Өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэл, хамгийн сүүлийн үеийн шинжлэх ухааны судалгааны чиглэлээр нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний платформ нь хэт нарийвчлалтай ажиллах гол төхөөрөмж юм. Боржингийн нарийн суурь нь платформын гол тулгуур хэсэг бөгөөд түүний гүйцэтгэл нь ажлын орчинтой нягт холбоотой байдаг. Байгаль орчны эдгээр шаардлагыг ойлгож, хангах нь платформын өндөр нарийвчлалтай үйл ажиллагааг хангахаас гадна аж ахуйн нэгжийн холбогдох салбарт өрсөлдөх чадварыг нэмэгдүүлэх чухал хэсэг болох бөгөөд үүнийг доор дэлгэрэнгүй тайлбарласан болно.
1. Температур: хэмжээст тогтвортой байдлыг хангах нарийн хяналт
Хэдийгээр боржин чулуу нь тогтвортой байдгаараа алдартай боловч дулааны тэлэлтийн коэффициент нь тэг биш бөгөөд температурын бага өөрчлөлт нь хэмжээсийн нарийвчлалд нөлөөлж болно. Ерөнхийдөө боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 5-7 × 10⁻⁶/℃ байна. Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний платформын хэрэглээний хувилбарт энэхүү бага зэргийн өөрчлөлт нь платформоор нэмэгддэг бөгөөд энэ нь хөдөлгөөний нарийвчлалын хазайлтад хүргэж болзошгүй юм. Жишээлбэл, хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх процесст данами түвшний нарийвчлалын шаардлага, орчны температурын хэлбэлзэл 1 ° C, хажуугийн урт нь 1 метр боржин чулуун суурь нь 5-7 микрон шугаман тэлэлт эсвэл агшилтыг үүсгэж болох бөгөөд энэ нь чипний литографийн хэв маягийг багасгахад хангалттай юм. Иймээс боржин чулууны нарийн суурьтай нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч платформ, хамгийн тохиромжтой ажлын орчны температурыг 20 ° C ± 1 ° C-д хатуу хянаж байх ёстой бөгөөд аж ахуйн нэгжүүд өндөр нарийвчлалтай тогтмол температурын агааржуулалтын системийг суурилуулж, орчны температурыг тасралтгүй хянаж, нарийн тохируулж, боржин чулуун суурийн хэмжээг хадгалж, платформын өндөр нарийвчлалтай ажиллах боломжтой.
2. чийгшил: боломжийн хяналт, үндсэн гүйцэтгэлийг хамгаалах
Мөн чийгшил нь нарийн боржин чулуун суурьт ихээхэн нөлөөлдөг. Өндөр чийгшил бүхий орчинд боржин чулуу нь усны уурыг шингээхэд хялбар бөгөөд гадаргуу дээр конденсаци үүсч болзошгүй бөгөөд энэ нь агаарын флотацийн системийн хэвийн үйл ажиллагаанд саад учруулахаас гадна боржингийн гадаргууг удаан хугацаанд элэгдэлд хүргэж, түүний нарийвчлал, ашиглалтын хугацааг бууруулдаг. Оптик линз нунтаглах цехийг жишээ болгон авч үзвэл чийгшил нь 60% RH-ээс их байвал боржин чулуун суурийн гадаргуу дээр шингэсэн усны уур нь агаарын хөвөгч хальсны жигд байдлыг алдагдуулж, линз нунтаглах нарийвчлал буурч, гадаргуугийн согог үүсгэдэг. Тиймээс ажлын орчны харьцангуй чийгшлийг 40%-60% RH-ийн хооронд хянах шаардлагатай. Аж ахуйн нэгжүүд чийгшүүлэгч, чийгшүүлэгч мэдрэгч болон бусад тоног төхөөрөмжийг ашиглан чийгшлийг бодит цаг хугацаанд хянаж, хянаж, нарийн боржин чулуун суурьт тохиромжтой чийгшлийн орчныг бүрдүүлж, нарийн статик даралттай агаарын хөвөх хөдөлгөөний платформын тогтвортой ажиллагааг хангах боломжтой.
3. цэвэр байдал: хатуу хяналт, бөөмийн хөндлөнгийн оролцоог арилгах
Тоос тоосонцор нь нарийн статик даралттай агаарын хөвөх хөдөлгөөний платформын "дайсан" бөгөөд боржингийн нарийн суурьт ихээхэн хор хөнөөл учруулдаг. Жижиг хэсгүүд нь хийн хөвөгч гулсуур ба боржин чулуун суурийн хоорондох хийн хальсны завсарт орсны дараа хийн хальсны жигд байдлыг эвдэж, үрэлтийг нэмэгдүүлж, суурийн гадаргууг зурж, тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалд ноцтой нөлөөлдөг. Сансар огторгуйн эд ангиудыг маш нарийн боловсруулах цехэд агаарт байгаа тоосны тоосонцор боржин чулуун суурь дээр унавал машин механизмын хөдөлгөөний зам хазайж, эд ангиудын боловсруулалтын нарийвчлалд нөлөөлж болно. Тиймээс ажлын талбайг маш цэвэрхэн байлгаж, 10,000 ба түүнээс дээш цэвэр байдлын стандартад хүрэх ёстой. Аж ахуйн нэгжүүд өндөр үр ашигтай агаар шүүгч (HEPA) суурилуулснаар агаар дахь тоосны тоосонцорыг шүүж, хүний авчирсан тоосжилтыг багасгах, боржин чулуун суурь, нарийн статик даралттай агаарын хөвөх хөдөлгөөний платформыг өндөр нарийвчлалтай ажиллуулахын тулд ажилчдаа тоосгүй хувцас, гутлын бүрээс зэргийг өмсөхийг шаарддаг.
4. Чичиргээ: Гөлгөр орон зайг бий болгох үр дүнтэй тусгаарлалт
Гадны чичиргээ нь нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн нарийвчлалд ноцтой саад учруулах боловч нарийн боржин чулуун суурь нь тодорхой чичиргээ багасгах чадвартай боловч өндөр бат бэхийн чичиргээ нь буферийн хязгаарыг эвдэж магадгүй юм. Үйлдвэрийн эргэн тойрон дахь хөдөлгөөн, том механик тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанаас үүсэх чичиргээ нь хөрсөөр дамжин боржин чулуун сууринд дамждаг бөгөөд энэ нь тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалд саад болно. Дээд зэрэглэлийн CMM-д чичиргээ нь хэмжилтийн датчик ба хэмжих ажлын хэсгийн хоорондох контактыг тогтворгүй болгож, хэмжилтийн өгөгдлөөс хазайхад хүргэдэг. Энэ асуудлыг шийдвэрлэхийн тулд чичиргээ тусгаарлах үр дүнтэй арга хэмжээ авах, тухайлбал, тоног төхөөрөмж суурилуулах хэсэгт чичиргээ тусгаарлах дэвсгэр тавих, чичиргээ тусгаарлах суурийг барих, эсвэл идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах системийг ашиглан гадны чичиргээг идэвхтэй саармагжуулах, боржин чулууны нарийн суурь, агаарын флюсжилтийн статик даралтын нарийвчлалын тавцангийн чимээгүй, тогтвортой ажиллах орчинг бүрдүүлэх шаардлагатай.
Нарийн статик даралтат агаарын хөвөгч хөдөлгөөний платформ дахь боржин чулуун нарийн суурийн давуу талыг бүрэн ашиглахын тулд платформ нь янз бүрийн үйлдвэрүүдэд өндөр нарийвчлалтай, өндөр тогтвортой хөдөлгөөнийг хянах үйлчилгээг үзүүлэхийн тулд дээрх байгаль орчны шаардлагыг хангана. Аж ахуйн нэгжүүд үйлдвэрлэлийн орчинд эдгээр нарийн ширийн зүйлийг анхаарч чадвал нарийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгаа болон бусад салбарт боломжийг ашиглаж, өрсөлдөх чадвараа дээшлүүлж, тогтвортой хөгжилд хүрэх болно.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 10