.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт автомат оптик хяналтын (AOI) төхөөрөмж нь чипийн чанарыг баталгаажуулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Илрүүлэх нарийвчлалыг бага зэрэг сайжруулах нь бүхэл бүтэн салбарт асар том өөрчлөлтийг авчрах болно. Тоног төхөөрөмжийн суурь нь гол бүрэлдэхүүн хэсгийн хувьд илрүүлэх нарийвчлалд ихээхэн нөлөөлдөг. Сүүлийн жилүүдэд үндсэн материалын хувьсгал салбарыг бүхэлд нь хамарсан. Чичиргээ дарах гайхалтай гүйцэтгэлтэй боржин чулуу нь уламжлалт цутгамал төмрийн материалыг аажмаар сольж, AOI хяналтын төхөөрөмжийн шинэ дуртай болсон. Түүний чичиргээ дарах үр ашиг нь цутгамал төмрөөс 92% -иар өссөн байна. Энэ мэдээллийн ард ямар технологийн дэвшил, салбарын өөрчлөлтүүд байгаа вэ? .
Хагас дамжуулагч AOI хяналтын төхөөрөмжид чичиргээнд тавигдах хатуу шаардлага
Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх үйл явц нано хэмжээний эрин үе рүү орлоо. AOI шалгалтын явцад маш өчүүхэн чичиргээ ч гэсэн шалгалтын үр дүнд хазайлт үүсгэж болзошгүй. Чипийн гадаргуу дээрх нарийн зураас, хоосон зай болон бусад согогууд нь ихэвчлэн микрометр эсвэл бүр нанометрийн түвшинд байдаг. Илрүүлэх төхөөрөмжийн оптик линз нь эдгээр нарийн ширийн зүйлийг маш өндөр нарийвчлалтайгаар авах шаардлагатай. Суурь дамжуулж буй аливаа чичиргээ нь линзийг хөдөлгөж, сэгсэрч, бүдгэрсэн дүрсийг олж авах, улмаар согогийг таних нарийвчлалд нөлөөлдөг.
Цутгамал төмрийн материалууд нь тодорхой хүч чадал, боловсруулалтын гүйцэтгэлтэй, өртөг нь харьцангуй бага байдаг тул AOI-ийн хяналтын тоног төхөөрөмжийн сууринд өргөн хэрэглэгддэг байсан. Гэсэн хэдий ч чичиргээ дарах тал дээр цутгамал төмөр нь илэрхий дутагдалтай байдаг. Цутгамал төмрийн дотоод бүтэц нь олон тооны бал чулуун хуудас агуулдаг бөгөөд энэ нь доторх жижиг хоосон зайтай тэнцэх бөгөөд материалын тасралтгүй байдлыг алдагдуулдаг. Тоног төхөөрөмж ажиллаж, чичиргээ үүсгэх, эсвэл гадны орчны чичиргээнд эвдэрсэн үед чичиргээний энерги нь цутгамал төмрийг үр дүнтэйгээр сулруулж чадахгүй ч графит хавтан ба матрицын хооронд байнга тусгаж, давхарлаж, чичиргээ тасралтгүй тархдаг. Холбогдох туршилтууд нь цутгамал төмрийн суурь нь гадны чичиргээний нөлөөгөөр өдөөгдсөний дараа чичиргээ буурах хугацаа хэдэн секунд үргэлжилж болох бөгөөд энэ хугацаанд илрүүлэх нарийвчлалд ноцтой нөлөөлнө. Үүнээс гадна цутгамал төмрийн уян хатан модуль нь харьцангуй бага байдаг. Тоног төхөөрөмжийн таталцлын болон чичиргээний стрессийн урт хугацааны үйл ажиллагааны дор энэ нь деформацид өртөмтгий бөгөөд чичиргээний дамжуулалтыг улам эрчимжүүлдэг. .
Боржин чулуун суурийн чичиргээ дарах үр ашгийг 92 хувиар нэмэгдүүлсний нууц
Боржин чулуу нь байгалийн чулууны хувьд олон зуун сая жилийн туршид геологийн процессоор маш нягт, нэгэн төрлийн дотоод бүтцийг бий болгосон. Энэ нь голчлон кварц, хээрийн жонш зэрэг эрдсийн талстуудаас бүрдэх ба талстуудын хоорондох химийн холбоо нь бат бөх, тогтвортой байдаг. Энэ бүтэц нь боржин чулууг чичиргээ дарах гайхалтай чадварыг өгдөг. Чичиргээ нь боржин суурь руу дамжих үед түүний доторх эрдсийн талстууд нь чичиргээний энергийг дулааны энерги болгон хурдан хувиргаж, сарниулах чадвартай. Судалгаанаас харахад боржингийн чийгшүүлэх чадвар нь цутгамал төмрөөс хэд дахин их байдаг нь чичиргээний энергийг илүү үр ашигтай шингээж, чичиргээний далайц, үргэлжлэх хугацааг багасгадаг. Мэргэжлийн туршилт хийсний дараа чичиргээ өдөөх ижил нөхцөлд боржин чулуун суурийн чичиргээ саарах хугацаа нь цутгамал төмрийнхөөс ердөө 8%, чичиргээ дарах үр ашиг 92% -иар нэмэгдсэн байна. .
Боржингийн өндөр хатуулаг, уян хатан модуль нь мөн ихээхэн хувь нэмэр оруулдаг. Өндөр хатуулаг нь тоног төхөөрөмжийн жин ба гадны хүчний нөлөөллийг даах үед суурь нь хэв гажилт багатай байх ба тогтвортой тулгуур төлөвийг үргэлж хадгалж байдаг. Өндөр уян хатан модуль нь чичиргээнд өртөх үед суурь нь анхны хэлбэрээ хурдан эргүүлж, чичиргээний хуримтлалыг бууруулдаг. Нэмж дурдахад боржин чулуу нь маш сайн дулааны тогтвортой байдал бөгөөд хүрээлэн буй орчны температурын өөрчлөлтөд бараг нөлөөлдөггүй, температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй дулааны тэлэлт, агшилтын хэв гажилтаас зайлсхийж, улмаар чичиргээ дарах үйл ажиллагааны тогтвортой байдлыг хангадаг. .
Аж үйлдвэрийн өөрчлөлт ба хэтийн төлөв Боржин чулуун суурийн
Боржин чулуун суурьтай AOI хяналтын төхөөрөмж нь илрүүлэх нарийвчлалыг эрс сайжруулсан. Энэ нь жижиг хэмжээтэй чипүүдийн согогийг найдвартай илрүүлж, буруу дүгнэлтийг 1% хүртэл бууруулж, чипний үйлдвэрлэлийн гарцыг ихээхэн нэмэгдүүлэх боломжтой. Үүний зэрэгцээ, тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдал сайжирч, чичиргээний асуудлаас үүдэлтэй засвар үйлчилгээний унтрах тоог бууруулж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, нийт ашиглалтын зардлыг бууруулсан. .
Шуудангийн цаг: 2025-05-14