Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны дэвшилтэт судалгааны чиглэлээр статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн үндсэн сонголт нь түүний гүйцэтгэлийг тодорхойлох гол хүчин зүйл юм. Боржин чулуун нарийн суурь ба керамик суурь нь тогтвортой байдал, нарийвчлал, засвар үйлчилгээ, бат бөх чанар гэх мэт өөр өөр давуу тал, шинж чанарыг харуулдаг өөрийн онцлог шинж чанартай байдаг.
Тогтвортой байдал: Байгалийн бүтэц, синтетик
Удаан хугацааны геологийн шилжилтийн дараа боржин чулуу нь кварц, хээрийн жонш болон бусад ашигт малтмалтай нягт уялдаж, нягт, нэгэн төрлийн бүтэц үүсгэдэг. Үйлдвэрийн цехэд том оврын тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанаас үүсэх хүчтэй чичиргээ зэрэг гадны чичиргээний хөндлөнгийн нөлөөгөөр боржин чулуун суурь нь үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн чичиргээний далайцыг 80% -иар бууруулж, платформ дахь тогтвортой үйл ажиллагааны суурийг бүрдүүлдэг. Жишээлбэл, хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх литографийн процесст тогтвортой боржин чулуун суурь нь чип литографийн төхөөрөмжийн үнэн зөв ажиллагааг хангаж, чипний хэв маягийг өндөр нарийвчлалтай тодорхойлох боломжийг олгодог.
Керамик суурь нь хиймэл синтез, дэвшилтэт технологиор хийгдсэн бөгөөд дотоод бүтэц нь мөн адил жигд, чичиргээ дарах шинж чанартай. Ерөнхий чичиргээтэй харьцахдаа энэ нь нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн тогтвортой ажлын орчинг бүрдүүлж чадна. Гэсэн хэдий ч өндөр хүч чадал, тогтвортой чичиргээтэй нөхцөлд түүний чичиргээ сааруулах чадвар нь боржин чулуун суурийнхаас арай доогуур бөгөөд чичиргээний интерференцийг ижил түвшинд хүртэл бууруулахад хэцүү байдаг нь платформын хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнд тодорхой нөлөө үзүүлж болзошгүй юм.
Нарийвчлалыг хадгалах: байгалийн давуу талыг бага өргөжүүлэх, нарийвчлалыг зохиомлоор хянах
Боржин нь ихэвчлэн 5-7 × 10⁻⁶/℃ дулаан тэлэлтийн маш бага коэффициентээрээ алдартай. Температурын хэлбэлзлийн орчинд боржингийн нарийн суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тааруулах зориулалттай статик даралттай агаарын хөвөгч платформыг боржин чулуун суурьтай хослуулсан нь өдөр шөнийн температурын зөрүү их байсан ч линзний байршлын нарийвчлалыг микрон доогуур түвшинд барьж, одон орон судлаачдад алс холын биетүүдийн нарийн динамикийг олж авахад тусалдаг.
Керамик материалууд нь дулааны тогтвортой байдлын хувьд маш сайн байдаг бөгөөд зарим өндөр үзүүлэлттэй керамикуудын дулааны тэлэлтийн коэффициент нь бараг тэг хүртэл бага байж болох бөгөөд найрлага, боловсруулалтаар нарийн зохицуулагддаг. Зарим температурт мэдрэмтгий өндөр нарийвчлалтай хэмжих төхөөрөмжид керамик суурь нь температур өөрчлөгдөхөд тогтвортой хэмжээг хадгалж, нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Гэсэн хэдий ч практик хэрэглээнд түүний урт хугацааны нарийвчлалын тогтвортой байдал нь материалын хөгшрөлт зэрэг хүчин зүйлээс шалтгаалдаг тул цаашид баталгаажуулах шаардлагатай.
Бат бөх чанар: Өндөр хатуулагтай байгалийн чулуу, зэврэлтэнд тэсвэртэй синтетик материал
Боржингийн хатуулаг өндөр, Mohs хатуулаг 6-7 хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан, боржин чулуун суурь нь энгийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, платформын засвар үйлчилгээний хугацааг 50% -иас дээш хугацаагаар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангах боломжтой. Гэсэн хэдий ч боржин чулуу нь харьцангуй хэврэг байдаг тул санамсаргүй цохилтонд өртөх үед хагарах эрсдэлтэй байдаг.
Керамик суурь нь зөвхөн хатуу төдийгүй зэврэлтэнд тэсвэртэй байдаг. Химийн зэврэлт үүсэх эрсдэлтэй үйлдвэрлэлийн орчинд, тухайлбал, химийн бүтээгдэхүүний хяналтын төхөөрөмж дэх нарийн гидростатик агаарын флотацийн платформ, керамик суурь нь идэмхий хий, шингэнийг эсэргүүцэж, гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдал, механик шинж чанарыг удаан хугацаанд хадгалдаг. Өндөр чийгшил зэрэг эрс тэс орчинд керамик суурийн гүйцэтгэлийн тогтвортой байдал нь боржин суурийнхаас илүү сайн байдаг.
Үйлдвэрлэлийн өртөг ба боловсруулалтын хүндрэл: байгалийн чулууг олборлох сорилт ба хиймэл синтезийн техникийн босго
Боржингийн түүхий эдийг олборлох, тээвэрлэх нь нарийн төвөгтэй бөгөөд боловсруулахад маш өндөр техник, технологи шаардагддаг. Өндөр хатуулагтай тул хэврэг, зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад процессууд нь нуралт, хагарал, өндөр хаягдалтай тул үйлдвэрлэлийн өндөр өртөгтэй байдаг.
Керамик суурийн үйлдвэрлэл нь түүхий эд бэлтгэх, хэвлэхээс эхлээд агломержуулах хүртэл дэвшилтэт синтез, нарийн боловсруулалтын технологид тулгуурладаг бөгөөд алхам бүрийг нарийн хянах шаардлагатай. Эрт үеийн судалгаа, хөгжүүлэлт, тоног төхөөрөмжийн хөрөнгө оруулалт нь асар том, техникийн өндөр босго юм. Гэсэн хэдий ч үйлдвэрлэлийн цар хүрээ тэлэхийн хэрээр өртөг буурах төлөвтэй байгаа бөгөөд энэ нь өндөр чанартай хэрэглээнд үр ашигтай байх боломжтой юм.
Ерөнхийдөө боржин чулуун нарийн суурь нь ерөнхий тогтвортой байдал, уламжлалт бат бөх чанарыг сайн гүйцэтгэдэг бол керамик суурь нь хэт температурт дасан зохицох, зэврэлтэнд тэсвэртэй байх өвөрмөц давуу талтай байдаг. Суурийг сонгохдоо тусгай зориулалтын хувилбар, хүрээлэн буй орчны нөхцөл, агаарын хөвөх тавцангийн нарийн статик даралтын зардлын төсөвт үндэслэнэ.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 10