Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны эрэл хайгуулын тэргүүн эгнээнд алдааны ул мөр бүр нээлт хийхээс сэргийлдэг "замын хаалт" болж магадгүй юм. Өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хянах гол тоног төхөөрөмж болохын хувьд нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформын гүйцэтгэл нь үр дүнгийн чанар, амжилтаас шууд хамаардаг. Нөлөөлөх олон хүчин зүйлсийн дунд хосгүй шинж чанараараа боржин чулуун суурь нь платформын маш сайн гүйцэтгэлийг хангах үндсэн элемент болсон.
Боржин чулуу, олон сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа хатуурч, дотоод бүтэц нь нягт, жигд, голчлон кварц, хээрийн жонш болон бусад ашигт малтмалтай нягт уялдаатай байдаг. Байгалийн гаралтай энэхүү өвөрмөц бүтэц нь боржин чулуун суурьт хэд хэдэн гайхалтай шинж чанарыг өгдөг.
Маш тогтвортой, гадны нөлөөллөөс тусгаарлагдсан
Гаднах орчин дахь чичиргээ нь статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн нарийвчлалын дайсан юм. Үйлдвэрийн талбай болон ойр орчмын замын хөдөлгөөнд том оврын машин, тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанаас үүсэх чичиргээ нь газрын хөрсөн дундуур хөдөлж буй тавцан руу дамжиж болно. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурь нь хатуу "газар хөдлөлтөд тэсвэртэй цайз" шиг юм. Түүний нарийн төвөгтэй болор бүтэц нь чичиргээг үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд практик туршилтаар дамжуулан платформ руу дамжих чичиргээний далайцыг 80% -иас илүү бууруулах боломжтой. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх цехэд фотолитографийн үйл явц нь нанометрийн түвшинд хүрэхийн тулд байршлын нарийвчлалыг шаарддаг бөгөөд боржин чулуун сууринд тулгуурласан нарийн статик даралттай агаарын хөвөх хөдөлгөөний платформ нь чичиргээний литографийн төхөөрөмжийн нарийн төвөгтэй чичиргээний орчинд тогтвортой ажиллагааг хангаж, хэлхээний сийлбэрийг үнэн зөв хийж, чипний схемийг сайжруулж чадна.
Сайн дулааны тогтвортой байдал, температурын өөрчлөлтөөс айдаггүй
Температурын хэлбэлзэл нь олон материалыг өргөжүүлэх, багасгахад хүргэдэг бөгөөд энэ нь төхөөрөмжийн нарийвчлалд нөлөөлнө. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурь нь ер бусын дулааны тогтвортой байдлыг харуулдаг бөгөөд түүний дулааны тэлэлтийн коэффициент маш бага, ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ байна. Одон орон судлалын салбарт боржин чулуун суурьтай том дуран линзийг нарийн тааруулахад ашигладаг өндөр нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөх хөдөлгөөнт платформ нь өдөр, шөнийн температурын зөрүү эрс өөрчлөгдсөн ч линзний байршлын нарийвчлалыг микроны түвшинд хадгалж, одон орон судлаачдад миний биетийн гүн дэх өөрчлөлтийг тодорхой олж илрүүлэхэд тусалдаг. орчлон ертөнц.
Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, урт хугацааны хэрэглээг хангах
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч платформын урт хугацаанд платформ ба суурийн хооронд агаарын хөвөх дэмжлэг байгаа хэдий ч тодорхой хэмжээний үрэлт байдаг. Боржингийн хатуулаг өндөр, Mohs хатуулаг нь 6-7 хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийн статик даралттай агаарын хөвөх хөдөлгөөний платформ, боржин чулуун суурь нь энгийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, платформын засвар үйлчилгээний хугацааг 50% -иас дээш хугацаагаар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангах боломжтой.
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформд зориулсан боржин чулуун суурийг сонгох нь нарийвчлал, тогтвортой байдал, бат бөх чанарыг эрэлхийлдэг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, оптик багажийн үйлдвэрлэл, сансар судлал, шинжлэх ухааны судалгаа, туршилтын салбарт бараг нарийн нарийвчлал шаарддаг боржин чулуун сууринд тулгуурласан нарийн статик даралттай агаарын хөвөх хөдөлгөөний платформ нь орлуулшгүй гол үүрэг гүйцэтгэж, янз бүрийн салбарыг өндөр нарийвчлалтай хөгжүүлэхэд түлхэц үзүүлж байна.
Шуудангийн цаг: 2025-04-09