1. Шулуун замын хажуугийн ажлын гадаргууд перпендикуляр байдал: Боржин чулууг хавтгай хавтан дээр тавина. 0.001 мм-ийн масштабаар тоноглогдсон хэмжигчийг стандарт дугуй баараар дамжуулж, стандарт квадрат дээр тэглэнэ. Үүний нэгэн адил хэмжигчийг шулуун шугамын нэг талд байрлуулна. Залгуурын хэмжигч нь тухайн талын перпендикулярын алдаа юм. Үүнтэй адилаар нөгөө талын перпендикулярын алдааг шалгаад хамгийн их алдааг авна.
2. Зэрэгцээ шулуун шугамын холбоо барих цэгийн талбайн харьцаа: Туршилт хийх шулуун шугамын ажлын гадаргуу дээр харуулах бодис түрхэнэ. Ажлын гадаргуу дээр тодорхой холбоо барих цэгүүдийг илрүүлэхийн тулд гадаргууг цутгамал төмрийн хавтан эсвэл тэгш өнцөгт дээр дор хаяж ижил нарийвчлалтай нунтаглана. Дараа нь 50 мм х 25 мм хэмжээтэй 2,5 мм х 2,5 мм хэмжээтэй 200 жижиг дөрвөлжин хэлбэртэй ил тод хуудсыг (жишээлбэл, гялгар шилэн хуудас) турших шулуутгагчны ажлын гадаргуу дээр аль ч байрлалд байрлуулна. Холбоо барих цэгүүдийг агуулсан квадрат бүрийн талбайн харьцааг (1/10 нэгжээр) ажигла. Дээрх харьцаануудын нийлбэрийг тооцоолж, 2-т хувааж, шалгасан талбайн контактын талбайн харьцааг гарга.
Гуравдугаарт, параллель захирагчийг захирагчийн төгсгөл бүрээс 2L/9 стандарт тулгуурын тэмдэглэгээнд тэнцүү өндөртэй блокоор дэмжинэ. Захирагчийн ажлын гадаргуугийн уртад (ерөнхийдөө 8-10 алхам, 50-аас 500 мм-ийн зайтай) тохирох туршилтын гүүрийг сонго. Дараа нь гүүрийг захирагчийн нэг төгсгөлд байрлуулж, тусгал эсвэл түвшинг бэхлээрэй. Гүүрийг захирагчийн нэг үзүүрээс нөгөө зах руу аажмаар хөдөлгөж, автоколлиматороос зай бүрийг 1" (эсвэл 0,005 мм/м) буюу 0,001 мм/м-ийн хэмжилттэй электрон түвшний (500 мм-ээс их ажлын гадаргуугийн урттай бол 1-р зэрэглэлийн хэмжигчийг 0-ээр тэмдэглэж болно). 0.01мм/м давхцах түвшин (2-р түвшний хувьд 0.02мм/м-ийн түвшинтэй хүрээ хэлбэрийн түвшинг ашиглаж болно) Түвшингийн ажлын гадаргуугийн тэгш байдлын алдаа нь 200 мм-ийн ажлын гадаргуугийн хувьд тэгш байдлын алдааг 50 мм эсвэл 10 мм-ийн гүүрний аргаар тодорхойлж болно.
IV. Зэрэгцээ түвшний ажлын дээд ба доод гадаргуу, ажлын гадаргуу ба доод тулгуур гадаргуугийн параллел байдал. Тохиромжтой хавтгай хавтан байхгүй бол түвшний хажуу талыг тулгуур гадаргуу дээр байрлуулж, түвшний өндрийн зөрүүг 0.002 мм-ийн хэмжилттэй хөшүүргийн микрометр эсвэл 0.002 мм-ийн микрометрээр хэмжиж болно.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 9-р сарын 04-ний өдөр