Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцанг бүтээхэд суурийн сонголт нь тавцангийн нийт гүйцэтгэлд шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуун нарийвчлалтай суурь болон цутгамал төмрийн суурь нь өөрийн гэсэн онцлог шинж чанартай бөгөөд тогтвортой байдал, нарийвчлалын засвар үйлчилгээ, бат бөх чанар, өртөг зэрэг гол хэмжээсүүдэд илэрхий ялгаа байдаг.
Нэгдүгээрт, тогтвортой байдал: байгалийн нягт ба металл бүтэц
Сая сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа боржин чулуу нь кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисуудтай нягт нэгдэж маш нягт, жигд бүтэц үүсгэдэг. Үйлдвэрийн цехэд том тоног төхөөрөмжийн ажиллагаанаас үүссэн хүчтэй чичиргээ гэх мэт гадны нөлөөллийн үед боржин чулуун суурь нь нарийн төвөгтэй болор бүтэцдээ тулгуурлан үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн чичиргээний далайцыг 80%-иас дээш бууруулж, өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт эсвэл илрүүлэлтийн үед жигд хөдөлгөөнийг хангахын тулд тавцангийн тогтвортой ажиллагааны тулгуур чулууг бий болгодог. Жишээлбэл, электрон чип үйлдвэрлэх фотолитографийн процесст чипийн хэв маягийн нарийн шинж чанарыг баталгаажуулдаг.
Цутгамал төмрийн суурь нь төмөр-нүүрстөрөгчийн хайлшаар цутгасан бөгөөд доторх бал чулуу нь хуудас эсвэл бөмбөлөг хэлбэрээр тархсан байдаг. Хэдийгээр тодорхой чичиргээг намсгах чадвартай боловч бүтцийн жигд байдал нь боржин чулуутай харьцуулахад сайн биш юм. Өндөр эрчимтэй, тасралтгүй чичиргээтэй ажиллах үед цутгамал төмрийн суурь нь чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог боржин чулуун суурьтай ижил доод түвшинд бууруулахад хэцүү байдаг бөгөөд энэ нь нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн хөдөлгөөнд бага зэрэг хазайлт үүсгэж, хэт нарийвчлалтай ажиллагааны үед тавцангийн нарийвчлалын гүйцэтгэлд нөлөөлж болзошгүй юм.
Хоёрдугаарт, нарийвчлалыг хадгалах: бага тэлэлтийн байгалийн давуу талууд ба металлын дулааны өөрчлөлтийн бэрхшээл
Боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттой бөгөөд ихэвчлэн 5-7 × 10⁻⁶/℃ байдаг гэдгээрээ алдартай. Температурын хэлбэлзлийн орчинд боржин чулуун нарийвчлалын суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тохируулах зориулалттай гидростатик агаарын хөвөгч тавцанг боржин чулуун суурьтай хослуулсан бөгөөд өдөр шөнийн температурын зөрүү мэдэгдэхүйц байсан ч линзийн байрлалын нарийвчлалыг микроноос доош түвшинд байлгах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийн нарийн динамикийг авахад тусалдаг.
Цутгамал төмрийн дулааны тэлэлтийн коэффициент харьцангуй өндөр бөгөөд ерөнхийдөө 10-20 × 10⁻⁶/℃ байдаг. Температур өөрчлөгдөхөд цутгамал төмрийн суурийн хэмжээ илт өөрчлөгддөг бөгөөд энэ нь нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн дулааны деформацийг үүсгэж, тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалыг бууруулдаг. Температурт мэдрэмтгий оптик линзийг нунтаглах явцад температурын нөлөөгөөр цутгамал төмрийн суурийн деформаци нь линзний нунтаглалтын нарийвчлал зөвшөөрөгдөх хэмжээнээс хэтэрч, линзний чанарт нөлөөлж болзошгүй юм.
Гуравдугаарт, бат бөх чанар: байгалийн чулуун өндөр хатуулаг болон металлын ядрал
Боржин чулуун хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг 6-7 хүрч чаддаг, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан бөгөөд түүний боржин чулуун суурь нь ердийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, тавцангийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50 гаруй хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангаж чаддаг. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун материал нь харьцангуй хэврэг бөгөөд санамсаргүйгээр цохилтод өртөх үед хагарах эрсдэлтэй.
Цутгамал төмрийн суурь нь тодорхой хатуулагтай бөгөөд тодорхой цохилтын хүчийг даах үед эвдэрэхэд хялбар биш юм. Гэсэн хэдий ч өндөр давтамжтай харилцан хөдөлгөөний нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан удаан хугацаанд үргэлжлэх явцад цутгамал төмрийг ядрах, дотоод бүтцэд өөрчлөлт оруулж, тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлал, тогтвортой байдалд нөлөөлдөг. Үүний зэрэгцээ, цутгамал төмрийг чийглэг орчинд зэврэлт, зэврэлтэнд өртөмтгий болгодог тул бат бөх чанарыг нь бууруулдаг бол эсрэгээрээ боржин чулуун суурь нь зэврэлтэнд тэсвэртэй байдаг.
Дөрөвдүгээрт, үйлдвэрлэлийн өртөг ба боловсруулалтын хүндрэл: байгалийн чулуу олборлох, боловсруулахад тулгарч буй бэрхшээлүүд ба металл цутгах үйл явцын босго
Боржин чулуун түүхий эдийг олборлох, тээвэрлэх нь нарийн төвөгтэй бөгөөд боловсруулахад маш өндөр тоног төхөөрөмж, технологи шаардлагатай. Өндөр хатуулаг, хэврэг байдлаас шалтгаалан зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад процессууд нь нурах, хагарах, хаягдал ихтэй тул үйлдвэрлэлийн өртөг өндөр байдаг.
Цутгамал төмрийн суурийг боловсорсон цутгах процессоор, түүхий эдийн өргөн эх үүсвэрээр, харьцангуй хямд өртөгөөр үйлдвэрлэдэг. Хэвний тусламжтайгаар массын үйлдвэрлэл, өндөр үйлдвэрлэлийн үр ашгийг бий болгож чадна. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурьтай адил өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдалд хүрэхийн тулд цутгах процесс болон боловсруулалтын дараах шаардлага маш хатуу бөгөөд нарийн боловсруулалт, хөгшрөлтийн боловсруулалт гэх мэтийг шаарддаг бөгөөд өртөг нь мөн мэдэгдэхүйц нэмэгдэх болно.
Товчхондоо, боржин чулуун нарийвчлалтай суурь нь өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг шаарддаг нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн хэрэглээний хувилбаруудад мэдэгдэхүйц давуу талтай; Цутгамал төмрийн суурь нь өртөг, бат бөх чанарын хувьд тодорхой давуу талтай бөгөөд нарийвчлалын шаардлага харьцангуй бага, өртгийн үр ашгийг эрэлхийлэх, чичиргээ болон температурын орчин харьцангуй тогтвортой байх тохиолдолд тохиромжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 9