Боржингийн нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн туршилтын стандартууд
Хэмжээний нарийвчлалын стандарт
Холбогдох салбарын хэм хэмжээний дагуу боржингийн нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гол хэмжээст хүлцлийг маш бага хүрээнд хянах шаардлагатай. Жирийн боржин чулууг хэмжих платформыг жишээ болгон авч үзвэл түүний урт ба өргөний хүлцэл нь ±0.05 мм-ээс ± 0.2 мм-ийн хооронд байх ба тодорхой утга нь бүрэлдэхүүн хэсгийн хэмжээ болон хэрэглээний хувилбарын нарийвчлалын шаардлагаас хамаарна. Жишээлбэл, өндөр нарийвчлалтай оптик линз нунтаглах платформ дээр хэмжээсийн хүлцлийг ± 0.05 мм-ээр хянах боломжтой бол ерөнхий боловсруулалтын хяналтын платформын хэмжээсийн хүлцлийг ± 0.2 мм хүртэл сулруулж болно. Нарийвчилсан мэдрэгчийг суурилуулахад ашигладаг боржин чулуун суурин дээрх бэхэлгээний нүх гэх мэт нүх, үүрний өргөн гэх мэт дотоод хэмжигдэхүүнүүдийн хувьд хүлцлийн нарийвчлал нь бас хатуу байдаг, мэдрэгчийн суурилуулалтын нарийвчлал, тогтвортой байдлыг хангахын тулд нүхний хүлцлийг ± 0.02 мм-ээр хянаж байх ёстой. .
Хавтгай байдлын стандарт
Хавтгай байдал нь боржингийн нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн чухал үзүүлэлт юм. Үндэсний стандарт/Германы стандартын дагуу янз бүрийн нарийвчлалын зэрэглэлийн боржин чулуун тавцангийн тэгш байдлын хүлцлийг тодорхой зааж өгсөн болно. 000 ангиллын тавцангийн тэгш байдлын хүлцлийг 1×(1 + d/1000)мкм (d нь диагональ урт, нэгж мм), 00 ангид 2×(1 + d/1000)мкм, 0 ангид 4×(1 + d/1000)мкм, 0 ангиллын хувьд 8×(1 + d/1000)мкм, жишээ нь 0 ангиллын хувьд 8×(1 + d/10) гэж тооцдог. 1000мм диагональ бүхий боржин чулуун платформ нь 2×(1 + 1000/1000)μm = 4μm тэгш байдлыг тэсвэрлэх чадвартай. Цахим чип үйлдвэрлэх процесст литографийн платформ гэх мэт практик хэрэглээнд чип литографийн үйл явц дахь гэрлийн тархалтын замын нарийвчлалыг баталгаажуулж, платформын тэгш байдлын алдаанаас үүдэлтэй чипийн хэв маягийн гажуудлаас зайлсхийхийн тулд ихэвчлэн 000 эсвэл 00 түвшний тэгш байдлын стандартыг хангасан байх шаардлагатай. .
Гадаргуугийн барзгар байдлын стандарт
Боржингийн нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гадаргуугийн тэгш бус байдал нь бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдтэй тохирох нарийвчлал, гүйцэтгэлд шууд нөлөөлдөг. Хэвийн нөхцөлд оптик эд ангиудад ашигладаг боржин чулуун тавцангийн гадаргуугийн барзгар байдал Ra нь 0.1μm-0.4μm хүрэх ёстой бөгөөд ингэснээр оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь суурилуулсны дараа оптикийн сайн гүйцэтгэлийг хадгалж, тэгш бус гадаргуугаас үүсэх гэрлийн тархалтыг бууруулна. Машины туршилтанд ашигладаг энгийн боржингийн тавцангийн хувьд гадаргуугийн барзгар байдлыг Ra 0.8μm-1.6μm хүртэл сулруулж болно. Гадаргуугийн барзгар байдлыг ихэвчлэн профилатор гэх мэт мэргэжлийн тоног төхөөрөмж ашиглан илрүүлдэг бөгөөд энэ нь гадаргуугийн микроскопийн профилын арифметик дундаж хазайлтыг хэмжих замаар гадаргуугийн тэгш бус байдлын үзүүлэлт стандартад нийцэж байгаа эсэхийг тодорхойлдог. .
Дотоод согог илрүүлэх стандартууд
Боржингийн нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дотоод чанарыг хангахын тулд тэдгээрийн дотоод согогийг хатуу илрүүлэх шаардлагатай. Хэт авианы хяналтыг холбогдох стандартын дагуу ашиглахдаа тодорхой хэмжээнээс илүү нүх, хагарал болон бусад согог (диаметр нь 2 мм-ээс их) илэрсэн тохиолдолд бүрэлдэхүүн хэсэг нь шаардлага хангаагүй гэж үздэг. Рентген шинжилгээнд хэрэв рентген зураг дээр 10мм-ээс дээш урттай шугаман согог эсвэл 50мм²-ээс их талбай бүхий эрчимтэй гэмтэл зэрэг эд ангиудын бүтцийн бат бөх байдалд нөлөөлдөг тасралтгүй дотоод согогууд илэрвэл уг бүрэлдэхүүн хэсэг нь чанарын стандартад нийцэхгүй байна. Эдгээр стандартыг чанд мөрдөж хэрэгжүүлснээр ашиглалтын явцад үүссэн дотоод согогийн улмаас эд ангиудын хугарал зэрэг ноцтой асуудлаас үр дүнтэй зайлсхийх, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын аюулгүй байдал, бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангах боломжтой. .
Аж үйлдвэрийн хяналтын шийдлийн архитектур
Өндөр нарийвчлалтай хэмжих төхөөрөмжийг нэгтгэх
Боржингийн нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг илрүүлэх асуудлыг даван туулахын тулд дэвшилтэт хэмжих төхөөрөмжийг нэвтрүүлэх шаардлагатай байна. Лазер интерферометр нь урт ба өнцгийн хэмжилтийн хувьд туйлын өндөр нарийвчлалтай бөгөөд боржин чулуун эд ангиудын гол хэмжигдэхүүнийг нарийн хэмжиж чаддаг бөгөөд хэмжилтийн нарийвчлал нь нанометр хүртэл байж болох бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай хэмжээсийн хүлцлийн илрүүлэх шаардлагыг үр дүнтэй хангаж чадна. Үүний зэрэгцээ цахим түвшинг ашиглан платформын боржин чулуун эд ангиудын тэгш байдлыг хурдан бөгөөд үнэн зөв хэмжиж, олон цэгт хэмжилт хийж, мэргэжлийн алгоритмуудтай хослуулан 0.001 мм/м хүртэлх нарийвчлалтай тэгш байдлын профайлыг нарийн зурах боломжтой. Түүнчлэн, 3D оптик сканнер нь боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгийн нарийн төвөгтэй гадаргууг хурдан сканнердаж гурван хэмжээст бүрэн загвар гаргах боломжтой бөгөөд энэ нь дизайны загвартай харьцуулах замаар хэлбэрийн хазайлтыг нарийн илрүүлж, бүтээгдэхүүний чанарын үнэлгээнд өгөгдлийн иж бүрэн дэмжлэг үзүүлдэг. .
Үл үл эвдэх туршилтын технологийг ашиглах
Боржингийн дотоод согог нь бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гүйцэтгэлд аюул учруулж болзошгүй тул үл эвдэх туршилтыг хийх нь чухал юм. Хэт авианы согог илрүүлэгч нь өндөр давтамжийн хэт авиан ялгаруулж, дууны долгион нь боржин чулуун доторх хагарал, нүх болон бусад согогтой тулгарах үед тусгаж, тархах бөгөөд туссан долгионы дохиог шинжилж, согогийн байршил, хэмжээ, хэлбэрийг нарийн тодорхойлох боломжтой. Жижиг согогийг илрүүлэхийн тулд рентген туяаны согог илрүүлэх технологи нь илүү давуу талтай бөгөөд энэ нь боржингийн материалыг нэвтлэн дотоод бүтцийн дүр төрхийг бий болгож, энгийн нүдээр илрүүлэхэд хэцүү нарийн согогийг тодорхой харуулж, бүрэлдэхүүн хэсгийн дотоод чанарыг найдвартай болгодог. .
Ухаалаг илрүүлэх програм хангамжийн систем
Хүчирхэг ухаалаг илрүүлэх програм хангамжийн систем нь бүх шийдлийн гол зангилаа юм. Систем нь бүх төрлийн туршилтын төхөөрөмжөөр цуглуулсан мэдээллийг бодит цаг хугацаанд нэгтгэн дүгнэж, дүн шинжилгээ хийж, боловсруулах боломжтой. Хиймэл оюун ухааны алгоритмуудыг ашиглан уг программ хангамж нь өгөгдлийн онцлогийг автоматаар тодорхойлж, боржин чулуун эд анги нь чанарын стандартад нийцэж байгаа эсэхийг тодорхойлж, илрүүлэх үр ашиг, нарийвчлалыг ихээхэн сайжруулдаг. Жишээлбэл, их хэмжээний шалгалтын өгөгдлийг гүнзгий суралцах загваруудаар сургаснаар програм хангамж нь гадаргуугийн согогийн төрөл, ноцтой байдлыг хурдан бөгөөд үнэн зөв тодорхойлж, гараар тайлбарлахаас үүдэлтэй буруу дүгнэлтээс зайлсхийх боломжтой. Үүний зэрэгцээ програм хангамжийн систем нь туршилтын нарийвчилсан тайланг гаргаж, бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийн туршилтын өгөгдөл, үр дүнг бүртгэх боломжтой бөгөөд энэ нь аж ахуйн нэгжүүдэд чанарыг хянах, удирдахад тохиромжтой. .
Хяналт шалгалтын шийдэл дэх ZHHIMG-ийн ашиг тус
Салбарын тэргүүлэгчийн хувьд ZHHIMG нь боржин чулууны нарийн бүрэлдэхүүн хэсгийн шалгалтын чиглэлээр баялаг туршлага хуримтлуулсан. Тус компани нь үйлчлүүлэгчдийн тусгай хэрэгцээнд нийцүүлэн туршилтын шийдлүүдийн дагуу туршилтын технологийг шинэчилж, оновчтой болгохыг байнга тууштай хийдэг мэргэжлийн R & D багтай. ZHHIMG нь олон улсын дэвшилтэт туршилтын төхөөрөмжийг нэвтрүүлж, туршилт бүрийг салбарын дээд түвшинд хүргэхийн тулд чанарын хатуу хяналтын тогтолцоог бий болгосон. Үйлчилгээний хувьд тус компани нь туршилтын схемийн зураг төсөл, тоног төхөөрөмжийг суурилуулах, ашиглалтад оруулахаас эхлээд боловсон хүчнийг сургах хүртэл нэг цэгийн үйлчилгээг үзүүлж, үйлчлүүлэгчдэд туршилтын шийдлүүдийг саадгүй ашиглах, бүтээгдэхүүний чанарын хяналтын чадавхийг сайжруулах боломжийг олгодог.
Шуудангийн цаг: 2025-03-24