Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өндөр эрсдэлтэй ертөнцөд бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг нанометрээр хэмжиж, үйлдвэрлэлийн хүлцэл нь микроскопын нарийвчлал шаарддаг тул эдгээр технологийн үндэс суурь нь үл үзэгдэх боловч зайлшгүй шаардлагатай болдог. ZHHIMG дээр бид өнөөгийн хамгийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн процессыг бий болгох боломжийг олгодог алдарт баатрууд болох хэт нарийвчлалтай боржин чулуун эд ангиудын урлаг, шинжлэх ухааныг сайжруулахад хэдэн арван жил зарцуулсан. Нарийн боржин чулуун шийдлийн дэлхийн тэргүүлэгч компанийн хувьд бид 3100 кг/м³ нягтралтай хар боржин чулуу маань хагас дамжуулагч литографи, хэмжилзүйн систем, дэлхий даяарх дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн платформуудад юу боломжтой байгааг хэрхэн дахин тодорхойлж байгааг хуваалцаж байгаадаа баяртай байна.
Орчин үеийн нарийвчлалын үндэс: Яагаад боржин чулуу гэж?
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид 3нм зангилааны технологитой чип үйлдвэрлэхдээ (транзисторын өргөн нь атомын хэмжээтэй ойролцоо байдаг) атомын түвшинд тогтвортой байдлыг хадгалах ёстой тоног төхөөрөмжид найддаг. Энэ бол боржин чулуун өвөрмөц шинж чанар нь орлуулшгүй болдог газар юм. Температурын хэлбэлзлээс болж тэлдэг металл хайлш эсвэл урт хугацааны хэмжээст тогтвортой байдалгүй синтетик нийлмэл материалаас ялгаатай нь манай өмчийн ZHHIMG® хар боржин чулуу нь онцгой дулааны инерци болон чичиргээг бууруулах чадварыг санал болгодог. 3100кг/м³ нягтралтай буюу Европын стандарт боржин чулуунаас (ихэвчлэн 2600-2800кг/м³) хамаагүй өндөр нягтралтай тул манай материал нь нарийн хөдөлгөөний хяналтын системд зориулсан хамгийн тогтвортой платформыг бүрдүүлдэг.
Хэт ягаан туяаны (EUV) литографийн бэрхшээлийг авч үзье. Оптик системүүд хэдэн цагийн турш ажиллах хугацаанд нанометрээс доогуур уялдаа холбоог хадгалах ёстой. Эдгээр системийг дэмжиж буй боржин чулуун суурь нь үйлдвэрийн тоног төхөөрөмж эсвэл хүрээлэн буй орчны өөрчлөлтөөс үүдэлтэй микроскопийн чичиргээг ч эсэргүүцэх ёстой. Үндэсний Физик Лаборатори (Их Британи)-тай хийсэн харьцуулсан туршилтаар манай материалын дотоод чийгшүүлэх коэффициент нь гангаас 10-15 дахин их чичиргээний энергийг шингээдэг. Энэхүү гүйцэтгэлийн ялгаа нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өндөр ургац, бага согогийн түвшинтэй шууд холбоотой бөгөөд энэ нь нэг секундын зогсолт хэдэн мянган долларын өртөгтэй байж болох салбарт чухал давуу тал юм.
Инженерийн шилдэг байдал: Ил уурхайгаас квант үсрэлт хүртэл
Бидний нарийвчлалд тавих үүрэг эх үүсвэрээс эхэлдэг. Бид нэгэн төрлийн талст бүтэц, эрдэс бодисын хамгийн бага хэлбэлзлээр сонгогдсон дээд зэрэглэлийн боржин чулуун ордуудад онцгой эрхтэй. Блок бүр нь Жинань хотын ойролцоох 200,000м² үйлдвэрлэлийн цогцолбор руу орохоосоо өмнө зургаан сарын турш байгалийн амталгаа хийдэг бөгөөд энэ нь дэлхий даяар түгээх зорилгоор Чиндао боомт руу шууд нэвтрэх боломжтой стратегийн байршилтай. Бидний үйлдвэрлэлийн чадавхи хосгүй: Тайванийн дөрвөн Нан Тэх нунтаглах машин (тус бүр нь 500,000 ам.долларын хөрөнгө оруулалтаас давсан)-тайгаар бид 100 тонн хүртэл жинтэй, 20м урттай дан эд ангиудыг боловсруулах боломжтой бөгөөд энэ нь саяхан бидэнд тэргүүлэгч EUV тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчийн дараагийн үеийн системийн захиалгат үе шатуудыг нийлүүлэх боломжийг олгосон хүчин чадал юм.
Манай үйл ажиллагааны гол цөм нь 10,000м² талбай бүхий тогтмол температур, чийгшлийн байгууламжид оршдог бөгөөд хүрээлэн буй орчны бүх хувьсагчийг нарийн хянадаг. Үйлдвэрлэлийн талбайг тойрсон 500мм өргөн чичиргээ тусгаарлах шуудуутай 1000мм зузаантай хэт хатуу бетон шал нь температурын хэлбэлзлийг ±0.5°C дотор байлгадаг тогтвортой орчныг бүрдүүлдэг. Энэхүү түвшний байгаль орчны хяналт нь 6000мм урттай 0.5μм-ээс доош тэгш байдлын хүлцэлтэй боржин чулуун гадаргуугийн хавтанг үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд эдгээр үзүүлэлтүүдийг манай Renishaw лазер интерферометр болон Mahr нарийвчлалын хэмжигч ашиглан баталгаажуулсан бөгөөд бүгдийг нь үндэсний хэмжилзүйн хүрээлэнгийн стандартад тохируулсан болно.
Салбарын стандартыг тогтоох нь: Гэрчилгээ ба чанарын үүрэг амлалт
ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 болон CE гэрчилгээг нэгэн зэрэг эзэмшдэг цорын ганц нарийн боржин чулуу үйлдвэрлэгчийн хувьд бид салбарыг тодорхойлох чанарын жишиг тогтоожээ. Манай чанарын бодлого болох "Нарийвчлалын бизнес хэт өндөр шаардлага тавьж болохгүй" нь түүхий эдийн үзлэгээс эхлээд эцсийн гэрчилгээ хүртэлх үйл ажиллагааныхаа бүхий л талыг удирдан чиглүүлдэг. Бид Германы Махр микрометр (0.5μm нягтралтай), Митутоё профилометр, Швейцарийн WYLER электрон түвшинг багтаасан хэмжилзүйн туршилтын системээрээ онцгой бахархдаг бөгөөд эдгээр нь бүгд Хятадын Үндэсний Хэмжилзүйн Хүрээлэнд мөрдөгдөж, Физикалищ-Техникийн Бундесанштальт (Герман) болон Үндэсний Стандарт, Технологийн Хүрээлэн (АНУ)-тай хамтран олон улсын харьцуулалтын хөтөлбөрөөр тогтмол аудит хийдэг.
Энэхүү буултгүй арга барил нь бидэнд GE, Samsung, ASML нийлүүлэгчид зэрэг салбарын тэргүүлэгч компаниудтай түншлэл тогтоох боломжийг олгосон. Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн томоохон үйлдвэрлэгч компани 300 мм-ийн вафлийн шалгалтын системдээ зориулж боржин чулуун агаарын холхивчийн шатыг захиалгаар хийх шаардлагатай болсон үед бид сар бүр 20,000 нарийн ортой угсралт үйлдвэрлэх чадвараараа үйлдвэрлэлийн хугацаагаа хангаж чадсан. Үүнтэй адилаар, Сингапурын Наньян Технологийн Их Сургуультай нүүрстөрөгчийн шилэн хүчитгэсэн боржин чулуун композит материалын чиглэлээр хамтран ажилласнаар дараагийн үеийн хэмжилзүйн системд зориулсан хөнгөн нарийвчлалтай бүтцийн хил хязгаарыг тэлж байна.
Үйлдвэрлэлээс гадна: Хэмжилтийн шинжлэх ухааныг хөгжүүлэх нь
ZHHIMG дээр бид "хэрэв та хэмжиж чадахгүй бол та үүнийг хийж чадахгүй" гэсэн философийг баримталдаг. Энэхүү итгэл үнэмшил нь биднийг Стокгольмын Их Сургуулийн Нарийвчлалын Инженерийн Лаборатори, Хятадын Чанчунь Оптикийн Институт зэрэг байгууллагуудтай хийсэн судалгааны түншлэлийг бий болгодог. Бид хамтдаа уламжлалт хүрэлцэхүйн зондлолтоос гадна том хэмжээний боржин чулуун эд ангиудын дотоод стрессийн шинжилгээнд зориулсан оптик интерферометр болон компьютер томографи зэрэг шинэ хэмжилтийн арга зүйг боловсруулж байна. Дотоод талст бүтцийг зураглахад хэт авианы шинжилгээг ашиглах чиглэлээр хийсэн бидний саяхны нээлт нь материалын татгалзах түвшинг 37%-иар бууруулж, урт хугацааны тогтвортой байдлын таамаглалыг сайжруулсан.
Хэмжилтийн шинжлэх ухааныг хөгжүүлэх бидний тууштай байдал нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн эд анги угсрахад тусгайлан зориулсан 100 зэрэглэлийн цэвэр өрөөний орчинтой хамгийн сүүлийн үеийн хэмжилзүйн лабораторид тусгагдсан байдаг. Энд бид боржин чулуун сууриуд бодит ажиллагааны нөхцөлд нанометрийн түвшний нарийвчлалаа хадгалахын тулд үйлчлүүлэгчдийнхээ үйлдвэрлэлийн орчныг дуурайдаг. Энэхүү түвшний үүрэг амлалт нь биднийг НАСА-гийн тийрэлтэт хөдөлгүүрийн лабораториос эхлээд алдааг зассан кубит системийг хөгжүүлдэг тэргүүлэх квант тооцооллын стартапууд хүртэлх байгууллагуудын найдвартай түнш болгосон.
Ирээдүйг бүтээх нь: Тогтвортой байдал ба инноваци
Нарийн үйлдвэрлэл хөгжихийн хэрээр тогтвортой үйлдвэрлэлд хандах хандлага маань ч мөн адил өөрчлөгдөж байна. Манай ISO 14001 гэрчилгээ нь бидний хариуцлагатай нөөцийн менежментэд тууштай хандах амлалтыг тусгасан бөгөөд үүнд нунтаглах хөргөлтийн шингэний 95%-ийг барьж, боловсруулдаг усыг дахин боловсруулах систем, цахилгааны хэрэгцээний 28%-ийг нөхдөг нарны эрчим хүчний суурилуулалт багтдаг. Мөн бид уламжлалт боловсруулалтын аргуудтай харьцуулахад материалын хаягдлыг 40%-иар бууруулдаг алмазан утсан хөрөөний тусгай техникүүдийг боловсруулсан бөгөөд энэ нь түүхий эдийн өртөг нь үйлдвэрлэлийн зардлын 35% хүртэл хувийг эзэлдэг салбарт томоохон дэвшил юм.
Ирээдүйд манай судалгаа, хөгжүүлэлтийн баг гурван өөрчлөлтийн чиглэлд анхаарлаа хандуулж байна: бодит цагийн эрүүл мэндийн хяналтыг хангахын тулд мэдрэгчийн сүлжээг боржин чулуун бүтэцтэй шууд нэгтгэх, хатуулаг-жингийн харьцааг оновчтой болгодог градиент нягтралын нийлмэл материалыг боловсруулах, үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид зориулсан хиймэл оюун ухаанд суурилсан урьдчилан таамаглах засвар үйлчилгээний системийг анхлан хөгжүүлэх. Эдгээр шинэчлэлүүд нь 20 гаруй олон улсын патентын өв уламжлал дээр үндэслэсэн бөгөөд 2nm болон түүнээс дээш технологийн процесс зэрэг дараагийн үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийг дэмжих боломжийг бидэнд олгож байна.
Нарийвчлал нь боломжийг тодорхойлдог салбарт ZHHIMG нь хэт нарийвчлалтай боржин чулуун эд ангиудын стандартыг тогтоосоор байна. Материалын шинжлэх ухааны туршлага, үйлдвэрлэлийн цар хүрээ (сард 20,000 нэгж), чанарын хяналтын тууштай хослол нь биднийг дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн хил хязгаарыг туулж буй компаниудын сонгосон түнш болгосон. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид жижиг зангилаа, өндөр нягтрал, илүү нарийн төвөгтэй 3D архитектурын бэрхшээлтэй тулгарч байгаа тул тэд ирээдүйн технологийн тогтвортой суурийг тавихын тулд ZHHIMG-ийн нарийвчлалтай боржин чулуун шийдлүүдэд найдаж болно.
For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 10-р сарын 31