Хагас дамжуулагч, оптоэлектроник дэлгэц зэрэг өндөр технологийн үйлдвэрлэлийн салбарт массив илрүүлэгч төхөөрөмж нь микрометрийн түвшинд хүртэл нарийвчлалтайгаар бүтээгдэхүүний чанарыг хянах чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Тоног төхөөрөмжийн гол тулгуур болох боржин чулуун суурь нь илрүүлэх нарийвчлалд шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржингийн суурийн шинжлэх ухааны үндэслэлтэй засвар үйлчилгээ нь тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааг хангах гол түлхүүр болсон.
Боржингийн суурийг өдөр бүр цэвэрлэх нь маш чухал юм. Гадаргуу дээрх үлдэгдэл тоос, тосны толбо эсвэл илрүүлэх урвалжууд бүгд датчик эсвэл оптик замд нөлөөлж болно. Тоосонцрын бохирдлыг арилгахын тулд өдөр бүр гадаргууг ионгүйжүүлсэн усанд дүрсэн хөвөнгүй даавуугаар арчихыг зөвлөж байна. Зөрүүд газрын тосны толбо нь боржин чулууг зэврүүлэхийн тулд хүчтэй хүчил, шүлтийг ашиглахаас зайлсхийхийн тулд төвийг сахисан угаалгын нунтаг хэрэглэнэ. Үүний зэрэгцээ долоо хоног бүр цавуу шахах, боолт зэрэг холболтын хэсгүүдийг шалгаж, хуучирсан үений битүүмжлэх туузыг цаг тухайд нь сольж, боолтыг эргүүлэх эрэг чангалах түлхүүрээр дахин чангална.
Байгаль орчны хүчин зүйлүүд нь боржин чулууны машины сууринд ихээхэн нөлөөлдөг. Боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент харьцангуй бага боловч цехийн температурыг 23±1℃, цагт 0.5℃-аас ихгүй хэлбэлзэлтэй, харьцангуй чийгшлийг 45-60% байлгах шаардлагатай. Түүнчлэн чичиргээний эх үүсвэрийг машины суурийн эргэн тойронд байрлуулж болохгүй. Хэт их салхины хурдыг хэмжилтэнд саад учруулахгүйн тулд чичиргээнээс тусгаарлах дэвсгэр суурилуулж, агаарын урсгалыг хянах шаардлагатай.
Мэргэжлийн засвар үйлчилгээ нь мөн адил зайлшгүй шаардлагатай. Жил бүр мэргэжлийн байгууллагад машины суурийн нарийвчлал, түүний дотор тэгш байдал, дулааны тогтвортой байдал, чичиргээний бууралт зэрэг үзүүлэлтүүдийг илрүүлэх шалгалтыг даатгах ёстой. Онцгой тохиолдолд хэрэглэсний дараа идэмхий шингэнд хүрвэл цаг тухайд нь зайлж, хамгаалалтын арга хэмжээ авах шаардлагатай. Удаан хугацааны турш зогссоны дараа төхөөрөмжийг дахин эхлүүлэх үед стрессийн хуримтлалыг арилгахын тулд эхлээд тодорхой хугацаанд сул зогсолт хийх шаардлагатай болдог.
Шинжлэх ухааны арчилгааны аргуудын тусламжтайгаар боржингийн суурийн ашиглалтын хугацааг үр дүнтэйгээр уртасгаж, массив илрүүлэх төхөөрөмжийн өндөр нарийвчлалтай ажиллагааг хангах боломжтой. Чанарыг дээд зэргээр эрэлхийлдэг өндөр технологийн үйлдвэрлэлийн салбарын хувьд боржин чулуун машины суурийн засвар үйлчилгээнд ач холбогдол өгөх нь бүтээгдэхүүний чанар, аж ахуйн нэгжийн өрсөлдөх чадварыг хамгаалах явдал юм.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 6-р сарын 12-ны хооронд