Боржин чулуу нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид ашиглагддаг хамгийн алдартай материалуудын нэг юм. Энэ нь саарал, ягаан, цагаан өнгийн янз бүрийн сүүдэртэй хатуу, магмын чулуулгийн нэг төрөл юм. Боржин чулуу нь бат бөх чанар, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент, маш сайн дулаан дамжуулалтаараа алдартай тул хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн дэд системд ашиглахад тохиромжтой материал юм.
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид боржин чулууг ашигладаг үндсэн дэд системүүдийн нэг бол вафли боловсруулах дэд систем юм. Энэхүү дэд систем нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Вафли нь төхөөрөмжийн эхлэлийн суурь бөгөөд боловсруулах, боловсруулах дэд систем нь вафлиг өөр өөр камер болон боловсруулах тоног төхөөрөмжийн хооронд дамжуулах үүрэгтэй. Боржин чулууг өндөр нарийвчлалтай, хавтгай вафли боловсруулах гадаргууг бий болгоход ашигладаг бөгөөд вафли боловсруулах тогтвортой платформ болдог.
Боржин чулуу ашигладаг өөр нэг чухал дэд систем бол вакуум дэд систем юм. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдэд үйлдвэрлэлийн явцад бохирдлоос зайлсхийхийн тулд вакуум камер ашигладаг. Энэ системийг үр дүнтэй ажиллуулахын тулд камерыг бүрэн битүүмжлэх ёстой бөгөөд энэ нь боржин чулууг ашиглахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуу нь вакуум камерт хамгийн тохиромжтой материал юм, учир нь энэ нь маш бага хий ялгаруулдаг бөгөөд вакуум орчныг тогтвортой байлгаж чаддаг. Нэмж дурдахад, боржин чулуун өндөр боловсруулалтын нарийвчлал нь төгс битүүмжлэлийг бий болгох боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь вафер боловсруулах найдвартай вакуум орчныг бүрдүүлдэг.
Боржин чулуун өвөрмөц шинж чанарыг ашигладаг өөр нэг чухал систем бол тэгшлэх дэд систем юм. Энэхүү дэд систем нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн янз бүрийн хэсгүүдийг нарийвчлалтай, нарийвчлалтай тэгшлэх үүрэгтэй. Боржин чулууг тэгшлэх үе шатуудын зураг төсөл, угсралтад өндөр хатуулаг, тогтвортой байдлыг хангах зорилгоор ашигладаг. Боржин чулуун өндөр хатуулаг нь тэгшлэх өндөр нарийвчлалд хүрэхэд тусалдаг бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай, найдвартай хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд хүргэдэг.
Эцэст нь, хэмжилзүйн дэд систем нь боржин чулуу ашигладаг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн өөр нэг систем юм. Хэмжил зүй нь вафли боловсруулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд энэхүү дэд системийн нарийвчлал нь төхөөрөмжийн чанарыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуу нь чичиргээг бууруулж, температурын хэлбэлзлийн нөлөөллийг багасгахад тусалдаг тогтвортой, хатуу платформ юм. Энэ нь эргээд хэмжилзүйн дэд системд өндөр нарийвчлалтай хэмжилт хийхэд тусалдаг бөгөөд өндөр чанартай хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд хүргэдэг.
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуу нь хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд чухал материал юм. Өндөр хатуулаг, бага дулааны тэлэлт, маш сайн дулаан дамжуулалт зэрэг өвөрмөц шинж чанарууд нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хэд хэдэн дэд системд, тухайлбал вафер боловсруулах, вакуум дэд систем, тохируулгын дэд систем, хэмжилзүйн дэд системд маш сайн материал болдог. Түүнчлэн, хагас дамжуулагч төхөөрөмжид боржин чулууг ашиглах нь олон салбарыг өөрчилсөн өндөр нарийвчлалтай, найдвартай, үр ашигтай төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд тусалсан.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 3-р сарын 19