Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийн гинжин хэлхээнд вафли дамжуулах систем нь "чип үйлдвэрлэлийн шугамын амин чухал шугам" шиг бөгөөд түүний тогтвортой байдал, нарийвчлал нь чипийн гарцын хурдыг шууд тодорхойлдог. Шинэ үеийн вафли дамжуулах системүүд нь шугаман моторыг боржин чулуун суурьтай хувьсгал байдлаар хослуулсан бөгөөд боржин чулуун материалын өвөрмөц давуу талууд нь өндөр хүчин чадалтай дамжуулалтыг нээх гол түлхүүр юм.
Боржин чулуун суурь: Тогтвортой дамжуулалтын "чулуу шиг бат бөх суурь" бий болгох
Хэдэн зуун сая жилийн турш геологийн боловсронгуй байдлыг туулсан боржин чулуу нь нягт, жигд дотоод эрдэс талсжилттай байдаг. Энэхүү байгалийн шинж чанар нь үүнийг вафли дамжуулах системд хамгийн тохиромжтой суурь материал болгодог. Хагас дамжуулагч цэвэр өрөөний нарийн төвөгтэй орчинд хэт бага дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй (ердөө 5-7 × 10⁻⁶/℃) боржин чулуу нь тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны явцад үүссэн дулаан болон орчны температурын өөрчлөлтийн нөлөөллийг тэсвэрлэж, суурийн хэмжээний тогтвортой байдлыг хангаж, дулааны деформациас үүдэлтэй дамжуулах замын хазайлтаас зайлсхийдэг. Түүний гайхалтай чичиргээг намсгах чадвар нь шугаман моторыг асаах, унтраах, хурдатгах үед үүссэн механик чичиргээ, түүнчлэн цехийн бусад тоног төхөөрөмжийн ашиглалтаас үүдэлтэй гадны хөндлөнгийн оролцоог хурдан шингээж, вафли дамжуулахад "тэг чичиргээ" бүхий тогтвортой платформыг бий болгодог.
Үүний зэрэгцээ, боржин чулууны химийн тогтвортой байдал нь хүчил ба шүлтийн урвалжууд нь ууршимтгай бөгөөд өндөр цэвэршилт шаарддаг хагас дамжуулагч цехүүдэд зэврэхгүй, зэврэхгүй байхыг баталгаажуулдаг бөгөөд ингэснээр материалын хөгшрөлт эсвэл бохирдуулагчийн шингээлтээс үүдэлтэй дамжуулалтын нарийвчлалд үзүүлэх нөлөөллөөс зайлсхийдэг. Гөлгөр, нягт гадаргуугийн шинж чанар нь тоосны наалдацыг илүү үр дүнтэй бууруулж, цэвэр өрөөний тоосгүй хатуу стандартыг хангаж, үндэснээс нь вафлийн бохирдлын эрсдлийг арилгадаг.
Шугаман мотор болон боржин чулууны "алтан түншлэл"-ийн нөлөө
Шугаман мотор нь механик дамжуулалтын зайгүй, өндөр хурдатгалтай, өндөр хариу үйлдэл үзүүлэх хурдтай шинж чанартай тул вафер дамжуулалтад "хурдан, нарийвчлалтай, тогтвортой" гэсэн давуу талыг олгодог. Боржин чулуун суурь нь бат бөх, найдвартай тулгуур платформ болж өгдөг. Энэ хоёр нь хамтдаа гүйцэтгэлд үсрэлт хийхэд тусалдаг. Шугаман мотор нь вафер зөөгчийг боржин чулуун суурийн зам дээр ажиллуулахад суурийн бат бөх, тогтвортой байдал нь моторын хөдөлгөгч хүчний үр ашигтай дамжуулалтыг хангаж, суурийн хэв гажилтаас үүдэлтэй хүч алдагдах эсвэл дамжуулалтын саатал гарахаас зайлсхийдэг.
Нано хэмжээний нарийвчлалын эрэлт хэрэгцээнээс шалтгаалан шугаман мотор нь микроноос доош түвшний шилжилтийн хяналтыг хийж чаддаг. Боржин чулуун суурийн өндөр нарийвчлалтай боловсруулалтын шинж чанарууд (±1μм доторх тэгш байдлын алдааг хянадаг) нь шугаман моторын нарийн хяналттай төгс нийцэж, вафли дамжуулах үеийн байрлалын алдаа ±5μм-ээс бага байхыг баталгаажуулдаг. Төрөл бүрийн технологийн тоног төхөөрөмжийн хооронд өндөр хурдтай тээвэрлэлт хийх эсвэл вафли шилжүүлэх нарийн зогсоол хийх эсэхээс үл хамааран шугаман мотор болон боржин чулуун суурийн хослол нь вафли дамжуулахад "тэг хазайлт ба тэг чичиргээ"-г хангах боломжтой.
Салбарын практикийн баталгаажуулалт: Үр ашиг болон ургацын түвшинг давхар сайжруулах
Дэлхийн тэргүүлэгч хагас дамжуулагч үйлдвэр нь вафлийн дамжуулалтын системээ сайжруулсны дараа шугаман мотор + боржин чулуун суурьтай шийдлийг нэвтрүүлсэн нь вафлийн дамжуулалтын үр ашгийг 40% -иар нэмэгдүүлж, дамжуулалтын явцад мөргөлдөөн, шилжилт зэрэг алдааны тохиолдлын түвшинг 85% -иар бууруулж, чипийн нийт гарцын түвшинг 6% -иар сайжруулсан. Өгөгдлийн цаана боржин чулуун суурьтай дамжуулалтын тогтвортой байдлын баталгаа болон шугаман моторын өндөр хурдтай, нарийн синергийн нөлөө оршино. Энэ нь вафлийн дамжуулалтын процессын алдагдал, алдааг мэдэгдэхүйц бууруулдаг.
Материалын шинж чанараас эхлээд нарийн үйлдвэрлэл, гүйцэтгэлийн давуу талаас эхлээд практик баталгаажуулалт хүртэл шугаман мотор болон боржин чулуун суурийн хослол нь вафли дамжуулах системийн стандартыг шинээр тодорхойлсон. Ирээдүйд хагас дамжуулагч технологи 3nm болон 2nm процесс руу шилжих үед боржин чулуун материалууд нь орлуулшгүй давуу талуудаараа салбарын хөгжилд хүчтэй түлхэц өгөх нь гарцаагүй.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 14