Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, дэвшилтэт шинжлэх ухааны судалгааны асар том ертөнцөд хамгийн бага нарийвчлалтай хяналт бүр технологийн хувьсгалыг өдөөж болно. Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформ нь хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг бий болгох гол тоног төхөөрөмж бөгөөд түүний гүйцэтгэл нь үр дүнгийн амжилт эсвэл бүтэлгүйтлийг шууд тодорхойлдог. Боржин чулуун суурь нь ер бусын нарийвчлал, маш сайн тогтвортой байдлыг өгдөг нууц зэвсэг юм.
Байгалиас бүрдсэн тогтвортой суурь
Боржин чулуу нь сая сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа дотоод бүтэц нь нягт, жигд бөгөөд кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисууд хоорондоо нягт уялдаатай байдаг. Энэхүү өвөрмөц бүтэц нь хосгүй тогтвортой байдлыг өгдөг. Гадны хөндлөнгийн оролцоотой тулгарах үед, цехийн том тоног төхөөрөмжийн ашиглалтаас үүдэлтэй хүчтэй чичиргээ эсвэл орчны температурын хэлбэлзэл гэх мэт боржин чулуун суурь нь үүнийг тайван даван туулж чадна. Мэргэжлийн цочрол шингээгч шиг маш сайн чичиргээг сулруулах шинж чанар нь нарийвчлалтай статик даралтын агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцангийн чичиргээний далайцыг 80%-иас дээш хувиар бууруулж, тавцангийн чимээгүй, тогтвортой ажиллах орчныг бүрдүүлж, өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт эсвэл илрүүлэлтийн явцад хөдөлгөөн жигд, шударга байхыг баталгаажуулдаг.
Дулааны тогтвортой байдлын давуу тал, хяналтын нарийвчлалтай цөм
Температурын өөрчлөлт нь нарийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд нөлөөлдөг томоохон асуудал боловч дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттэй боржин чулуун суурь нь энэ асуудлыг амархан шийддэг. Дулааны тэлэлтийн коэффициент нь ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ бөгөөд температур өөрчлөгдөхөд хэмжээний өөрчлөлт хамгийн бага байдаг. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх фотолитографийн процесст байрлалын нарийвчлал нь данамилын түвшинд байх шаардлагатай бөгөөд температурын бага зэргийн өөрчлөлт нь чипийн хэв маягийн хазайлтад хүргэж болзошгүй юм. Боржин чулуун суурьтай тоноглогдсон нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформ нь нарийн төвөгтэй температурын орчинд байрлалын нарийвчлалыг үргэлж тогтвортой байлгаж, чип үйлдвэрлэлийг өндөр интеграци, гарцад хүрэхэд тусалж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хөгжилд хүчтэй түлхэц өгч чаддаг.
Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, бат бөх чанарын баталгаа
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн урт хугацаанд хэдийгээр тавцан болон суурийн хооронд агаарын хөвөгч тулгуур байдаг ч үрэлт байнга гарах нь зайлшгүй хэвээр байна. Боржин чулуун хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг нь 6-7 хэмд хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцан бөгөөд түүний боржин чулуун суурь нь ердийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, тавцангийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50%-иас дээш хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг эрс бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын үр ашигтай, тасралтгүй хөгжлийг хангах боломжтой.
Боржин чулуун суурьтай нарийн гидростатик агаарын хөвөгч тавцанг сонгох нь эцсийн нарийвчлал, маш сайн тогтвортой байдал, урт хугацааны бат бөх чанарыг сонгох явдал юм. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик багаж хэрэгсэл үйлдвэрлэл, сансар судлал, шинжлэх ухааны судалгаа, туршилт болон бусад нарийн шаардлагуудад энэ нь орлуулшгүй гол үүрэг гүйцэтгэж, салбарыг нарийвчлалын хязгаарыг давж, илүү боловсронгуй хөгжлийн үе шат руу чиглүүлж, таны карьерын амжилтанд бат бөх, найдвартай техникийн дэмжлэг үзүүлэхэд хүргэдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 9