Нарийвчлалтай хэмжилтийн салбарт маш сайн тогтвортой байдал, өндөр хатуулаг, сайн элэгдэлд тэсвэртэй боржин чулуун нарийвчлалтай платформ нь олон өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийн ажлын хамгийн тохиромжтой суурь тулгуур болсон. Гэсэн хэдий ч харанхуйд нуугдсан "нарийвчлалын алуурчин" гэх мэт хүрээлэн буй орчны хүчин зүйлсийн температурын хэлбэлзэл нь боржин чулуун нарийвчлалтай платформын хэмжилтийн нарийвчлалд мэдэгдэхүйц нөлөө үзүүлдэг. Хэмжилтийн ажлын нарийвчлал, найдвартай байдлыг хангахын тулд нөлөөллийн босгыг гүнзгий судлах нь маш чухал юм.
Боржин чулуу нь тогтвортой байдгаараа алдартай боловч температурын өөрчлөлтөөс ангид биш юм. Үүний гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисууд бөгөөд өөр өөр температурт дулааны тэлэлт, агшилтын үзэгдлийг үүсгэдэг. Орчны температур нэмэгдэхэд боржин чулуун нарийвчлалтай тавцан халааж, тэлж, тавцангийн хэмжээ бага зэрэг өөрчлөгдөнө. Температур буурахад анхны төлөвтөө эргэн орно. Жижиг хэмжээтэй мэт санагдах өөрчлөлтийг нарийвчлалтай хэмжилтийн хувилбаруудад хэмжилтийн үр дүнд нөлөөлөх гол хүчин зүйл болгон томруулж болно.
Жишээ нь, нийтлэг координатын хэмжих хэрэгслийн тохирох боржин чулуун тавцанг авч үзвэл, өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийн даалгаварт хэмжилтийн нарийвчлалын шаардлага нь ихэвчлэн микроны түвшинд эсвэл түүнээс ч өндөр түвшинд хүрдэг. 20℃ стандарт температурт тавцангийн янз бүрийн хэмжээст параметрүүд хамгийн тохиромжтой төлөвт байдаг бөгөөд ажлын хэсгийг хэмжих замаар нарийвчлалтай өгөгдлийг олж авах боломжтой гэж үздэг. Орчны температур хэлбэлзэх үед нөхцөл байдал маш өөр байдаг. Туршилтын олон тооны статистик болон онолын шинжилгээ хийсний дараа хэвийн нөхцөлд орчны температурын хэлбэлзэл 1℃ байхад боржин чулуун нарийвчлалтай тавцангийн шугаман тэлэлт эсвэл агшилт нь ойролцоогоор 5-7 × 10⁻⁶/℃ байна. Энэ нь 1 метрийн хажуугийн урттай боржин чулуун тавцангийн хувьд температур 1°C-ээр өөрчлөгдвөл хажуугийн урт 5-7 микроноор өөрчлөгдөж болно гэсэн үг юм. Нарийвчлалтай хэмжилтэд ийм хэмжээний өөрчлөлт нь хүлээн зөвшөөрөгдөх хэмжээнээс хэтэрсэн хэмжилтийн алдаа гаргахад хангалттай юм.
Нарийвчлалын өөр өөр түвшинд шаардлагатай хэмжилтийн ажлын хувьд температурын хэлбэлзлийн нөлөөллийн босго нь мөн өөр өөр байдаг. Механик эд ангийн хэмжээг хэмжих гэх мэт ердийн нарийвчлалын хэмжилтэд, хэрэв зөвшөөрөгдөх хэмжилтийн алдаа ±20 микрон дотор байвал дээрх тэлэлтийн коэффициентийн тооцооллын дагуу платформын хэмжээ өөрчлөгдсөнөөс үүдэлтэй хэмжилтийн алдааг хүлээн зөвшөөрөгдөх түвшинд хянахын тулд температурын хэлбэлзлийг ± 3-4 ℃ хүрээнд хянах шаардлагатай. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэхэд литографийн процессын хэмжилт гэх мэт өндөр нарийвчлалын шаардлага бүхий газарт алдааг ± 1 микрон дотор зөвшөөрч, температурын хэлбэлзлийг ± 0.1-0.2 ° C дотор хатуу хянах шаардлагатай. Температурын хэлбэлзэл энэ босгыг давсан тохиолдолд боржин чулуун платформын дулааны тэлэлт ба агшилт нь хэмжилтийн үр дүнд хазайлт үүсгэж болзошгүй бөгөөд энэ нь чип үйлдвэрлэлийн гарцад нөлөөлнө.
Боржин чулуун нарийвчлалтай тавцангийн хэмжих нарийвчлалд орчны температурын хэлбэлзэл хэрхэн нөлөөлж байгааг шийдвэрлэхийн тулд практикт олон арга хэмжээг ихэвчлэн ашигладаг. Жишээлбэл, температурын хэлбэлзлийг маш бага хүрээнд хянахын тулд хэмжих орчинд өндөр нарийвчлалтай тогтмол температурын төхөөрөмжийг суурилуулсан; хэмжилтийн өгөгдөл дээр температурын нөхөн төлбөрийг хийж, хэмжилтийн үр дүнг тавцангийн дулааны тэлэлтийн коэффициент болон бодит цагийн температурын өөрчлөлтийн дагуу програм хангамжийн алгоритмаар засдаг. Гэсэн хэдий ч ямар ч арга хэмжээ авсан байсан ч орчны температурын хэлбэлзэл нь боржин чулуун нарийвчлалтай тавцангийн хэмжилтийн нарийвчлалд хэрхэн нөлөөлж байгааг нарийн ойлгох нь хэмжилтийн ажлыг нарийвчлалтай, найдвартай хийх урьдчилсан нөхцөл юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 3