Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл болон дэвшилтэт шинжлэх ухааны судалгааны салбарт нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн суурийн сонголт нь түүний гүйцэтгэлийг тодорхойлох гол хүчин зүйл юм. Боржин чулуун нарийвчлалтай суурь болон керамик суурь нь тогтвортой байдал, нарийвчлалын засвар үйлчилгээ, бат бөх чанар гэх мэт өөр өөр давуу болон шинж чанартай байдаг.
Тогтвортой байдал: Байгалийн бүтэцтэй харьцуулахад синтетик бүтэцтэй
Урт хугацааны геологийн шилжилтийн дараа боржин чулуу нь кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисоор нягт холбогдож, нягт, жигд бүтэц үүсгэдэг. Үйлдвэрийн цехэд том хэмжээний тоног төхөөрөмжийн ажиллагаанаас үүссэн хүчтэй чичиргээ гэх мэт гадны чичиргээний хөндлөнгийн оролцооны үед боржин чулуун суурь нь үр дүнтэйгээр хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь нарийвчлалтай статик даралтын агаарын хөвөгч тавцангийн чичиргээний далайцыг 80%-иас дээш бууруулж, өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт эсвэл илрүүлэлтэд жигд хөдөлгөөнийг хангах тавцангийн тогтвортой үйл ажиллагааны суурийг бүрдүүлдэг. Жишээлбэл, хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэлийн литографийн процесст тогтвортой боржин чулуун суурь нь чип литографийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалтай ажиллагааг хангаж, чипийн хэв маягийн өндөр нарийвчлалтай шинж чанарыг бий болгодог.
Керамик суурь нь хиймэл синтез болон дэвшилтэт технологиор хийгдсэн бөгөөд дотоод бүтэц нь жигд бөгөөд чичиргээг намсгах сайн шинж чанартай. Ерөнхий чичиргээтэй харьцахдаа нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн тогтвортой ажиллах орчныг бүрдүүлж чадна. Гэсэн хэдий ч өндөр бат бэх, тогтвортой чичиргээний өмнө түүний чичиргээг бууруулах чадвар нь боржин чулуун суурийнхаас арай доогуур бөгөөд чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог ижил доод түвшинд бууруулахад хэцүү бөгөөд энэ нь тавцангийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнд тодорхой нөлөө үзүүлж болзошгүй юм.
Нарийвчлалыг хадгалах: байгалийн давуу талууд бага өргөжиж, нарийвчлалыг хиймэл аргаар хянадаг
Боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттой гэдгээрээ алдартай бөгөөд ихэвчлэн 5-7 × 10⁻⁶/℃ байдаг. Температурын хэлбэлзлийн орчинд боржин чулуун нарийвчлалын суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тохируулах зориулалттай нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцанг боржин чулуун суурьтай хослуулсан бөгөөд өдөр шөнийн температурын зөрүү мэдэгдэхүйц байсан ч линзийн байршлын нарийвчлалыг микроноос доош түвшинд байлгах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийн нарийн динамикийг авахад тусалдаг.
Керамик материалууд нь дулааны тогтвортой байдлын хувьд маш сайн бөгөөд зарим өндөр хүчин чадалтай керамикийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь бараг тэг хүртэл бага байж болох бөгөөд томъёолол болон процессоор нарийн зохицуулж болно. Зарим температурт мэдрэмтгий өндөр нарийвчлалтай хэмжих төхөөрөмжид керамик суурь нь температур өөрчлөгдөхөд тогтвортой хэмжээгээ хадгалж, нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Гэсэн хэдий ч практик хэрэглээнд түүний урт хугацааны нарийвчлалын тогтвортой байдалд материалын хөгшрөлт зэрэг хүчин зүйлс нөлөөлдөг тул цаашид баталгаажуулах шаардлагатай байдаг.
Бат бөх чанар: Өндөр хатуулагтай байгалийн чулуу болон зэврэлтэнд тэсвэртэй синтетик материал
Боржин чулуун хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг 6-7 хүрч чаддаг, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан бөгөөд түүний боржин чулуун суурь нь ердийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, тавцангийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50 гаруй хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангаж чаддаг. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун материал нь харьцангуй хэврэг тул санамсаргүйгээр цохилт өгөхөд хагарах эрсдэлтэй.
Керамик суурь нь зөвхөн хатуу төдийгүй зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй. Химийн бүтээгдэхүүний үзлэгийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалтай гидростатик агаарын хөвөгч тавцан гэх мэт химийн зэврэлт үүсэх эрсдэлтэй үйлдвэрлэлийн орчинд керамик суурь нь зэврэлттэй хий эсвэл шингэнд тэсвэртэй бөгөөд гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдал болон механик шинж чанарыг удаан хугацаанд хадгалдаг. Өндөр чийгшил зэрэг эрс тэс орчинд керамик суурийн гүйцэтгэлийн тогтвортой байдал нь боржин чулуун суурийнхаас илүү сайн байдаг.
Үйлдвэрлэлийн өртөг ба боловсруулалтын хүндрэл: байгалийн чулуу олборлоход тулгарч буй бэрхшээл ба хиймэл синтезийн техникийн босго
Боржин чулуун түүхий эдийг олборлох, тээвэрлэх нь нарийн төвөгтэй бөгөөд боловсруулахад маш өндөр тоног төхөөрөмж, технологи шаардлагатай. Өндөр хатуулаг, хэврэг байдлаас шалтгаалан зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад процессууд нь нурах, хагарах, хаягдал ихтэй тул үйлдвэрлэлийн өртөг өндөр байдаг.
Керамик суурь үйлдвэрлэл нь түүхий эд бэлтгэх, хэвэнд оруулахаас эхлээд шатаах хүртэлх алхам бүрийг нарийн хянах шаардлагатай дэвшилтэт синтез болон нарийн боловсруулалтын технологид суурилдаг. Эрт үеийн судалгаа, хөгжүүлэлт, тоног төхөөрөмжийн хөрөнгө оруулалт асар их бөгөөд өндөр техникийн босго юм. Гэсэн хэдий ч үйлдвэрлэлийн цар хүрээ өргөжихийн хэрээр өртөг буурах төлөвтэй байгаа бөгөөд өндөр зэрэглэлийн хэрэглээнд зардал багатай байх боломжтой.
Ерөнхийдөө боржин чулуун нарийвчлалтай суурь нь ерөнхий тогтвортой байдал болон уламжлалт бат бөх чанараараа сайн ажилладаг бол керамик суурь нь хэт температурт дасан зохицох чадвар болон зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлаараа өвөрмөц давуу талтай. Суурийг сонгохдоо нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн тодорхой хэрэглээний нөхцөл байдал, хүрээлэн буй орчны нөхцөл байдал, өртгийн төсөвт үндэслэх ёстой.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 10