Боржин чулуун эд ангиуд нь гадаргуугийн өнгөлгөө, өндөр хатуулаг, чичиргээг маш сайн намсгах зэрэг маш сайн шинж чанаруудын ачаар хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст өргөн хэрэглэгддэг. Боржин чулуун эд ангиуд нь литографийн машин, өнгөлгөөний машин, хэмжилзүйн систем зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид зайлшгүй шаардлагатай байдаг тул үйлдвэрлэлийн процессын явцад нарийвчлалтай байрлал, тогтвортой байдлыг хангадаг. Боржин чулуун эд ангиудыг ашиглах бүх давуу талуудаас үл хамааран тэдгээр нь бас согогтой байдаг. Энэ нийтлэлд бид хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын бүтээгдэхүүний боржин чулуун эд ангиудын согогийг авч үзэх болно.
Нэгдүгээрт, боржин чулуун эд ангиуд нь дулааны тэлэлтийн өндөр коэффициенттэй байдаг. Энэ нь дулааны стрессийн нөлөөгөөр мэдэгдэхүйц тэлдэг гэсэн үг бөгөөд энэ нь үйлдвэрлэлийн процессын явцад асуудал үүсгэж болзошгүй юм. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесс нь өндөр нарийвчлал, хэмжээст нарийвчлал шаарддаг бөгөөд энэ нь дулааны стрессийн улмаас алдагдаж болзошгүй юм. Жишээлбэл, дулааны тэлэлтийн улмаас цахиурын хавтангийн деформаци нь литографийн явцад тэгшлэх асуудал үүсгэж, хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн чанарыг бууруулж болзошгүй юм.
Хоёрдугаарт, боржин чулуун эд ангиуд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст вакуум алдагдлыг үүсгэж болзошгүй сүвэрхэг чанарын согогтой байдаг. Системд агаар эсвэл бусад хий байгаа нь вафлийн гадаргуу дээр бохирдол үүсгэж, улмаар хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн ажиллагаанд нөлөөлж болзошгүй согог үүсгэдэг. Аргон, гелий зэрэг идэвхгүй хий нь сүвэрхэг боржин чулуун эд ангиуд руу нэвчиж, вакуум процессын бүрэн бүтэн байдалд саад учруулж болзошгүй хийн бөмбөлөг үүсгэж болзошгүй.
Гуравдугаарт, боржин чулуун эд ангиуд нь үйлдвэрлэлийн процессын нарийвчлалд саад учруулж болзошгүй бичил хугаралтай байдаг. Боржин чулуу нь хэврэг материал бөгөөд цаг хугацааны явцад, ялангуяа тогтмол стрессийн мөчлөгт өртөх үед бичил хугарал үүсч болзошгүй. Бичил хугарал байгаа нь хэмжээст тогтворгүй байдалд хүргэж, үйлдвэрлэлийн процессын явцад литографийн тэгшлэлт эсвэл вафли өнгөлөх зэрэг ноцтой асуудал үүсгэдэг.
Дөрөвдүгээрт, боржин чулуун эд ангиуд нь хязгаарлагдмал уян хатан чанартай байдаг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесс нь янз бүрийн процессын өөрчлөлтийг дасан зохицох чадвартай уян хатан тоног төхөөрөмж шаарддаг. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун эд ангиуд нь хатуу бөгөөд янз бүрийн процессын өөрчлөлтөд дасан зохицох чадваргүй байдаг. Тиймээс үйлдвэрлэлийн процесст гарсан аливаа өөрчлөлт нь боржин чулуун эд ангиудыг зайлуулах эсвэл солих шаардлагатай болж, улмаар зогсолт үүсгэж, бүтээмжид нөлөөлдөг.
Тавдугаарт, боржин чулуун эд ангиуд нь жин, эмзэг байдлаасаа шалтгаалан тусгай харьцах, тээвэрлэх шаардлагатай байдаг. Боржин чулуу нь нягт, хүнд материал бөгөөд тогоруу, өргөгч зэрэг тусгай харьцах тоног төхөөрөмж шаарддаг. Нэмж дурдахад, боржин чулуун эд ангиуд нь тээвэрлэлтийн явцад эвдрэлээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд сайтар савлах, тээвэрлэх шаардлагатай бөгөөд энэ нь нэмэлт зардал, цаг хугацаа шаарддаг.
Эцэст нь хэлэхэд, боржин чулуун эд ангиуд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын бүтээгдэхүүний чанар, бүтээмжид нөлөөлж болох зарим сул талуудтай. Эдгээр согогийг боржин чулуун эд ангиудыг болгоомжтой харьцах, засвар үйлчилгээ хийх замаар багасгах боломжтой бөгөөд үүнд бичил хагарал, сүвэрхэг байдлын согогийг үе үе шалгах, бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд зохих ёсоор цэвэрлэх, тээвэрлэлтийн явцад болгоомжтой харьцах зэрэг орно. Согогтой хэдий ч боржин чулуун эд ангиуд нь гадаргуугийн өнгөлгөө, өндөр хатуулаг, чичиргээг маш сайн бууруулдаг тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын чухал хэсэг хэвээр байна.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 5