Вафер боловсруулах төхөөрөмжийг микроэлектроник болон хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг. Энэ төрлийн тоног төхөөрөмж нь боржин чулуун эд анги зэрэг хэд хэдэн бүрэлдэхүүн хэсгийг агуулдаг. Боржин чулуу нь механик тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл, хэмжээст тогтвортой байдлаасаа шалтгаалан хагас дамжуулагч боловсруулах тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашиглагдаж ирсэн олон талын хэрэглээтэй материал юм. Энэ нийтлэлд вафер боловсруулах тоног төхөөрөмжид боржин чулуун эд ангиудыг ашиглахын давуу болон сул талуудыг авч үзэх болно.
Давуу талууд:
1. Механик тогтвортой байдал: Боржин чулуун эд ангиуд нь маш тогтвортой, ялангуяа өндөр температурт байдаг. Энэ нь тэдгээрийг өндөр температурт ажилладаг вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжид ашиглахад тохиромжтой болгодог. Боржин чулуун эд ангиуд нь хүнд ачаалал, чичиргээ, дулааны цочролыг деформацигүйгээр тэсвэрлэх чадвартай тул өндөр нарийвчлал, нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
2. Химийн эсэргүүцэл: Боржин чулуу нь хүчил, суурь, уусгагч зэрэг вафли боловсруулахад түгээмэл хэрэглэгддэг ихэнх химийн бодисуудад тэсвэртэй байдаг. Энэ нь вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжид тоног төхөөрөмжийн эд ангиудыг гэмтээхгүйгээр зэврэлттэй бодисуудтай харьцах боломжийг олгодог.
3. Хэмжээст тогтвортой байдал: Боржин чулуун эд ангиуд нь өндөр хэмжээст тогтвортой байдалтай байдаг бөгөөд энэ нь температур, чийгшил зэрэг хүрээлэн буй орчны өөрчлөлтөөс үл хамааран хэлбэр, хэмжээгээ хадгалдаг гэсэн үг юм. Энэ нь боловсруулалтын өндөр түвшний нарийвчлалыг хадгалах ёстой вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжийн хувьд маш чухал юм.
4. Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: Боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй тул температурын хэлбэлзэлд өртөхөд мэдэгдэхүйц тэлэх эсвэл агшихгүй. Энэ нь өндөр температурт өртдөг вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжид төгс тохирно.
5. Урт хугацааны эдэлгээ: Боржин чулуу нь бат бөх материал бөгөөд хатуу ширүүн орчинд ч олон жил үйлчлэх боломжтой. Энэ нь тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ, солих зардлыг бууруулж, үйлдвэрлэгчдэд өндөр чанартай вафли үйлдвэрлэх боломжийг олгодог.
Сул талууд:
1. Өндөр өртөг: Боржин чулуун эд ангиуд нь ган эсвэл хөнгөн цагаан гэх мэт вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжид ашигладаг бусад материалаас илүү үнэтэй байдаг. Боржин чулуун эд ангиудын өндөр өртөг нь вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжийн нийт өртгийг нэмэгдүүлж, жижиг бизнес эрхлэгчид болон стартапуудад хүртээмжгүй болгодог.
2. Хүнд жин: Боржин чулуу нь нягт материал бөгөөд түүний бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь ялтас боловсруулах тоног төхөөрөмжид ашигладаг бусад материалаас хүнд байдаг. Энэ нь тоног төхөөрөмжийг илүү овор хэмжээтэй, зөөхөд хэцүү болгодог.
3. Засварлахад хэцүү: Боржин чулуун эд ангиудыг засахад хэцүү бөгөөд гэмтсэн тохиолдолд солих нь ихэвчлэн цорын ганц сонголт байдаг. Энэ нь засвар үйлчилгээний нэмэлт зардлыг нэмэгдүүлж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
4. Хэврэг: Боржин чулуун эд анги нь механик тогтвортой хэдий ч хэт ачаалал эсвэл цохилтод өртөх үед хагарч гэмтэх магадлалтай. Тоног төхөөрөмжийн нарийн хэсгүүдэд хохирол учруулж болзошгүй эвдрэлээс зайлсхийхийн тулд болгоомжтой харьцаж, боловсруулалт хийхийг шаарддаг.
Дүгнэж хэлэхэд, вафли боловсруулах тоног төхөөрөмжид боржин чулуун эд ангиудыг ашиглахын давуу тал нь сул талуудаасаа илүү юм. Зарим сул талууд байдаг ч боржин чулуун эд ангиудын механик тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцэл, хэмжээст тогтвортой байдал нь үүнийг өндөр чанартай микроэлектроник болон хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд үнэ цэнэтэй материал болгодог. Боржин чулуун эд ангиудад хөрөнгө оруулснаар үйлдвэрлэгчид вафли боловсруулах тоног төхөөрөмждөө илүү үр ашиг, нарийвчлал, урт хугацааны ашиглалтыг бий болгож чадна.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 1-р сарын 2