Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, хамгийн сүүлийн үеийн шинжлэх ухааны судалгааны өргөн уудам ертөнцөд өчүүхэн төдий нарийн хяналт бүр технологийн хувьсгалыг өдөөж болно. Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний платформ нь хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнд хүрэх үндсэн тоног төхөөрөмж бөгөөд түүний гүйцэтгэл нь үр дүнгийн амжилт эсвэл бүтэлгүйтлийг шууд тодорхойлдог. Боржин чулуун суурь нь түүнд ер бусын нарийвчлал, маш сайн тогтвортой байдлыг өгдөг нууц зэвсэг юм.
Байгаль дээр тогтсон тогтвортой суурь
Боржин чулуу, олон сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа дотоод бүтэц нь нягт, жигд, кварц, хээрийн жонш болон бусад ашигт малтмалаар нягт уялдаатай байдаг. Энэхүү өвөрмөц бүтэц нь түүнд хосгүй тогтвортой байдлыг өгдөг. Гадны хөндлөнгийн нөлөөлөлд энэ нь цехийн том тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны улмаас үүссэн хүчтэй чичиргээ эсвэл орчны температурын их хэлбэлзэлээс үл хамааран боржин суурь нь үүнийг тайван даван туулж чадна. Мэргэжлийн цочрол шингээгч гэх мэт түүний чичиргээ саармагжуулах маш сайн шинж чанар нь өндөр нарийвчлалтай боловсруулах эсвэл илрүүлэх явцад хөдөлгөөн жигд, жигд бус байхын тулд платформыг чимээгүй, тогтвортой ажиллах орчинг бүрдүүлж, нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний платформын чичиргээний далайцыг 80% -иар бууруулж чадна.
Дулааны тогтвортой байдлын давуу тал, хяналтын нарийн цөм
Температурын өөрчлөлт нь нарийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд нөлөөлдөг гол асуудал боловч дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент бүхий боржин чулуун суурь нь энэ асуудлыг амархан шийдэж чадна. Түүний дулааны тэлэлтийн коэффициент нь ерөнхийдөө 5-7 ×10⁻⁶/℃ бөгөөд температурын хэлбэлзэлтэй үед хэмжээ өөрчлөгдөх нь хамгийн бага байдаг. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх фотолитографийн процесст байршлын нарийвчлал нь данамилын түвшинд байх шаардлагатай бөгөөд температурын бага зэрэг өөрчлөлт нь чипийн хэв маягийн хазайлтад хүргэж болзошгүй юм. Боржин чулуун суурьаар тоноглогдсон нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний платформ нь нарийн төвөгтэй температурын нөхцөлд байршлын нарийвчлалыг үргэлж хадгалж, чип үйлдвэрлэлийг илүү сайн нэгтгэж, бүтээмжийг бий болгоход тусалдаг бөгөөд хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг хөгжүүлэхэд хүчтэй түлхэц өгдөг.
Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, бат бөх байдлын баталгаа
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч платформын урт хугацаанд платформ ба суурийн хооронд агаарын хөвөх дэмжлэг байдаг ч байнга үрэлт нь зайлшгүй хэвээр байна. Боржингийн хатуулаг өндөр, Mohs хатуулаг нь 6-7 хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний платформ, боржин чулуун суурь нь энгийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, платформын засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50% -иар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг эрс бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлыг үр ашигтай, тасралтгүй хөгжүүлэх боломжийг олгодог.
Боржин чулуун баазаар тоноглогдсон нарийн гидростатик агаарын хөвөгч платформыг сонгох нь дээд зэргийн нарийвчлал, маш сайн тогтвортой байдал, урт хугацааны бат бөх чанарыг сонгох явдал юм. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик багажийн үйлдвэрлэл, сансар огторгуй, шинжлэх ухааны судалгаа, туршилт болон бусад нарийн мэргэжлийн шаардлагуудад энэ нь орлуулшгүй гол үүрэг гүйцэтгэж, салбарыг нарийвчлалын хязгаарыг даван, хөгжлийн илүү боловсронгуй шат руу хөтөлж, таны карьерын амжилтад бат бөх, найдвартай техникийн дэмжлэг үзүүлэхэд хүргэж байна.
Шуудангийн цаг: 2025-04-09