Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцанг барихад суурийн сонголт нь платформын ерөнхий гүйцэтгэлд шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуун нарийн суурь болон цутгамал төмрийн суурь нь өөрийн гэсэн онцлогтой бөгөөд тогтвортой байдал, нарийвчлалын засвар үйлчилгээ, бат бөх чанар, өртөг зэрэг гол хэмжигдэхүүнүүдийн хувьд илэрхий ялгаатай байдаг.
Нэгдүгээрт, тогтвортой байдал: байгалийн нягт ба металл бүтэц
Олон сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа боржин чулуу нь кварц, хээрийн жонш болон бусад ашигт малтмалтай нягт нийлж, маш нягт, нэгэн төрлийн бүтэц үүсгэдэг. Үйлдвэрийн цехэд том тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанаас үүсэх хүчтэй чичиргээ зэрэг гадны хөндлөнгийн оролцоотой нөхцөлд боржин чулуун суурь нь нарийн төвөгтэй болор бүтэцдээ тулгуурлан үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь нарийн статик даралтын агаарын хөвөгч тавцангийн чичиргээний далайцыг 80% -иар бууруулж, платформын булангийн чулууг илрүүлэх процессын тогтвортой ажиллагааг хангана. Жишээлбэл, электрон чип үйлдвэрлэх фотолитографийн процесст чипийн хэв маягийн нарийн шинж чанарыг баталгаажуулдаг.
Цутгамал төмрийн суурь нь төмрийн нүүрстөрөгчийн хайлшаас цутгаж, дотоод бал чулуу нь хуудас эсвэл бөмбөрцөг хэлбэрээр тархсан. Энэ нь тодорхой чичиргээ дарах чадвартай боловч бүтцийн жигд байдал нь боржин чулуутай харьцуулахад тийм ч сайн биш юм. Өндөр эрчимтэй, тасралтгүй чичиргээтэй ажиллах үед цутгамал төмрийн суурь нь чичиргээний интерференцийг боржин чулуун суурьтай ижил түвшинд хүртэл бууруулахад хэцүү байдаг бөгөөд энэ нь нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн хөдөлгөөнд бага зэрэг хазайлт үүсгэж, хэт нарийвчлалтай үйл ажиллагааны явцад платформын нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм.
Хоёрдугаарт, нарийвчлалыг хадгалах: бага тэлэлтийн байгалийн давуу тал ба металлын дулааны өөрчлөлтийн сорилт
Боржин нь ихэвчлэн 5-7 × 10⁻⁶/℃ дулаан тэлэлтийн маш бага коэффициентээрээ алдартай. Температурын хэлбэлзлийн орчинд боржингийн нарийн суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тааруулах зориулалттай нарийн гидростатик агаарын хөвөгч платформыг боржин суурьтай хослуулсан нь өдөр шөнийн температурын зөрүү их байсан ч линзний байршлын нарийвчлалыг микрон доогуур түвшинд барьж, одон орон судлаачдад алс холын биетүүдийн нарийн динамикийг олж авахад тусалдаг.
Цутгамал төмрийн дулаан тэлэлтийн коэффициент харьцангуй өндөр, ерөнхийдөө 10-20 ×10⁻⁶/℃. Температур өөрчлөгдөхөд цутгамал төмрийн суурийн хэмжээ илт өөрчлөгддөг бөгөөд энэ нь статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн дулааны хэв гажилтыг үүсгэхэд хялбар бөгөөд энэ нь платформын хөдөлгөөний нарийвчлал буурахад хүргэдэг. Температурт мэдрэмтгий оптик линзийг нунтаглах явцад температурын нөлөөн дор цутгамал төмрийн суурийн хэв гажилт нь линзний нунтаглах нарийвчлалыг зөвшөөрөгдөх хэмжээнээс хэтрүүлж, линзний чанарт нөлөөлдөг.
Гуравдугаарт, бат бөх чанар: байгалийн чулуун өндөр хатуулаг, металлын ядаргаа
Боржингийн хатуулаг өндөр, Mohs хатуулаг 6-7 хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан, боржин чулуун суурь нь энгийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, платформын засвар үйлчилгээний хугацааг 50% -иас дээш хугацаагаар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангах боломжтой. Гэхдээ боржин чулуун материал нь харьцангуй хэврэг бөгөөд санамсаргүй цохилтод өртөх үед хагарах эрсдэлтэй байдаг.
Цутгамал төмрийн суурь нь тодорхой хатуулагтай бөгөөд тодорхой цохилтын хүчийг даах үед эвдэхэд хялбар биш юм. Гэсэн хэдий ч нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн өндөр давтамжийн поршений хөдөлгөөнийг удаан хугацаанд хийх явцад цутгамал төмрийг ядаргаа гэмтээж, улмаар дотоод бүтцэд өөрчлөлт орж, тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлал, тогтвортой байдалд нөлөөлдөг. Үүний зэрэгцээ, цутгамал төмөр нь чийглэг орчинд зэв, зэврэлтэнд өртөмтгий байдаг тул түүний бат бөх чанарыг бууруулдаг, эсрэгээр зэврэлтэнд тэсвэртэй боржин суурь нь илүү сайн байдаг.
Дөрөвдүгээрт, үйлдвэрлэлийн өртөг, боловсруулалтын хүндрэл: байгалийн чулуу олборлох, боловсруулахад тулгарч буй бэрхшээл, металл цутгах үйл явцын босго
Боржингийн түүхий эдийг олборлох, тээвэрлэх нь нарийн төвөгтэй бөгөөд боловсруулахад маш өндөр техник, технологи шаардагддаг. Өндөр хатуулагтай тул хэврэг, зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад процессууд нь нуралт, хагарал, өндөр хаягдалтай тул үйлдвэрлэлийн өндөр өртөгтэй байдаг.
Цутгамал төмрийн суурийг боловсорч гүйцсэн цутгамал аргаар үйлдвэрлэдэг, түүхий эдийн өргөн эх үүсвэр, харьцангуй хямд өртөгтэй. Мөөгөнцөр дамжуулан масс үйлдвэрлэл, үйлдвэрлэлийн өндөр үр ашигтай хүрч чадна. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурьтай ижил өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдалд хүрэхийн тулд цутгах үйл явц, боловсруулалтын дараах шаардлагууд нь маш хатуу бөгөөд нарийн боловсруулалт, хөгшрөлтийн эмчилгээ гэх мэтийг шаарддаг бөгөөд өртөг нь ч мэдэгдэхүйц өсөх болно.
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуун нарийн суурь нь өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг шаарддаг нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн хэрэглээний хувилбаруудад ихээхэн давуу талтай байдаг; Цутгамал төмрийн суурь нь өртөг, бат бөх чанараараа тодорхой давуу талтай бөгөөд нарийвчлалын шаардлага харьцангуй бага, зардлын үр ашгийг эрэлхийлэх, чичиргээ, температурын орчин харьцангуй тогтвортой байх үед тохиромжтой.
Шуудангийн цаг: 2025-04-09