Хагас дамжуулагчийн салбарт вафлийн үзлэг нь чипийн чанар, гүйцэтгэлийг хангах гол холбоос бөгөөд үзлэгийн хүснэгтийн нарийвчлал, тогтвортой байдал нь илрүүлэлтийн үр дүнд шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Өвөрмөц шинж чанартай боржин чулуун суурь нь хагас дамжуулагч вафлийн үзлэгийн хүснэгтийн хамгийн тохиромжтой сонголт болж, олон хэмжээст шинжилгээнээс танд дараах зүйлсийг авчирна.
Нэгдүгээрт, нарийвчлалын баталгааны хэмжээс
1. Хэт өндөр тэгш ба шулуун байдал: Боржин чулуун суурийг дэвшилтэт боловсруулалтын технологиор боловсруулсан бөгөөд тэгш байдал нь ±0.001мм/м буюу түүнээс дээш нарийвчлалтай хүрч чаддаг бөгөөд шулуун байдал нь маш сайн байдаг. Вафлийн үзлэгийн процесст өндөр нарийвчлалтай хавтгай нь вафлийг тогтвортой дэмжиж, үзлэгийн төхөөрөмжийн датчик болон вафлийн гадаргуу дээрх гагнуурын холболтын хооронд нарийн холбоо барихыг баталгаажуулдаг.
2. Дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент: хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл нь температурын өөрчлөлтөд мэдрэмтгий бөгөөд боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага, ихэвчлэн 5×10⁻⁶/℃ орчим байдаг. Илрүүлэх тавцан ажиллаж байх үед орчны температур хэлбэлзэж байсан ч боржин чулуун суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Жишээлбэл, зуны улиралд өндөр температурын цехэд нийтлэг металл суурийн илрүүлэх тавцангийн температур нь ялтас болон илрүүлэх төхөөрөмжийн харьцангуй байрлалыг өөрчлөхөд хүргэж, илрүүлэх нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй; Боржин чулуун суурийн илрүүлэх тавцан нь тогтвортой байдлыг хадгалж, илрүүлэх явцад ялтас болон илрүүлэх төхөөрөмжийн харьцангуй байрлалын нарийвчлалыг хангаж, өндөр нарийвчлалтай илрүүлэх тогтвортой орчныг бүрдүүлж чаддаг.
Хоёрдугаарт, тогтвортой байдлын хэмжээс
1. Тогтвортой бүтэц ба чичиргээнд тэсвэртэй байдал: Сая сая жилийн геологийн процессын дараа боржин чулуу нь дотоод бүтэц нь нягт, жигд байдаг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрийн нарийн төвөгтэй орчинд захын тоног төхөөрөмж болон ажилчдын ажиллаж байгаагаас үүссэн чичиргээг боржин чулуун суурь үр дүнтэйгээр сулруулдаг.
2. Урт хугацааны ашиглалтын нарийвчлал: бусад материалтай харьцуулахад боржин чулуу нь өндөр хатуулагтай, элэгдэлд тэсвэртэй, Мохсын хатуулаг нь 6-7 хүрч чаддаг. Боржин чулуун суурь гадаргуу нь вафли ачих, буулгах, шалгах үйл ажиллагааны үед амархан элэгддэггүй. Бодит статистикийн өгөгдлийн хэрэглээнээс харахад боржин чулуун суурь туршилтын хүснэгтийг ашиглан 5000 цагийн дараа тасралтгүй ажиллаж, тэгш байдал, шулуун байдлын нарийвчлалыг анхны нарийвчлалын 98%-иас дээш түвшинд байлгаж, тогтмол тохируулга, засвар үйлчилгээний хугацаанаас үүдэлтэй суурь элэгдлийг бууруулж, бизнесийн үйл ажиллагааны зардлыг бууруулж, туршилтын ажлын урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангадаг.
Гуравдугаарт, цэвэрхэн ба хөндлөнгийн оролцооны эсрэг хэмжээс
1. Тоосжилт багатай: хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчин нь маш цэвэрхэн байх шаардлагатай бөгөөд боржин чулуун материал нь өөрөө тогтвортой бөгөөд тоосны тоосонцор үүсгэхэд хялбар биш юм. Туршилтын тавцангийн ажиллагааны явцад суурийн үүсгэсэн тоос нь хавтанг бохирдуулахаас зайлсхийж, тоосны тоосонцроос үүдэлтэй богино холболт, задралын эрсдэлийг бууруулдаг. Тоосгүй цехийн хавтангийн үзлэгийн хэсэгт боржин чулуун суурийн үзлэгийн ширээний эргэн тойрон дахь тоосны концентрацийг үргэлж маш бага түвшинд хянаж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу цэвэр байдлын шаардлагыг хангадаг.
2. Соронзон хөндлөнгийн оролцоогүй: илрүүлэх төхөөрөмж нь цахилгаан соронзон орчинд мэдрэмтгий бөгөөд боржин чулуу нь соронзон бус материал тул илрүүлэх төхөөрөмжийн электрон дохионд саад учруулахгүй. Электрон цацраг илрүүлэх болон маш өндөр цахилгаан соронзон орчин шаарддаг бусад туршилтын технологийг ашиглахад боржин чулуун суурь нь илрүүлэх төхөөрөмжийн электрон дохионы тогтвортой дамжуулалтыг хангаж, туршилтын үр дүнгийн нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Жишээлбэл, хавтанг өндөр нарийвчлалтай цахилгаан гүйцэтгэлд турших үед соронзон бус боржин чулуун суурь нь илрүүлэх гүйдэл болон хүчдэлийн дохионд саад учруулахаас зайлсхийж, илрүүлэх өгөгдөл нь хавтангийн цахилгаан шинж чанарыг үнэхээр тусгадаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 3-р сарын 31