Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт автомат оптик үзлэг (AOI) төхөөрөмж нь чипийн чанарыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Илрүүлэлтийн нарийвчлалыг бага зэрэг сайжруулсан ч гэсэн бүхэл бүтэн салбарт асар их өөрчлөлт авчрах боломжтой. Тоног төхөөрөмжийн суурь нь гол бүрэлдэхүүн хэсэг болохын хувьд илрүүлэлтийн нарийвчлалд гүнзгий нөлөө үзүүлдэг. Сүүлийн жилүүдэд суурь материалын хувьсгал салбарт нэвтрэн орлоо. Чичиргээ дарах гайхалтай гүйцэтгэлтэй боржин чулуу нь уламжлалт цутгамал төмрийн материалыг аажмаар сольж, AOI үзлэгийн төхөөрөмжийн шинэ дуртай зүйл болжээ. Чичиргээ дарах үр ашиг нь цутгамал төмрөөс 92%-иар нэмэгдсэн. Энэхүү өгөгдлийн ард ямар технологийн нээлт, салбарын өөрчлөлтүүд нуугдаж байна вэ?
Хагас дамжуулагч AOI шалгалтын тоног төхөөрөмжийн чичиргээнд тавигдах хатуу шаардлага
Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх үйл явц нано хэмжээний эрин үед орлоо. AOI шалгалтын явцад маш бага чичиргээ ч гэсэн шалгалтын үр дүнд хазайлт үүсгэж болзошгүй. Чипийн гадаргуу дээрх нарийн зураас, хоосон зай болон бусад согог нь ихэвчлэн микрометр эсвэл бүр нанометрийн түвшинд байдаг. Илрүүлэх төхөөрөмжийн оптик линз нь эдгээр нарийн ширийн зүйлийг маш өндөр нарийвчлалтайгаар авах шаардлагатай. Суурийн дамжуулсан аливаа чичиргээ нь линзийг хөдөлгөх эсвэл чичрэхэд хүргэж, улмаар дүрсийг бүдгэрүүлж, улмаар согогийг таних нарийвчлалд нөлөөлдөг.
Цутгамал төмрийн материалыг AOI үзлэгийн төхөөрөмжийн сууринд өргөн ашигладаг байсан, учир нь тэдгээр нь тодорхой бат бөх чанар, боловсруулалтын гүйцэтгэлтэй бөгөөд өртөг нь харьцангуй бага байдаг. Гэсэн хэдий ч чичиргээ дарах тал дээр цутгамал төмрийг илэрхий дутагдалтай талуудтай. Цутгамал төмрийн дотоод бүтэц нь доторх жижиг хоосон зайтай тэнцүү бөгөөд материалын тасралтгүй байдлыг алдагдуулдаг олон тооны бал чулуун хуудас агуулдаг. Тоног төхөөрөмж ажиллаж, чичиргээ үүсгэх эсвэл гадаад орчны чичиргээнд саад учруулах үед чичиргээний энерги нь цутгамал төмрөнд үр дүнтэйгээр суларч чадахгүй, харин бал чулуун хуудас болон матрицын хооронд байнга тусч, давхарддаг тул чичиргээний тасралтгүй тархалт үүсдэг. Холбогдох туршилтуудаас харахад цутгамал төмрийн суурь нь гадны чичиргээгээр өдөөгдсөний дараа чичиргээний сулралын хугацаа хэдэн секунд үргэлжилж болох бөгөөд энэ нь энэ хугацаанд илрүүлэх нарийвчлалд ноцтой нөлөөлнө. Үүнээс гадна, цутгамал төмрийн уян хатан модуль харьцангуй бага байдаг. Тоног төхөөрөмжийн таталцал болон чичиргээний стрессийн урт хугацааны нөлөөллийн дор деформацид өртөмтгий болж, чичиргээний дамжуулалтыг улам эрчимжүүлдэг.
Боржин чулуун суурийн чичиргээ дарах үр ашгийг 92%-иар нэмэгдүүлэх нууц
Боржин чулуу нь байгалийн чулуун төрөл бөгөөд хэдэн зуун сая жилийн турш геологийн үйл явцын явцад маш нягт, жигд дотоод бүтэц бий болгосон. Энэ нь голчлон кварц, хээрийн жонш зэрэг эрдэс талстуудаас бүрддэг бөгөөд талстуудын хоорондох химийн холбоо нь хүчтэй, тогтвортой байдаг. Энэхүү бүтэц нь боржин чулуунд гайхалтай чичиргээ дарах чадварыг олгодог. Чичиргээг боржин чулуун суурь руу дамжуулахад доторх эрдэс талстууд нь чичиргээний энергийг дулааны энерги болгон хурдан хувиргаж, сарниулж чаддаг. Судалгаанаас харахад боржин чулууны чийгшил нь цутгамал төмрөөс хэд дахин өндөр байдаг бөгөөд энэ нь чичиргээний энергийг илүү үр дүнтэй шингээж, чичиргээний далайц болон үргэлжлэх хугацааг бууруулдаг. Мэргэжлийн туршилтын дараа ижил чичиргээ өдөөх нөхцөлд боржин чулуун суурийн чичиргээ намсах хугацаа нь цутгамал төмрийнхөөс ердөө 8% бөгөөд чичиргээ дарах үр ашиг 92%-иар нэмэгдсэн байна.
Боржин чулууны өндөр хатуулаг болон өндөр уян хатан модуль нь мөн чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Өндөр хатуулаг нь тоног төхөөрөмжийн жин болон гадны хүчний нөлөөллийг даах үед суурь нь деформацид орох магадлал багатай бөгөөд үргэлж тогтвортой тулгуур төлөвийг хадгалдаг. Өндөр уян хатан модуль нь чичиргээнд өртөх үед суурь нь анхны хэлбэртээ хурдан эргэж орох боломжийг олгодог бөгөөд чичиргээний хуримтлалыг бууруулдаг. Үүнээс гадна, боржин чулуу нь маш сайн дулааны тогтвортой байдалтай бөгөөд орчны температурын өөрчлөлтөд бараг нөлөөлдөггүй тул температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй дулааны тэлэлт болон агшилтын деформациас зайлсхийж, улмаар чичиргээ дарах гүйцэтгэлийн тогтвортой байдлыг улам бүр баталгаажуулдаг.
Боржин чулуун суурийн улмаас үүссэн салбарын өөрчлөлт ба хэтийн төлөв
Боржин чулуун суурьтай AOI шалгалтын төхөөрөмж нь илрүүлэлтийн нарийвчлалыг мэдэгдэхүйц сайжруулсан. Энэ нь жижиг хэмжээтэй чипүүдийн согогийг найдвартай тодорхойлж, буруу дүгнэлтийн түвшинг 1% хүртэл бууруулж, чип үйлдвэрлэх гарцын түвшинг эрс сайжруулж чадна. Үүний зэрэгцээ, тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдлыг сайжруулж, чичиргээний асуудлаас үүдэлтэй засвар үйлчилгээний улмаас зогсолтын тоог бууруулж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, нийт ашиглалтын зардлыг бууруулсан.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 14