Хагас дамжуулагч ба оптоэлектроник үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид боржин чулууг голчлон нарийн хөдөлгөөнт платформ, чиглүүлэгч төмөр замын суурь, чичиргээ тусгаарлах байгууламж, оптик эд анги суурилуулах субстрат зэрэг гол хэсгүүдэд ашигладаг. Эдгээр хэсгүүд нь нарийвчлал, тогтвортой байдал, байгаль орчныг тэсвэрлэх зэрэгт маш өндөр шаардлага тавьдаг. Боржингийн шинж чанар нь хагас дамжуулагч болон оптоэлектроникийн үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг бүрэн хангаж чаддаг. Дараах нь хэрэглээний тодорхой хувилбарууд болон давуу талуудын дүн шинжилгээ юм.
I. Хэрэглээний үндсэн хэсгүүд
Нарийвчлалтай хөдөлгөөнт платформууд (фотолитографийн машин, наагч машинд зориулсан вафель тавцан гэх мэт)
Энэ нь нано хэмжээст нарийвчлалтайгаар орчуулга, эргүүлэх хөдөлгөөнийг бий болгох, өрөм, оптик линз зэрэг нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг зөөвөрлөхөд ашиглагддаг.
Ердийн тоног төхөөрөмж: фотолитографийн машины ажлын хэсэг, хэмжих хэрэгслийн байрлал тогтоох тавцан.
Хөтөч төмөр замын суурь ба хүрээний бүтэц
Шугаман чиглүүлэгч ба агаарын флотацийн хөтөчийг суурилуулах суурь нь тоног төхөөрөмжийн үндсэн хөдөлгөөний механизмыг дэмждэг.
Ердийн тоног төхөөрөмж: хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын тоног төхөөрөмжийн механик хүрээ, оптик хяналтын багаж.
Чичиргээ тусгаарлах дэмжлэг ба тогтворжуулах бүтэц
Энэ нь гадаад чичиргээг тусгаарлахад хэрэглэгддэг (үйлдвэрийн шалнаас эсвэл тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын үеийн чичиргээ гэх мэт), оптик систем эсвэл нарийн машин механизмын тогтвортой байдлыг хангах.
Ердийн хувилбарууд: Оптик микроскоп ба лазер интерферометрийн суурь дэмжлэг.
Оптик эд анги суурилуулах субстрат
Толин тусгал, призм, лазер зэрэг оптик төхөөрөмжүүдийг засч, оптик замын системийн шугамын нарийвчлалын урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангах.
Ердийн тоног төхөөрөмж: Оптоэлектроник савлагааны төхөөрөмж, шилэн кабелийн холболтын систем.
Шуудангийн цаг: 2025-05-29