Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл болон шинжлэх ухааны судалгааны хил хязгаарт хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтын эрэлт хэрэгцээ өдрөөс өдөрт нэмэгдэж байна. Өндөр нарийвчлалтай шугаман хөдөлгөөнийг бий болгох гол тоног төхөөрөмж болох хэт нарийвчлалтай нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч модулийн гүйцэтгэл нь эцсийн бүтээгдэхүүний чанар болон шинжлэх ухааны судалгааны үр дүнгийн нарийвчлалд шууд нөлөөлдөг. Нөлөөлөх олон хүчин зүйлийн дунд боржин чулуун суурийг ашиглах нь хосгүй давуу талыг олгож, маш сайн нарийвчлалыг хангах гол элемент болдог.
Боржин чулуу нь сая сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа дотоод бүтэц нь маш нягт, жигд болсон. Энэ нь голчлон кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисоос бүрддэг бөгөөд энэхүү өвөрмөц материалын найрлага нь боржин чулуунд маш сайн физик шинж чанарыг өгдөг. Нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн суурь болгон ашиглахад боржин чулуу нь эхлээд маш өндөр тогтвортой байдлыг харуулдаг. Нийтлэг металл материалын суурьтай харьцуулахад боржин чулуун суурь нь температурын хэлбэлзэл, механик чичиргээ зэрэг гадаад орчны нөлөөлөлд илүү хүчтэй деформацийн эсэргүүцлийг харуулдаг. Электрон чип үйлдвэрлэх явцад чип литографийн байрлалын нарийвчлал нь нанометрийн түвшинд хүрэх шаардлагатай байдаг. Үйлдвэрлэлийн цехэд том тоног төхөөрөмжийн ашиглалтаас үүссэн чичиргээ болон орчны температурын бага зэргийн өөрчлөлт нь литографийн төхөөрөмжийн хөдөлгөөний нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм. Боржин чулуун суурьтай нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль нь гадаад чичиргээг үр дүнтэй сулруулж, хөдөлгөөний модульд дамжуулсан чичиргээний далайцыг 80%-иас дээш бууруулж чаддаг. Үүний зэрэгцээ, дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент нь температур өөрчлөгдөхөд суурийн хэмжээг маш бага өөрчлөхөд хүргэдэг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модуль нь нарийн төвөгтэй орчинд тогтвортой хөдөлгөөний нарийвчлалыг хадгалах боломжийг хангаж, чип литографийн нарийн байршлын үндэс суурийг тавьж, чип үйлдвэрлэлийн гарцыг эрс сайжруулдаг.
Үүнээс гадна, боржин чулуу нь элэгдэлд тэсвэртэй сайн шинж чанартай. Хэт нарийвчлалтай нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч модулийн ойр ойрхон харилцан хөдөлгөөний явцад агаарын хөвөгч гулсагч болон суурийн хооронд хийн хальсан тулгуур байдаг ч удаан хугацаагаар ашиглах нь тодорхой хэмжээний үрэлтийг зайлшгүй бий болгоно. Өндөр хатуулгийн шинж чанартай боржин чулуун суурь нь энэхүү үрэлтээс үүдэлтэй элэгдлийг үр дүнтэй эсэргүүцэж, хөдөлгөөний модулийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг. Их сургуулиудын шинжлэх ухааны судалгааны лабораторид бичил хэсгүүдийг илрүүлэхэд ашигладаг туршилтын тоног төхөөрөмж нь олон тооны нарийвчлалтай туршилтын өгөгдлийг олж авахын тулд нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч хүчний хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг удаан хугацаанд тогтвортой ажиллуулах шаардлагатай байдаг. Боржин чулуун суурийн өндөр элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь хөдөлгөөний модулийн нарийвчлалыг удаан хугацаанд ашигласны дараа анхны өндөр нарийвчлалын түвшинд байлгах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдал, нарийвчлалын найдвартай баталгаа болж, судлаачдад бичил ертөнцийн нууцыг гүнзгий судлахад тусалдаг.
Боржин чулуун суурьтай нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль нь нарийн үйлдвэрлэл болон шинжлэх ухааны судалгааны нарийн "навигатор" шиг юм. Маш сайн тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй тул боржин чулуун суурь нь агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модулийн өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг бат бөх тулгуур болгон өгдөг бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик багаж хэрэгсэл үйлдвэрлэл, өндөр зэрэглэлийн шинжлэх ухааны судалгаа болон бусад олон нарийн шаардлагуудад салбарыг илүү өндөр нарийвчлал, өндөр чанартай чиглэлд хөтлөх орлуулшгүй чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 7