Боржин чулуун эд ангиудын нарийвчлалын туршилтын стандартууд
Хэмжээст нарийвчлалын стандарт
Холбогдох салбарын нормын дагуу боржин чулуун нарийвчлалын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гол хэмжээст хүлцлийг маш бага хүрээнд хянах шаардлагатай. Жишээ нь, боржин чулуун хэмжих тавцангийн урт ба өргөний хүлцэл нь ±0.05 мм-ээс ±0.2 мм-ийн хооронд байх бөгөөд тодорхой утга нь бүрэлдэхүүн хэсгийн хэмжээ болон хэрэглээний нарийвчлалын шаардлагаас хамаарна. Жишээлбэл, өндөр нарийвчлалтай оптик линз нунтаглах тавцанд хэмжээст хүлцлийг ±0.05 мм-д хянаж болох бол ерөнхий боловсруулалтын хяналтын тавцангийн хэмжээст хүлцлийг ±0.2 мм хүртэл сулруулж болно. Нүх болон үүрний өргөн зэрэг дотоод хэмжээсүүдийн хувьд хүлцлийн нарийвчлал нь мөн хатуу чанд байдаг, тухайлбал нарийн мэдрэгчийг суурилуулахад ашигладаг боржин чулуун суурь дээрх бэхэлгээний нүх гэх мэт мэдрэгчийн суурилуулалтын нарийвчлал, тогтвортой байдлыг хангахын тулд нүхний хүлцлийг ±0.02 мм-д хянаж байх ёстой.
Хавтгай байдлын стандарт
Хавтгай байдал нь боржин чулуун нарийвчлалын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн чухал үзүүлэлт юм. Үндэсний стандарт/Германы стандартын дагуу боржин чулуун тавцангийн янз бүрийн нарийвчлалын зэрэглэлийн хавтгай байдлын хүлцлийг тодорхой заасан байдаг. 000 ангиллын тавцангийн хавтгай байдлын хүлцлийг 1×(1 + d/1000)μm (d нь диагональ урт, нэгж мм), 00 ангиллын хувьд 2×(1 + d/1000)μm, 0 ангиллын хувьд 4×(1 + d/1000)μm, 1 ангиллын хувьд 8×(1 + d/1000)μm гэж тооцоолдог. Жишээлбэл, 1000мм диагональтай 00 ангиллын боржин чулуун тавцан нь хавтгай байдлын хүлцэл нь 2×(1 + 1000/1000)μm = 4μm байна. Электрон чип үйлдвэрлэх процесст литографийн платформ гэх мэт практик хэрэглээнд чип литографийн процесст гэрлийн тархалтын замын нарийвчлалыг хангах, платформын хавтгай байдлын алдаанаас үүдэлтэй чипийн хэв маягийн гажуудлаас зайлсхийхийн тулд 000 эсвэл 00 түвшний хавтгай байдлын стандартыг хангах шаардлагатай байдаг.
Гадаргуугийн барзгаржилтын стандарт
Боржин чулуун нарийн эд ангиудын гадаргуугийн барзгар байдал нь бусад эд ангиудтай тохирох нарийвчлал болон гүйцэтгэлд шууд нөлөөлдөг. Ердийн нөхцөлд оптик эд ангиудад ашигладаг боржин чулуун тавцангийн гадаргуугийн барзгаржилтын Ra нь 0.1μm-0.4μm хүрэх ёстой бөгөөд ингэснээр оптик эд ангиуд суурилуулсны дараа сайн оптик гүйцэтгэлийг хадгалж, тэгш бус гадаргуугаас үүдэлтэй гэрлийн тархалтыг бууруулж чадна. Машины туршилтад ашигладаг ердийн боржин чулуун тавцангийн хувьд гадаргуугийн барзгаржилтын Ra-г 0.8μm-1.6μm хүртэл сулруулж болно. Гадаргуугийн барзгаржилтыг ихэвчлэн профильч гэх мэт мэргэжлийн тоног төхөөрөмж ашиглан илрүүлдэг бөгөөд энэ нь гадаргуугийн микроскопийн профайлын арифметик дундаж хазайлтыг хэмжих замаар гадаргуугийн барзгаржилтын утга стандартад нийцэж байгаа эсэхийг тодорхойлдог.
Дотоод согогийг илрүүлэх стандартууд
Боржин чулуун нарийн эд ангиудын дотоод чанарыг баталгаажуулахын тулд тэдгээрийн дотоод согогийг нарийн тодорхойлох шаардлагатай. Холбогдох стандартын дагуу хэт авиан шинжилгээг ашиглах үед тодорхой хэмжээнээс (жишээлбэл, 2 мм-ээс их диаметртэй) том нүх, ан цав болон бусад согог илэрсэн тохиолдолд эд ангийг шаардлага хангаагүй гэж үзнэ. Рентген шинжилгээнд рентген зураг дээр 10 мм-ээс их урттай шугаман согог эсвэл 50 мм²-ээс их талбайтай эрчимтэй согог зэрэг эд ангийн бүтцийн бат бөх чанарт нөлөөлдөг тасралтгүй дотоод согог илэрвэл уг эд анги нь чанарын стандартыг хангаагүй болно. Эдгээр стандартыг чанд мөрдөж хэрэгжүүлснээр ашиглалтын явцад дотоод согогоос үүдэлтэй эд ангиудын хугарал зэрэг ноцтой асуудлаас үр дүнтэй зайлсхийж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын аюулгүй байдал, бүтээгдэхүүний чанарын тогтвортой байдлыг хангах боломжтой.
Аж үйлдвэрийн хяналтын шийдлийн архитектур
Өндөр нарийвчлалтай хэмжих тоног төхөөрөмжийн нэгтгэл
Боржин чулуун нарийн бүрэлдэхүүн хэсгийг илрүүлэх асуудлыг даван туулахын тулд дэвшилтэт хэмжих төхөөрөмжийг нэвтрүүлэх шаардлагатай байна. Лазер интерферометр нь урт ба өнцгийн хэмжилтийн маш өндөр нарийвчлалтай бөгөөд боржин чулуун бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гол хэмжээсийг нарийн хэмжиж чаддаг бөгөөд түүний хэмжилтийн нарийвчлал нь нанометр хүртэл байж болох бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай хэмжээст хүлцлийн илрүүлэх шаардлагыг үр дүнтэй хангаж чадна. Үүний зэрэгцээ, цахим түвшинг ашиглан платформ боржин чулуун бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн тэгш байдлыг хурдан бөгөөд нарийвчлалтай хэмжиж, олон цэгийн хэмжилтээр болон мэргэжлийн алгоритмуудтай хослуулан 0.001 мм/м хүртэл нарийвчлалтай хавтгай байдлын профайлыг зурж болно. Үүнээс гадна, 3D оптик сканнер нь боржин чулуун бүрэлдэхүүн хэсгийн нарийн төвөгтэй гадаргууг хурдан сканнердаж, гурван хэмжээст загварыг бүрэн гаргаж, дизайны загвартай харьцуулж хэлбэрийн хазайлтыг нарийн илрүүлж, бүтээгдэхүүний чанарын үнэлгээнд цогц өгөгдлийн дэмжлэг үзүүлдэг.
Үл эвдэх туршилтын технологийн хэрэглээ
Дотоод боржин чулуун согог нь эд ангийн гүйцэтгэлд учирч болзошгүй аюулыг харгалзан үзвэл эвдэхгүй туршилт хийх нь чухал юм. Хэт авианы согог илрүүлэгч нь өндөр давтамжийн хэт авиан ялгаруулж чаддаг бөгөөд дууны долгион нь боржин чулуун доторх ан цав, нүх болон бусад согогтой тулгарах үед тусч, тархдаг бөгөөд туссан долгионы дохиог шинжилснээр согогийн байршил, хэмжээ, хэлбэрийг нарийн тодорхойлж чаддаг. Жижиг согогийг илрүүлэхийн тулд рентген туяаны согог илрүүлэх технологи нь илүү давуу талтай бөгөөд боржин чулуун материалд нэвтэрч, дотоод бүтцийн дүрсийг үүсгэж, нүцгэн нүдээр илрүүлэхэд хэцүү нарийн согогийг тодорхой харуулж, эд ангийн дотоод чанарыг найдвартай байлгах боломжтой.
Ухаалаг илрүүлэх програм хангамжийн систем
Хүчирхэг ухаалаг илрүүлэх програм хангамжийн систем нь бүхэл бүтэн шийдлийн гол төв юм. Систем нь бүх төрлийн туршилтын тоног төхөөрөмжөөр цуглуулсан өгөгдлийг бодит цаг хугацаанд нэгтгэн дүгнэж, шинжилж, боловсруулж чаддаг. Хиймэл оюун ухааны алгоритмыг ашиглан програм хангамж нь өгөгдлийн шинж чанарыг автоматаар тодорхойлж, боржин чулуун эд ангиуд чанарын стандартыг хангаж байгаа эсэхийг тодорхойлж, илрүүлэлтийн үр ашиг, нарийвчлалыг эрс сайжруулж чадна. Жишээлбэл, гүнзгий сургалтын загвараар их хэмжээний үзлэгийн өгөгдлийг сургаснаар програм хангамж нь гадаргуугийн согогийн төрөл, ноцтой байдлыг хурдан бөгөөд үнэн зөв тодорхойлж, гараар тайлбарласнаас үүдэлтэй алдаатай дүгнэлтээс зайлсхийх боломжтой. Үүний зэрэгцээ, програм хангамжийн систем нь нарийвчилсан туршилтын тайлан гаргаж, бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийн туршилтын өгөгдөл, үр дүнг бүртгэж чаддаг бөгөөд энэ нь аж ахуйн нэгжүүдэд чанарын хяналт, менежментийг хийхэд тохиромжтой юм.
ZHHIMG-ийн хяналтын шийдлүүдийн ашиг тус
Салбарын тэргүүлэгч компанийн хувьд ZHHIMG нь боржин чулуун нарийн эд ангийн шалгалтын чиглэлээр баялаг туршлага хуримтлуулсан. Тус компани нь мэргэжлийн судалгаа, хөгжүүлэлтийн багтай бөгөөд үйлчлүүлэгчдийн тусгай хэрэгцээнд нийцүүлэн туршилтын технологийг шинэчлэх, оновчтой болгоход байнга анхаарч ажилладаг. ZHHIMG нь олон улсын дэвшилтэт туршилтын тоног төхөөрөмжийг нэвтрүүлж, туршилт бүр салбарын дээд түвшинд хүрэхийн тулд чанарын хяналтын хатуу тогтолцоог бий болгосон. Үйлчилгээний хувьд тус компани нь туршилтын схемийн зураг төсөл, тоног төхөөрөмж суурилуулах, ашиглалтад оруулахаас эхлээд ажилтнуудын сургалт хүртэл нэг цэгийн үйлчилгээг үзүүлдэг бөгөөд ингэснээр үйлчлүүлэгчид туршилтын шийдлүүдийг жигд хэрэгжүүлж, бүтээгдэхүүний чанарын хяналтын чадавхийг сайжруулах боломжтой болно.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 3-р сарын 24