Боржин чулуу нь янз бүрийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм.Өндөр тогтвортой, хатуу материал болох боржин чулууг хагас дамжуулагч боловсруулах тоног төхөөрөмжийн суурь болгон өргөн ашигладаг.Энэ нь дулааны тэлэлтийн бага коэффициент, өндөр хэмжээст тогтвортой байдал, маш сайн механик шинж чанараараа онцлог юм.Эдгээр шинж чанаруудаас шалтгаалан боржин чулууг хэмжилзүйн төхөөрөмж, литографийн төхөөрөмж, хяналтын төхөөрөмж гэсэн гурван өөр төрлийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ихэвчлэн ашигладаг.
Хэмжилзүйн төхөөрөмжийг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн чухал хэмжигдэхүүнийг хэмжих, илрүүлэхэд ашигладаг.Энэ нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үйл явцын чанар, тууштай байдлыг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.Хэмжилзүйн тоног төхөөрөмжид оптик микроскоп, электрон микроскоп, атомын хүчний микроскоп (AFM) зэрэг багажууд орно.Эдгээр хэмжих хэрэгслийн гүйцэтгэл нь тэдгээрийн тогтвортой байдал, нарийвчлал, чичиргээний эсэргүүцэл зэргээс хамаардаг тул боржин чулуу нь орны материалын хувьд хамгийн тохиромжтой сонголт юм.Боржингийн давхаргын жигд байдал, тогтвортой байдал нь багаж хэрэгслийн тогтвортой тавцанг бүрдүүлдэг бөгөөд энэ нь тэдгээрийн нарийвчлал, найдвартай байдлыг нэмэгдүүлдэг.
Литографийн төхөөрөмжийг валют дээрх микрочипийн хэв маягийг хийхэд ашигладаг.Литографийн процесс нь нарийн төвөгтэй хэлхээ үүсгэх, чипийн гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд өндөр түвшний нарийвчлал, нарийвчлал шаарддаг.Литографийн төхөөрөмж нь гэрэл ашиглан дүрсийг вафель руу шилжүүлэхийн тулд stepper болон сканнерийн системийг агуулдаг.Литографийн үйл явц нь чичиргээ болон дулааны өөрчлөлтөд маш мэдрэмтгий байдаг тул литографийн үйл явцын тогтвортой байдал, давталтыг хангахын тулд өндөр чанартай ор нь зайлшгүй шаардлагатай.Боржин чулуун ор нь литографийн системд шаардлагатай тогтвортой байдал, чичиргээг багасгах гүйцэтгэлийг хангадаг.Боржин чулуун ор нь шатлагч эсвэл сканнерийн системд орон зайн нарийн харилцааг хадгалах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлал, эцсийн бүтээгдэхүүний чанарыг баталгаажуулдаг.
Шалгалтын төхөөрөмжийг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн аливаа согогийг илрүүлэхэд ашигладаг.Хяналтын төхөөрөмжид лазер сканнерийн микроскоп, электрон микроскоп, оптик микроскоп зэрэг системүүд орно.Эдгээр төхөөрөмжүүд нь өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой, чичиргээнд тэсвэртэй байх шаардлагатай тул боржин чулуун ор нь төгс материал юм.Боржингийн механик шинж чанар, хэмжээсийн тогтвортой байдал нь чичиргээг тусгаарлахад тусалдаг бөгөөд энэ нь хяналтын төхөөрөмжийн гаралтын нарийвчлалыг нэмэгдүүлдэг.
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуу нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал ач холбогдолтой бөгөөд янз бүрийн төрлийн тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг.Хэмжээст тогтвортой байдал, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент, маш сайн механик тогтвортой байдал зэрэг өвөрмөц шинж чанарууд нь боржин чулууг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн ор материалын хамгийн тохиромжтой сонголт болгодог.Өндөр чанартай боржин чулуу нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид шаардлагатай тогтвортой байдал, нарийвчлал, чичиргээний эсэргүүцлийг хангадаг тул эцсийн бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг.Тиймээс хагас дамжуулагч төхөөрөмжид боржин чулуун хавтанг ашиглах нь ирэх жилүүдэд ч үргэлжлэх нь дамжиггүй.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 03-ны хооронд