Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны хүрээнд хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хянах хэрэгцээ өдрөөс өдөрт нэмэгдэж байна. Өндөр нарийвчлалтай шугаман хөдөлгөөнд хүрэх гол тоног төхөөрөмжийн хувьд хэт нарийвчлалтай нэг тэнхлэгт агаарын хөвөгч модулийн гүйцэтгэл нь эцсийн бүтээгдэхүүний чанар, шинжлэх ухааны судалгааны үр дүнгийн нарийвчлалд шууд нөлөөлдөг. Олон нөлөө үзүүлж буй хүчин зүйлсийн дунд боржин чулуун суурийг хэрэглэх нь хосгүй давуу талыг өгч, маш сайн нарийвчлалыг хангах үндсэн элемент болдог.
Боржин чулуу, олон сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа дотоод бүтэц нь маш нягт, жигд байдаг. Энэ нь голчлон кварц, хээрийн жонш болон бусад ашигт малтмалаас бүрддэг бөгөөд энэхүү өвөрмөц материалын найрлага нь боржин чулууг маш сайн физик шинж чанартай болгодог. Нэг тэнхлэгт агаарын хөвөх хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн суурь болгон ашиглах үед боржин чулуу нь эхлээд маш өндөр тогтвортой байдлыг харуулдаг. Ердийн металл материалын суурьтай харьцуулахад боржин чулуун суурь нь температурын хэлбэлзэл, механик чичиргээ зэрэг гадны орчны нөлөөллүүдэд илүү хүчтэй хэв гажилтын эсэргүүцлийг харуулдаг. Цахим чип үйлдвэрлэх явцад нанометрийн түвшинд хүрэхийн тулд чип литографийн байршлын нарийвчлал шаардлагатай. Үйлдвэрлэлийн цехэд том хэмжээний тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээ, орчны температурын бага зэрэг өөрчлөлт нь литографийн төхөөрөмжийн хөдөлгөөний нарийвчлалд нөлөөлж болно. Боржин чулуун суурьтай нэг тэнхлэгт агаарт хөвөх хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль нь гадаад чичиргээг үр дүнтэй бууруулж, хөдөлгөөний модульд дамжих чичиргээний далайцыг 80% -иас илүү бууруулах боломжтой. Үүний зэрэгцээ түүний дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент нь температур өөрчлөгдөх үед суурийн хэмжээг маш бага хэмжээгээр өөрчилдөг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модуль нь нарийн төвөгтэй орчинд тогтвортой хөдөлгөөний нарийвчлалыг хадгалж, чип литографийн байршлыг нарийн тогтоох үндэслэлийг хангаж, чип үйлдвэрлэлийн гарцыг ихээхэн сайжруулдаг.
Үүнээс гадна боржин чулуу нь элэгдэлд тэсвэртэй байдаг. Хэт нарийвчлалтай нэг тэнхлэгт агаарын хөвөгч модулийг ойр ойрхон эргүүлэх хөдөлгөөн хийх явцад агаарын хөвөгч гулсагч ба суурийн хооронд хийн хальстай байдаг ч удаан хугацаагаар ашиглах нь тодорхой хэмжээний үрэлтийг бий болгох нь гарцаагүй. Өндөр хатуулгийн шинж чанартай боржин чулуун суурь нь энэхүү үрэлтийн улмаас үүссэн элэгдлийг үр дүнтэй эсэргүүцэж, хөдөлгөөний модулийн ашиглалтын хугацааг уртасгах боломжтой. Их дээд сургуулиудын шинжлэх ухааны судалгааны лабораторид бичил тоосонцор илрүүлэхэд ашигладаг туршилтын төхөөрөмж нь туршилтын олон тооны үнэн зөв мэдээллийг олж авахын тулд нэг тэнхлэгт агаарын флотацийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийг удаан хугацаанд тогтвортой ажиллуулах шаардлагатай байдаг. Боржин чулуун суурийн элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь удаан хугацааны турш ашигласны дараа хөдөлгөөний модулийн нарийвчлалыг анхны өндөр нарийвчлалын түвшинд хадгалж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй, үнэн зөв байдлын найдвартай баталгааг өгч, судлаачдад бичил харуурын ертөнцийн нууцыг гүнзгий судлахад тусалдаг.
Боржин чулуун суурьтай нэг тэнхлэгт агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль нь нарийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгаанд зориулсан нарийн "навигатор" шиг юм. Боржин чулуун суурь нь маш сайн тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй, агаарын хөвөх хөдөлгөөний модулийг өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнд зориулж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик багажийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны өндөр түвшний судалгаа болон бусад олон нарийн шаардлагуудыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд салбарыг илүү өндөр нарийвчлалтай, илүү чанартай чиглүүлэхэд орлуулшгүй чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Шуудангийн цаг: 2025-04-07