Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл: Чип үйлдвэрлэх явцад фотолитографийн үйл явц нь хэлхээний хэв маягийг вафер руу яг нарийн шилжүүлэх шаардлагатай. Нэг тэнхлэгт агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн боржин суурь нь литографийн төхөөрөмж дэх вафель хүснэгтийг өндөр нарийвчлалтай байрлуулах, тогтвортой дэмжлэг үзүүлэх боломжтой. Жишээлбэл, ASML болон бусад олон улсад нэр хүндтэй литографийн машин үйлдвэрлэгчид дээд зэрэглэлийн тоног төхөөрөмждөө боржин чулуун суурьтай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт модулиудыг ашигладаг бөгөөд энэ нь литографийн хэв маягийн нарийвчлалыг баталгаажуулахын тулд нанометрийн түвшинд өргүүрийн байршлын нарийвчлалыг хянах боломжтой бөгөөд ингэснээр чипний интеграцчлал, гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
Нарийвчилсан хэмжилтийн талбар: CMM нь үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг нарийн хэмжилтийн төхөөрөмж бөгөөд ажлын хэсгийн хэмжээ, хэлбэр, байрлалын нарийвчлалыг хэмжихэд ашигладаг. Боржин чулуун суурь дээрх нэг тэнхлэгт агаарын хөвөх хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийг CMM-ийн хөдөлгөөний платформ болгон ашиглаж болох бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай шугаман хөдөлгөөнийг хийж, хэмжих датчикийн тогтвортой хөдөлгөөний траекторийг хангах боломжтой. Жишээлбэл, Hexagon-ийн дээд зэрэглэлийн CMM нь энэ хослолыг ашиглан том, нарийн төвөгтэй эд ангиудыг микроны түвшинд хэмжих нарийвчлалтайгаар хэмжиж, автомашин, сансар огторгуй болон бусад салбарт эд ангиудын чанарыг хянах хүчтэй баталгаа болдог.
Сансрын талбай: Сансрын эд ангиудыг боловсруулах, туршихад өндөр нарийвчлал шаардагдана. Жишээлбэл, онгоцны хөдөлгүүрийн ирийг боловсруулахад хутганы профайлын нарийвчлалыг хангахын тулд багажийн хөдөлгөөний траекторийг нарийн хянах шаардлагатай. Нэг тэнхлэгт агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн боржин чулуун суурийг таван тэнхлэгт боловсруулах төв болон бусад тоног төхөөрөмжид хэрэглэж, багажны хөдөлгөөнийг өндөр нарийвчлалтай хянах боломжтой бөгөөд ирний боловсруулалтын нарийвчлал нь дизайны шаардлагыг хангаж чадна. Үүний зэрэгцээ, аэро хөдөлгүүрийг угсрах явцад эд ангиудын угсралтын нарийвчлалыг илрүүлэхийн тулд өндөр нарийвчлалтай хэмжих хэрэгслийг ашиглах шаардлагатай. Боржингийн суурийн агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модуль нь угсралтын чанарыг баталгаажуулахын тулд хэмжих хэрэгслийн тогтвортой дэмжлэг, үнэн зөв хөдөлгөөнийг хангаж чадна.
Оптик хяналтын талбар: Оптик эд ангиудыг үйлдвэрлэх, турших явцад оптик эд ангиудыг өндөр нарийвчлалтай байршуулах, хэмжих шаардлагатай. Жишээлбэл, толин тусгал, линз зэрэг өндөр нарийвчлалтай оптик эд ангиудыг үйлдвэрлэхдээ гадаргуугийн хэлбэрийн нарийвчлалыг илрүүлэхийн тулд интерферометр болон бусад төхөөрөмжийг ашиглах шаардлагатай байдаг. Нэг тэнхлэгт агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн боржин чулуун суурийг интерферометрийн хөдөлгөөний платформ болгон ашиглаж болох бөгөөд энэ нь дэд микроны байршлын нарийвчлалыг мэдэрч, оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг илрүүлэхэд үнэн зөв мэдээллийн дэмжлэг үзүүлэх боломжтой. Нэмж дурдахад, лазер боловсруулах төхөөрөмжид лазер туяаны сканнерын замыг хянахын тулд өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнт платформ ашиглах шаардлагатай бөгөөд агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модулийн боржин чулуун суурь нь энэ шаардлагыг хангаж, лазер боловсруулалтыг өндөр нарийвчлалтай хийх боломжтой.
Шуудангийн цаг: 2025-04-07