Орчин үеийн үйлдвэрлэл, дэвшилтэт шинжлэх ухааны судалгааны салбарт өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтын эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэж байна. Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан нь хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтын гол тоног төхөөрөмж бөгөөд маш сайн гүйцэтгэлээрээ олон салбарын нээлт хийхэд гол туслагч болсон.
Нэгдүгээрт, гол технологи: агаарт хөвөх дэмжлэг, нарийн статик даралтын хөтөч
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан нь дэвшилтэт агаарын хөвөгч технологийг ашигладаг бөгөөд тавцан болон суурийн хооронд жигд, тогтвортой өндөр даралттай хийн хальс үүсгэх замаар тавцан түдгэлздэг. Энэхүү хийн хальсны давхарга нь ид шидийн "агаарын дэр" шиг тул тавцан нь хөдөлгөөний явцад суурьтай шууд харьцдаггүй бөгөөд үрэлтийн коэффициентийг эрс бууруулж, уламжлалт механик холбоо барихаас үүдэлтэй элэгдэл, мөлхөх үзэгдлийг бараг арилгадаг. Үүний зэрэгцээ, нарийвчлалтай статик хөтчийн систем нь тавцан нь урьдчилан тогтоосон замын дагуу өндөр нарийвчлалтай, өндөр тогтвортой шугаман эсвэл эргэлтийн хөдөлгөөнийг бий болгох боломжийг олгодог бөгөөд байршлын нарийвчлал нь нанометр хүртэл байж, янз бүрийн нарийвчлалтай үйл ажиллагаанд бат бөх хөдөлгөөний суурийг бий болгодог.
Хоёрдугаарт, хэт өндөр нарийвчлал: микрон эсвэл бүр нанометрийн түвшний байрлал
Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэхэд литографийн процесс нь өндөр байрлалын нарийвчлал шаарддаг. Маш сайн нарийвчлалын хяналтын чадвартай тул нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан нь чип литографийн төхөөрөмжийн байрлалын алдааг нанометрийн дарааллаар хянаж, хэлхээний хэв маягийг вафли руу нарийвчлалтай шилжүүлж, жижиг, илүү нэгтгэсэн чип үйлдвэрлэхэд тусалж, хагас дамжуулагчийн салбарыг илүү өндөр процессын түвшинд үргэлжлүүлэн шилжихэд түлхэц өгч чадна. Оптик линз нунтаглах салбарт уг тавцан нь нунтаглах хэрэгслийн хөдөлгөөний замыг нарийвчлалтай хянаж, линзний гадаргуугийн боловсруулалтын нарийвчлал нь микрон эсвэл бүр микроноос дэд түвшинд хүрч, өндөр зэрэглэлийн камер, дуран, микроскоп болон бусад оптик хэрэгслийн хатуу шаардлагыг хангахын тулд өндөр нягтралтай, бага гажуудалтай оптик линз үйлдвэрлэж чаддаг.
Маш сайн тогтвортой байдал: тусгаарлагдсан хөндлөнгийн оролцоо, тогтмол ажиллагаа
Гадны чичиргээ болон температурын өөрчлөлт нь нарийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд нөлөөлдөг хоёр гол "буруутан" юм. Нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан нь өндөр хүчин чадалтай чичиргээ тусгаарлах системээр тоноглогдсон бөгөөд энэ нь үйлдвэрийн цехийн том тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, замын хөдөлгөөний чичиргээ гэх мэт хүрээлэн буй орчноос чичиргээнд саад учруулах нөлөөллийг үр дүнтэй хааж, нарийн төвөгтэй орчинд платформ тогтвортой ажиллах боломжтой хэвээр байх болно. Үүний зэрэгцээ, тавцан нь температурын өөрчлөлтөд мэдрэмтгий биш, хэмжээст тогтвортой байдал болон температурын хэлбэлзлийн орчинд өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хадгалж, нарийн боловсруулалт болон туршилтын найдвартай баталгааг өгдөг.
Дөрөвдүгээрт, өргөн хүрээний хэрэглээ: олон талбарт нарийвчлалтай тоглох
Агаарын тээврийн үйлдвэрлэлийн салбарт нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцанг нисэх онгоцны эд ангиудыг хэт нарийвчлалтай боловсруулахад ашигладаг, тухайлбал нисэх онгоцны хөдөлгүүрийн ирийг тээрэмдэх, нисэх онгоцны бүтцийн эд ангиудыг өрөмдөх гэх мэт. Энэ нь эд ангийн боловсруулалтын нарийвчлалыг баталгаажуулж, нисэх онгоцны гүйцэтгэл, аюулгүй байдлыг сайжруулахад тусалдаг. Биоанагаахын судалгаанд уг тавцан нь генийн дарааллын төхөөрөмжийг дээжийн слайдыг нарийвчлалтай зөөж, генетикийн мэдээллийг нарийвчлалтай уншихад тусалдаг; Эсийн микроманипуляцид микро зүү, микропипетка зэрэг хэрэгслийг нарийн хянаж, эс тус бүр дээр нарийн ажиллагаа явуулж, биоанагаахын судалгааг гүнзгийрүүлэхэд тусалдаг. Үүнээс гадна электроникийн үйлдвэрлэл, өндөр зэрэглэлийн тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэл болон бусад салбарт нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан нь орлуулшгүй чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Тавдугаарт, захиалгат үйлчилгээ: хувь хүний хэрэгцээг хангах
Бид өөр өөр салбарууд болон өөр өөр үйлчлүүлэгчид нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн хэрэгцээ өөр өөр байдгийг мэддэг тул захиалгат бүрэн хэмжээний үйлчилгээг үзүүлдэг. Тавцангийн хэмжээ, ачааллын багтаамжаас эхлээд хөдөлгөөний цохилт, нарийвчлалын түвшин хүртэл захиалгат дизайн, үйлдвэрлэлийг бодит хэрэглээний нөхцөл байдал болон үйлчлүүлэгчдийн үйл явцын шаардлагын дагуу гүйцэтгэж болно. Мэргэжлийн судалгаа, хөгжүүлэлтийн баг нь нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан бүрийг үйлчлүүлэгчдийн хэрэгцээг төгс хангаж, үйлчлүүлэгчдэд хамгийн их үнэ цэнийг бий болгохын тулд үйлчлүүлэгчидтэй нягт хамтран ажиллах болно.
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч платформыг сонгох нь хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтын маш сайн шийдлийг сонгох, өндөр нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны шинэ бүлгийг нээх, өрсөлдөөнт зах зээлд ялгарахад туслах, технологи, үйлдвэрлэлийн давхар үсрэлтийг хэрэгжүүлэх явдал юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 10