Боржин чулуун материалыг өндөр тогтвортой байдал, бага дулааны тэлэлт, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал зэрэг маш сайн шинж чанаруудын улмаас хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн ашигладаг. Эдгээр шинж чанарууд нь боржин чулууг вафли дамжуулах системд өндөр нарийвчлалтай эд ангиудыг барихад тохиромжтой материал болгодог.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст вафли дамжуулах систем нь үйлдвэрлэлийн процессын янз бүрийн үе шатуудад вафли тээвэрлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эдгээр системд нарийвчлал, нарийвчлал чухал үүрэг гүйцэтгэдэг, учир нь бага зэрэг хазайлт ч гэсэн бүхэл бүтэн үйл явцыг аюулд оруулж болзошгүй юм. Тиймээс вафли дамжуулах системийн эд ангиудыг өндөр чанартай материалаар хийсэн байх ёстой бөгөөд боржин чулуу нь эдгээр шалгуурыг хангасан байх ёстой.
Боржин чулуун материалаар хийгдсэн вафли дамжуулах системийн зарим хэсэгт дараахь зүйлс орно.
1. Вакуум Чакны Хүснэгт
Вакуум патрон ширээг процессын явцад ваферийг барихад ашигладаг бөгөөд вафер гэмтэхээс сэргийлэхийн тулд тогтвортой гадаргуутай байх ёстой. Боржин чулуу нь өндөр тогтвортой байдал, нарийвчлалыг хангадаг хавтгай, сүвэрхэг бус гадаргуутай тул энэ ширээг хийхэд хамгийн тохиромжтой материал юм. Нэмж дурдахад, боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй тул ваферт хэмжээст өөрчлөлт оруулж болзошгүй температурын өөрчлөлтөд тэсвэртэй болгодог.
2. Агааржуулах шат
Агаар агуулсан шатыг үйлдвэрлэлийн процессын янз бүрийн үе шатуудаар дамжин ваферийг тээвэрлэхэд ашигладаг. Шатыг үрэлтгүй хөдөлгөөнөөр хангахаар зохион бүтээсэн бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдлыг шаарддаг. Боржин чулууг энэ зорилгоор ашигладаг, учир нь энэ нь хатуу бөгөөд хатуу чулуу бөгөөд цаг хугацааны явцад хэв гажилт, элэгдэлд тэсвэртэй байдаг.
3. Шугаман хөдөлгөөний чиглүүлэгч
Шугаман хөдөлгөөний чиглүүлэгчийг агаар агуулсан үе шатыг чиглүүлэхэд ашигладаг бөгөөд алдааг багасгахын тулд тэдгээрийг нарийн байрлуулсан байх ёстой. Энэхүү чиглүүлэгчийг бүтээхэд боржин чулуу ашигладаг, учир нь энэ нь маш сайн механик тогтвортой байдал, бат бөх чанартай. Мөн материал нь зэврэлтэнд тэсвэртэй тул чиглүүлэгч системийн удаан эдэлгээтэй байдлыг баталгаажуулдаг.
4. Хэмжилзүйн тоног төхөөрөмж
Үйлдвэрлэлийн явцад вафлийн хэмжээс болон шинж чанарыг хэмжихэд хэмжилзүйн төхөөрөмжийг ашигладаг. Боржин чулуу нь өндөр хатуулагтай, бага тэлэлттэй, ачааллын дор деформаци багатай тул энэхүү төхөөрөмжийг бүтээхэд хамгийн тохиромжтой материал юм. Түүнчлэн, боржин чулууны дулааны тогтвортой байдал нь хэмжилзүйн төхөөрөмжийг цаг хугацааны явцад тогтвортой, нарийвчлалтай байлгахыг баталгаажуулдаг.
Эцэст нь хэлэхэд, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь нарийвчлал, нарийвчлалд тулгуурладаг бөгөөд боржин чулуун материалууд нь үйлдвэрлэлийн процесст маш найдвартай, тогтвортой болох нь батлагдсан. Вафли дамжуулах системийн олон чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь өндөр тогтвортой байдал, нарийвчлал, бага дулааны тэлэлт шаарддаг тул инженерүүд эдгээр чухал шаардлагыг хангахын тулд боржин чулуун материалыг ашиглаж эхэлсэн.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 3-р сарын 19