Боржин чулуу нь барилгын салбарт ихэвчлэн ашиглагддаг хатуу бөгөөд бат бөх материал юм. Гэсэн хэдий ч энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд, ялангуяа интеграл хэлхээ үйлдвэрлэх, боловсруулахад ашигтай шинж чанартай байдаг. Боржин чулуун ширээ, боржин чулуун блок зэрэг боржин чулуун эд ангиудыг тогтвортой байдал, хавтгай байдал, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент зэргээрээ өргөн ашигладаг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд боржин чулуун эд ангиудын үндсэн хэрэглээний нэг нь үйлдвэрлэлийн процесст байдаг. Интеграл хэлхээний үндсэн барилгын блок болох цахиурын хавтанг өндөр нарийвчлалтай, нарийвчлалтайгаар үйлдвэрлэх шаардлагатай. Процессын явцад ямар нэгэн гажуудал эсвэл хөдөлгөөн нь интеграл хэлхээний чанар, үйл ажиллагаанд нөлөөлж болзошгүй согог үүсгэж болзошгүй. Өндөр тогтвортой байдал, хавтгай чанараараа боржин чулуун ширээ нь хавтанг боловсруулах тоног төхөөрөмжийн сайн тавцан болдог. Эдгээр нь мөн процесст шаардлагатай халаалт, хөргөлтөөс үүдэлтэй дулааны тэлэлт, агшилтанд тэсвэртэй байдаг.
Боржин чулуун блокуудыг мөн хагас дамжуулагч боловсруулалтад дулааны тогтвортой байдлын үүднээс ашигладаг. Сийлбэр эсвэл тунадасжуулалтын процессын үед цахиурын вафлийн гадаргууг өөрчлөхийн тулд халуун хий эсвэл плазмыг ашигладаг. Процессыг үр дүнтэй, нарийвчлалтай явуулахын тулд вафлийн температурыг хянах шаардлагатай. Дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй боржин чулуун блокууд нь вафлийн температурыг тогтворжуулахад тусалдаг бөгөөд боловсруулсан материалын чанарт нөлөөлж болзошгүй температурын хэлбэлзлийн эрсдлийг бууруулдаг.
Үйлдвэрлэл болон боловсруулалтын процессоос гадна боржин чулуун эд ангиудыг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэмжил зүй, хяналтын үе шатанд ашигладаг. Хэмжилзүйн хэмжилтийг вафли дээрх бүтцийн хэмжээ, хэлбэр, байрлал нь шаардлагатай техникийн үзүүлэлтүүдэд нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд хийдэг. Боржин чулуун блокуудыг хэмжээст тогтвортой байдал, нарийвчлалын улмаас эдгээр хэмжилтэд лавлагаа стандарт болгон ашигладаг. Эдгээрийг мөн интеграл хэлхээний чанарыг өндөр томруулалтаар шалгадаг хяналтын үе шатанд ашигладаг.
Ерөнхийдөө хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд боржин чулуун эд ангиудын хэрэглээ сүүлийн жилүүдэд нэмэгдсэн. Интеграл хэлхээ үйлдвэрлэх, боловсруулахад өндөр нарийвчлал, нарийвчлал, тогтвортой байдлын хэрэгцээ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчид эдгээр материалыг нэвтрүүлэхэд хүргэсэн. Боржин чулуун өвөрмөц шинж чанар, тухайлбал хатуулаг, тогтвортой байдал, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь эдгээр процесст ашиглахад маш сайн сонголт болдог. Хагас дамжуулагчийн технологийн тасралтгүй хөгжил, сайжруулалтын ачаар боржин чулуун эд ангиудын хэрэглээ ирээдүйд улам бүр нэмэгдэх төлөвтэй байна.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 5