.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт вафель шалгалт нь чипийн чанар, гүйцэтгэлийг хангах гол холбоос бөгөөд хяналтын хүснэгтийн нарийвчлал, тогтвортой байдал нь илрүүлэх үр дүнд шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Өвөрмөц шинж чанар бүхий боржин чулуун суурь нь танд зориулсан олон хэмжээст дүн шинжилгээ хийх боломжтой хагас дамжуулагч хавтангийн хяналтын ширээний хамгийн тохиромжтой сонголт болно. .
Нэгдүгээрт, нарийвчлалын баталгаа хэмжээ
1. Хэт өндөр тэгш, шулуун байдал: Боржингийн суурийг дэвшилтэт технологийн аргаар боловсруулсан бөгөөд тэгш байдал нь ± 0.001мм / м эсвэл бүр өндөр нарийвчлалтай, шулуун нь маш сайн. Өргөст хавтанг шалгах явцад өндөр нарийвчлалтай онгоц нь хавтанцарыг тогтвортой дэмжиж, хяналтын төхөөрөмжийн датчик ба гагнуурын үений хоорондох нарийн холболтыг баталгаажуулдаг. .
2. Дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент: хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь температурын өөрчлөлтөд мэдрэмтгий байдаг ба боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага буюу ихэвчлэн 5×10⁻⁶/℃ орчим байдаг. Илрүүлэх платформ ажиллаж байх үед орчны температурын хэлбэлзэлтэй байсан ч боржингийн суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Жишээлбэл, зуны улиралд өндөр температурт ажилладаг цехэд нийтлэг металлын суурь илрүүлэх тавцангийн температур нь ялтсын харьцангуй байрлал болон илрүүлэх төхөөрөмжийн шилжилтийг үүсгэж, илрүүлэх нарийвчлалд нөлөөлдөг; Боржингийн суурь илрүүлэх платформ нь тогтвортой байдлыг хадгалж, илрүүлэх процессын явцад ялтс болон илрүүлэх төхөөрөмжийн харьцангуй байрлалын нарийвчлалыг баталгаажуулж, өндөр нарийвчлалтай илрүүлэх тогтвортой орчинг бүрдүүлдэг. .
Хоёрдугаарт, тогтвортой байдлын хэмжүүр
1. Тогтвортой бүтэц, чичиргээний эсэргүүцэл: Олон сая жилийн геологийн процессын дараа боржин чулуу, дотоод бүтэц нь нягт, жигд байна. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрийн нарийн төвөгтэй орчинд захын тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагаа болон эргэн тойронд алхаж буй ажилтнуудын үйл ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээг боржин чулуун суурь нь үр дүнтэйгээр сулруулдаг. .
2. Урт хугацааны ашиглалтын нарийвчлал: бусад материалтай харьцуулахад боржин чулуу нь өндөр хатуулагтай, элэгдэлд тэсвэртэй, Mohs хатуулаг нь 6-7 хүрч чаддаг. Боржингийн суурийн гадаргуу нь өрөмийг байнга ачих, буулгах, шалгах явцад амархан элэгддэггүй. Мэдээллийн статистикийн бодит хэрэглээнээс харахад боржин чулуун суурийн туршилтын хүснэгтийг ашиглах, 5000 цагийн дараа тасралтгүй ажиллах, тэгш байдал, тэгш байдлын нарийвчлалыг анхны нарийвчлалын 98% -иас дээш байлгах, тогтмол шалгалт тохируулга, засвар үйлчилгээний хугацаанаас шалтгаалсан суурийн элэгдлээс шалтгаалсан тоног төхөөрөмжийг бууруулж, бизнесийн үйл ажиллагааны зардлыг бууруулж, туршилтын ажлын урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангах боломжтой. .
Гуравдугаарт, цэвэр, хөндлөнгийн оролцооны эсрэг хэмжээс
1. Тоосжилт багатай: Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн орчин нь маш цэвэрхэн байх шаардлагатай бөгөөд боржин чулуу нь өөрөө тогтвортой бөгөөд тоосны тоосонцор үүсгэхэд хялбар биш юм. Туршилтын платформыг ажиллуулах явцад суурийн үүсгэсэн тоос нь ялтсыг бохирдуулахаас сэргийлж, тоосны тоосонцороос үүсэх богино холболт, задгай холболт үүсэх эрсдэлийг бууруулдаг. Тоосгүй цехийн вафель шалгах хэсэгт боржин чулуун суурийн хяналтын ширээний эргэн тойрон дахь тоосны концентрацийг үргэлж маш бага түвшинд хянаж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хатуу цэвэр байдлын шаардлагыг хангадаг. .
2. Соронзон хөндлөнгийн оролцоогүй: илрүүлэх төхөөрөмж нь цахилгаан соронзон орчинд мэдрэмтгий, боржин чулуу нь соронзон бус материал бөгөөд илрүүлэх төхөөрөмжийн электрон дохионд саад болохгүй. Маш өндөр цахилгаан соронзон орчин шаарддаг электрон цацраг илрүүлэх болон бусад туршилтын технологийг ашиглахад боржин суурь нь илрүүлэх төхөөрөмжийн цахим дохиог тогтвортой дамжуулж, туршилтын үр дүнгийн нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Жишээлбэл, хавтанцарыг өндөр нарийвчлалтай цахилгааны гүйцэтгэлд туршиж үзэхэд соронзон бус боржин суурь нь илрүүлэх гүйдэл ба хүчдэлийн дохионд хөндлөнгөөс оролцохоос зайлсхийж, илрүүлэлтийн өгөгдөл нь вафрайны цахилгаан шинж чанарыг жинхэнэ утгаар нь тусгадаг.
Шуудангийн цаг: 2025-03-31