийвчлалыг микроны доод түвшинд барьж, одон орон судлаачдад хамгийн алс холын биетүүдийг тодорхой ажиглахад тусалдаг.
Цутгамал суурь нь түгээмэл хэрэглэгддэг металл материал, тухайлбал цутгамал төмөр, дулааны тэлэлтийн коэффициент харьцангуй өндөр, ойролцоогоор 10-20 ×10⁻⁶/℃. Температур өөрчлөгдөхөд хэмжээ нь илт өөрчлөгддөг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгчдийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн дулааны хэв гажилтыг үүсгэхэд хялбар бөгөөд хөдөлгөөний нарийвчлал буурахад хүргэдэг. Температурын мэдрэмтгий оптик линз нунтаглах явцад температурын нөлөөн дор цутгамал суурийн хэв гажилт нь линзний нунтаглалтын нарийвчлалыг зөвшөөрөгдөх хэмжээнээс хэтрүүлж, линзний чанарт нөлөөлдөг.
Гуравдугаарт, элэгдэлд тэсвэртэй
Боржингийн хатуулаг өндөр, Mohs хатуулаг нь 6-7 хүрч чаддаг, элэгдэлд тэсвэртэй. Материал судлалын лабораторид байнга ашиглагддаг агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль, боржин чулуун суурь нь энгийн цутгамал суурьтай харьцуулахад агаарын хөвөгч гулсуурын үрэлтийг үр дүнтэй эсэргүүцэж, модулийн засвар үйлчилгээний хугацааг 50% -иас дээш хугацаагаар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангах боломжтой.
Цутгамал суурь нь энгийн металл материалаар хийгдсэн бол хатуулаг нь харьцангуй бага, гадаргуу нь агаарын хөвөгч гулсагчийн урт хугацааны үрэлтийн дор элэгдэхэд хялбар байдаг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн хөдөлгөөний нарийвчлал, жигд байдалд нөлөөлж, илүү олон удаа засвар үйлчилгээ хийх, солих зардал шаарддаг тул ашиглалтын хугацааг нэмэгдүүлдэг.
Дөрөвдүгээрт, үйлдвэрлэлийн зардал, боловсруулалтын хүндрэл
Боржингийн түүхий эд олж авах зардал өндөр, олборлолт, тээвэрлэлтийн цогц, боловсруулахад өндөр нарийвчлалтай зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх гэх мэт мэргэжлийн техник, технологи, үйлдвэрлэлийн зардал өндөр байдаг. Мөн өндөр хатуулаг, хэврэг, боловсруулахад хүндрэлтэй, ирмэгийн нуралт, хагарал болон бусад согогуудад хялбар байдаг тул хаягдал өндөр байдаг.
Цутгамал үндсэн түүхий эдийг өргөнөөр хангадаг, өртөг нь харьцангуй бага, цутгах процесс нь боловсорч гүйцсэн, боловсруулалтын хүндрэл багатай, массын үйлдвэрлэлийг хэвээр дамжуулан хийх боломжтой, үйлдвэрлэлийн өндөр үр ашиг, хяналттай өртөгтэй. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурьтай ижил өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдалд хүрэхийн тулд цутгах үйл явц, боловсруулалтын дараах шаардлагууд нь маш хатуу бөгөөд өртөг нь бас мэдэгдэхүйц өсөх болно.
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуун нарийн суурь нь өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулиудын хэрэглээний хувилбаруудад ихээхэн давуу талтай юм. Цутгамал суурь нь өртөг, боловсруулалтын хувьд тодорхой давуу талтай бөгөөд нарийвчлалын шаардлага харьцангуй бага, зардлын үр ашгийг эрэлхийлдэг тохиолдолд тохиромжтой.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 08