Дэлхийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл одоогоор транзисторын хэмжээсийг хэдхэн атомын өргөнөөр хэмждэг "Ангстромын эрин"-ийг тасралтгүй эрэлхийлж байна. Литографи болон хяналтын хэрэгслүүд эдгээр микроскопийн хэмжээс рүү шилжихийн хэрээр бүтцийн тогтвортой байдлын эрэлт хэрэгцээ "макро"-оос "нано" руу шилжсэн. Энэхүү хувьсгалын гол цөмд Дэлхий шиг эртний материал болох Нарийвчлалтай Боржин чулуу оршдог.
Олон хүн боржин чулууг энгийн чулуу гэж үздэг ч гэсэн ...нано байршлын үе шатэсвэл өндөр хурдны ваферын шалгалтын систем бол нарийн инженерийн керамик юм. Үндсэн хэмжилзүйн хэрэгслүүд болон дэвшилтэт хөдөлгөөнт платформуудын хоорондох ялгааг ойлгох нь цахиурын үйлдвэрлэлд боломжтой зүйлсийн хил хязгаарыг тэлэхийг эрмэлздэг OEM үйлдвэрлэгчдийн хувьд чухал юм.
Боржин чулуун CMM ба Боржин чулуун гадаргуугийн хавтан: Инженерийн өөрчлөлтийг ойлгох нь
Чанарын хяналтын олон лабораторид,Боржин чулуун гадаргуугийн хавтаннь хаа сайгүй хэрэглэгддэг бэхэлгээ бөгөөд гараар хэмжих найдвартай, хавтгай лавлагаа юм. Гэсэн хэдий ч гадаргуугийн хавтан болон боржин чулуун CMM (координат хэмжих машин) суурь нь хоорондоо солигддог гэсэн нийтлэг буруу ойлголт байдаг. Инженерийн үүднээс авч үзвэл эдгээр нь хоёр өөр түвшний нарийн төвөгтэй байдлыг илэрхийлдэг.
Гадаргуугийн хавтан нь статик тогтвортой байдалд зориулагдсан. Үүний үндсэн ажил бол хөдөлгөөнгүй ачааллын дор тэгш байх явдал юм. Үүний эсрэгээр, CMM эсвэл нарийн шатны боржин чулуун суурь нь динамик ачааллыг тэсвэрлэх ёстой. CMM-ийн гүүр хөдлөх эсвэл шугаман мотор нь вафер шатыг хэд хэдэн Gs-ээр хурдасгах үед боржин чулуу нь зөвхөн нугалахад төдийгүй мушгиралт болон гармоник резонансыг тэсвэрлэх ёстой.
ZHHIMG-ийн инженерүүд өндөр нягтралтай, нарийн ширхэгтэй бүтэцтэй тул динамик хэрэглээнд зориулж "Хар боржин чулуу"-г тусгайлан сонгодог. Стандарт гадаргуугийн хавтан нь илүү сүвэрхэг төрлийг ашиглаж болох ч CMM суурь нь өндөр хурдны хөдөлгөөний "товчлол" нь хэмжилтийн өгөгдлийг гажуудуулах бүтцийн дуугаралтад хүргэхгүй байхын тулд аль болох өндөр Янгийн модулийг шаарддаг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийвчлалын үе шатууд: Гарцын үндэс
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд дамжуулах чадвар болон гарц нь хамгийн чухал хоёр үзүүлэлт юм. Хоёулаа гүйцэтгэлээс шууд хамаардагнарийвчлалын үе шатуудDUV/EUV литографийн машины ваферын үе шат эсвэл Автоматжуулсан Оптик Үзлэг (AOI) хэрэгслийн байрлал тогтоох систем эсэхээс үл хамааран үндсэн материал нь нанометрээс доогуур давтагдах чадварыг хангах ёстой.
Үйлдвэрийн гол бэрхшээл бол дулаан юм. Шугаман мотор болон идэвхжүүлэгч нь ихээхэн хэмжээний дулааны энерги үүсгэдэг. Хэрэв тайзны суурь нь хөнгөн цагаан эсвэл гангаар хийгдсэн бол үүссэн дулааны тэлэлт нь хавтангийн байрлалыг алдагдуулж, улмаар чипний бүхэл бүтэн багцыг сүйтгэдэг "давхаргын алдаа"-д хүргэдэг.
Гранитын маш бага дулааны тэлэлтийн коэффициент (CTE) нь мотор халсан ч гэсэн шатны физик "зураглал" тогтмол хэвээр байхыг баталгаажуулдаг. Цаашилбал, ZHHIMG нь нэгдсэн агаарын тулгууртай боржин чулуун эд ангиудыг захиалгаар хийдэг. Боржин чулууг толин тусгал шиг хавтгай болтол нь бүрж болох тул энэ нь агаарын тулгуурын төгс эсрэг тал болж, шатыг нимгэн агаарын хальсан дээр тэг үрэлт болон тэг наалдацтай "хөвөх" боломжийг олгодог.
Нано байрлал тогтоох үе шатны суурийн физик
Бид хаант улсад ороходнано байршлын үе шат, бид хүний үснээс 10,000 дахин жижиг хөдөлгөөнтэй харьцаж байна. Энэ түвшинд чичиргээ бол дайсан юм. Стандарт үйлдвэрлэлийн шал нь HVAC систем, явган хүний хөдөлгөөн болон ойролцоох машин механизмаас болж байнга чичирдэг.
Боржин чулуу нь асар том нам давтамжийн шүүлтүүрийн үүрэг гүйцэтгэдэг. Өндөр масстай, өндөр дотоод чийгшүүлэгчтэй тул мэдрэмтгий мэдрэгч эсвэл ваферт хүрэхээсээ өмнө өндөр давтамжийн чичиргээг байгалийн жамаар шингээдэг. Энэхүү "идэвхгүй тусгаарлалт" нь дэлхийн тэргүүлэгч литографийн ханган нийлүүлэгчид вакуумтай нийцтэй үе шатуудынхаа хүнд, тогтвортой суурийг хангахын тулд ZHHIMG-д найддаг шалтгаан юм. Манай боржин чулууг электрон цацраг болон EUV процесст шаардлагатай өндөр вакуум орчинд тохиромжтой болгохын тулд тусгайлан боловсруулсан.
Хязгаарыг давж гарах нь: ZHHIMG-ийн давуу тал
Түүхий чулуун блокоос хагас дамжуулагч зэрэглэлийн эд анги руу шилжих нь туйлын тэвчээр шаарддаг аялал юм. CNC нунтаглалт нь биднийг ойртуулдаг бол эцсийн "Супер нарийвчлал" зэрэглэлийг гараар өнгөлөх замаар олж авдаг. Энэ бол ZHHIMG-ийн техникчид зүлгүүрийн зуурмаг болон гарын хөдөлгөөн ашиглан микроны фракцуудыг нэг дор хусдаг үйл явц юм.
Нэгнано байршлын үе шат, тэгш байдал нь цорын ганц шаардлага биш; чиглүүлэгч гадаргуугийн параллелизм ба перпендикуляр байдал нь адилхан чухал юм. Манай байгууламж нь тэнхлэг бүр төгс уялдсан эсэхийг шалгахын тулд 0.1 нуман секундын нарийвчлалтай лазер трекер болон электрон түвшинг ашигладаг. Энэхүү түвшний ур чадвар нь үйлчлүүлэгч шугаман мотор болон кодлогчоо суурилуулах үед механик суурь нь физикийн боломжит хамгийн "төгс" түвшинд ойр байхыг баталгаажуулдаг.
Fab-г ирээдүйд зориулах нь
Аж үйлдвэр 2нм зангилаа болон түүнээс цааш шилжих тусам материалын цэвэр байдал болон хэмжээст тогтвортой байдлын шаардлага улам бүр нэмэгдэх болно. Боржин чулууг нүүрстөрөгчийн шилэн гүүр эсвэл керамик вакуум патрон гэх мэт бусад дэвшилтэт материалуудтай нэгтгэх нь хөдөлгөөний хяналтын дараагийн хил хязгаар юм.
ZHHIMG нь зөвхөн нийлүүлэгчээс илүү байхын төлөө тууштай хэвээр байна; бид дэлхийн хагас дамжуулагч хангамжийн сүлжээнд хамтран ажилладаг түнш юм. Дараагийн үеийн нарийвчлалтай үе шатуудад шаардлагатай хэт тогтвортой суурийг бий болгосноор бид ирээдүйг бүтээх машинуудыг бүтээхэд тусалж байна.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 2-р сарын 2