Нарийвчлалтай хэмжилтийн салбарт маш сайн тогтвортой байдал, өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй боржин чулуун нарийн платформ нь өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийн олон ажлын хамгийн тохиромжтой суурь болсон. Гэсэн хэдий ч харанхуйд нуугдсан "нарийвчлалтай алуурчин" гэх мэт хүрээлэн буй орчны хүчин зүйлсийн температурын хэлбэлзэл нь боржингийн нарийн тавцангийн хэмжилтийн нарийвчлалд үл тоомсорлодог. Хэмжилтийн ажлын нарийвчлал, найдвартай байдлыг хангахын тулд нөлөөллийн босгыг гүн гүнзгий судлах нь чухал юм.
Хэдийгээр боржин чулуу нь тогтвортой байдгаараа алдартай боловч температурын өөрчлөлтөд тэсвэртэй байдаггүй. Үүний гол бүрэлдэхүүн хэсэг нь кварц, хээрийн жонш болон бусад ашигт малтмал бөгөөд янз бүрийн температурт дулааны тэлэлт, агшилтын үзэгдлийг үүсгэдэг. Орчны температур нэмэгдэхэд боржингийн нарийвчлалтай платформыг халааж, өргөжүүлэх ба тавцангийн хэмжээ бага зэрэг өөрчлөгдөнө. Температур буурах үед энэ нь анхны төлөв рүүгээ буцах болно. Нарийвчлалтай хэмжилтийн хувилбарт хэмжилтийн үр дүнд нөлөөлөх гол хүчин зүйл болгон жижиг хэмжээтэй мэт харагдах өөрчлөлтүүдийг томруулж болно.
Боржингийн платформд тохирсон координатын нийтлэг хэмжих хэрэгслийг жишээ болгон авч үзвэл, өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийн ажилд хэмжилтийн нарийвчлалын шаардлага ихэвчлэн микроны түвшинд хүрдэг эсвэл түүнээс ч өндөр байдаг. Стандарт 20 ℃ температурт платформын янз бүрийн хэмжээст параметрүүд нь хамгийн тохиромжтой төлөвт байгаа бөгөөд ажлын хэсгийг хэмжих замаар үнэн зөв мэдээллийг олж авах боломжтой гэж үздэг. Орчны температурын хэлбэлзэлтэй үед нөхцөл байдал маш өөр байдаг. Олон тооны туршилтын статистик тоо баримт, онолын дүн шинжилгээ хийсний дараа ердийн нөхцөлд хүрээлэн буй орчны температурын хэлбэлзэл 1℃, боржингийн нарийвчлалтай платформын шугаман тэлэлт эсвэл агшилт нь ойролцоогоор 5-7 × 10⁻⁶/℃ байна. Энэ нь 1 метрийн хажуугийн урттай боржингийн тавцангийн хувьд температур 1 ° С-ээр өөрчлөгдвөл хажуугийн урт нь 5-7 микроноор өөрчлөгдөж болно гэсэн үг юм. Нарийвчлалтай хэмжилтийн хувьд ийм хэмжээний өөрчлөлт нь зөвшөөрөгдөх хэмжээнээс хэтэрсэн хэмжилтийн алдааг үүсгэхэд хангалттай.
Янз бүрийн нарийвчлалын түвшинд шаардагдах хэмжилтийн ажилд температурын хэлбэлзлийн нөлөөллийн босго нь өөр өөр байдаг. Механик эд ангиудын хэмжээсийн хэмжилт зэрэг ердийн нарийвчлалтай хэмжилтийн хувьд хэмжилтийн зөвшөөрөгдөх алдаа нь ±20 микрон дотор байвал дээр дурдсан өргөтгөлийн коэффициентийн тооцооны дагуу платформын хэмжээ өөрчлөгдөхөөс үүссэн хэмжилтийн алдааг хүлээн зөвшөөрөгдөх түвшинд хянахын тулд температурын хэлбэлзлийг ± 3-4 ℃ дотор хянах шаардлагатай. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэхэд литографийн үйл явцын хэмжилт гэх мэт өндөр нарийвчлал шаардсан газруудад алдааг ±1 микрон дотор зөвшөөрч, температурын хэлбэлзлийг ± 0.1-0.2 ° C-ийн дотор хатуу хянах шаардлагатай. Температурын хэлбэлзэл энэ босго хэмжээнээс давсан тохиолдолд дулааны тэлэлт, хэмжилтийн үр дүнд хэмжилтийн үр дүнд нөлөөлж болно. чип үйлдвэрлэлийн гарц.
Боржингийн нарийвчлалтай платформын хэмжилтийн нарийвчлалд хүрээлэн буй орчны температурын хэлбэлзлийн нөлөөллийг арилгахын тулд практик ажилд олон арга хэмжээ авдаг. Жишээлбэл, температурын хэлбэлзлийг маш бага хүрээнд хянахын тулд хэмжих орчинд өндөр нарийвчлалтай тогтмол температурын төхөөрөмжийг суурилуулсан; Температурын нөхөн олговор нь хэмжилтийн өгөгдөл дээр хийгддэг бөгөөд хэмжилтийн үр дүнг платформын дулааны тэлэлтийн коэффициент болон бодит цагийн температурын өөрчлөлтийн дагуу програм хангамжийн алгоритмаар засдаг. Гэсэн хэдий ч ямар ч арга хэмжээ авсан бай боржингийн нарийн тавцангийн хэмжилтийн нарийвчлалд хүрээлэн буй орчны температурын хэлбэлзэл хэрхэн нөлөөлж байгааг нарийн ойлгох нь хэмжилтийн үнэн зөв, найдвартай байдлыг хангах үндэс суурь юм.
Шуудангийн цаг: 2025-04-03