Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, нарийн хэмжих хэрэгсэл зэрэг салбарт боржин чулуун нарийн тавцангийн нарийвчлал нь төхөөрөмжийн ашиглалтын чанарыг шууд тодорхойлдог. Платформын нарийвчлалыг стандартад нийцүүлэхийн тулд үндсэн үзүүлэлтүүдийг илрүүлэх, стандарт нормыг дагаж мөрдөх гэсэн хоёр чиглэлээр хүчин чармайлт гаргах хэрэгтэй. .
Үндсэн үзүүлэлт илрүүлэх: Нарийвчлалын олон хэмжээст хяналт
Хавтгай байдлыг илрүүлэх: Жишиг хавтгайн "хавтгай байдлыг" тодорхойлох
Хавтгай байдал нь боржингийн нарийвчлалтай платформуудын үндсэн үзүүлэлт бөгөөд үүнийг ихэвчлэн лазер интерферометр эсвэл электрон түвшингээр хэмждэг. Лазер интерферометр нь лазер туяа цацруулж, гэрлийн хөндлөнгийн зарчмыг ашиглан платформын гадаргуу дээрх минутын долгионыг нарийн хэмжиж, микроноос доош түвшинд хүрэх нарийвчлалтай болно. Цахим түвшин нь олон удаа хөдөлж хэмжиж, платформын гадаргуугийн гурван хэмжээст контурын зургийг зурж, орон нутгийн цухуйлт, хонхорхой байгаа эсэхийг илрүүлдэг. Жишээлбэл, хагас дамжуулагч фотолитографийн машинд ашигладаг боржин чулуун тавцангууд нь ± 0.5μm/m тэгш байх ёстой бөгөөд энэ нь 1 метрийн урт дахь өндрийн зөрүү нь хагас микрометрээс хэтрэхгүй байх ёстой гэсэн үг юм. Зөвхөн өндөр нарийвчлалтай илрүүлэх төхөөрөмжөөр дамжуулан энэхүү хатуу стандартыг хангаж чадна. .
2. Шулуун байдлыг илрүүлэх: Шугаман хөдөлгөөний "шулуун" байдлыг хангах
Нарийвчлалтай хөдөлж буй хэсгүүдийг зөөвөрлөх тавцангийн хувьд шулуун байх нь маш чухал юм. Илрүүлэх нийтлэг аргууд нь утсан арга эсвэл лазер коллиматор юм. Утасны арга нь өндөр нарийвчлалтай ган утсыг түдгэлзүүлж, платформын гадаргуу болон ган утаснуудын хоорондох зайг харьцуулж шулуун байдлыг тодорхойлох явдал юм. Лазер коллиматор нь платформын чиглүүлэгч төмөр замын суурилуулах гадаргуугийн шугаман алдааг илрүүлэхийн тулд лазерын шугаман тархалтын шинж чанарыг ашигладаг. Шулуун байдал нь стандартын шаардлагад нийцэхгүй бол хөдөлгөөн хийх явцад тоног төхөөрөмжийг хөдөлгөж, боловсруулалт эсвэл хэмжилтийн нарийвчлалд нөлөөлнө. .
3. Гадаргуугийн барзгар байдлыг илрүүлэх: Холбоо барих "нарийн" байдлыг хангах
Платформын гадаргуугийн барзгар байдал нь эд ангиудыг суурилуулахад нөлөөлдөг. Ерөнхийдөө зүүг барзгар хэмжигч эсвэл оптик микроскопыг илрүүлэхэд ашигладаг. Зүүг хэлбэрийн багаж нь платформын гадаргууг нарийн датчикаар шүргэх замаар микроскопийн профилын өндрийн өөрчлөлтийг бүртгэдэг. Оптик микроскопууд нь гадаргуугийн бүтцийг шууд ажиглаж чаддаг. Өндөр нарийвчлалтай хэрэглээнд боржин чулуун тавцангийн гадаргуугийн тэгш бус байдлыг Ra≤0.05μm-ээр хянах шаардлагатай бөгөөд энэ нь толин тусгал мэт нөлөөлөлтэй тэнцэх бөгөөд угсралтын явцад нарийвчлалтай эд ангиуд нь нягт таарч, цоорхойноос үүссэн чичиргээ, шилжилтээс сэргийлнэ. .
Нарийвчлалын стандартыг дагаж мөрддөг: олон улсын хэм хэмжээ, аж ахуйн нэгжийн дотоод хяналт
Өнөөгийн байдлаар олон улсад ISO 25178, GB/T 24632 стандартыг боржин чулуун тавцангийн нарийвчлалыг тодорхойлох үндэслэл болгон түгээмэл ашигладаг бөгөөд тэгш байдал, шулуун байдал зэрэг үзүүлэлтүүдийн тодорхой ангилал байдаг. Нэмж дурдахад өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн аж ахуйн нэгжүүд ихэвчлэн илүү хатуу дотоод хяналтын стандартыг тогтоодог. Тухайлбал, гэрэл зургийн аппаратын боржин чулуун тавцангийн тэгш байдлын шаардлага олон улсын стандартаас 30%-иар өндөр байна. Туршилт хийхдээ хэмжсэн өгөгдлийг холбогдох стандарттай харьцуулах шаардлагатай. Зөвхөн стандартад бүрэн нийцсэн платформууд нь нарийн тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааг хангаж чадна. .
Боржингийн нарийн тавцангийн нарийвчлалыг шалгах нь системтэй төсөл юм. Гагцхүү тэгш байдал, тэгш байдал, гадаргуугийн тэгш бус байдал зэрэг үндсэн үзүүлэлтүүдийг нарийн шалгаж, олон улсын болон аж ахуйн нэгжийн стандартыг дагаж мөрдөж байж платформын өндөр нарийвчлал, найдвартай байдлыг баталгаажуулж, хагас дамжуулагч, нарийн багаж хэрэгсэл зэрэг өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн салбарт бат бөх суурийг тавьж чадна.
Шуудангийн цаг: 2025-05-21