Голчлон дараах гол холбоосуудаар дамжуулан:
• Чанартай материал сонгох: Өндөр нарийвчлалтай боржингийн нарийн суурь үйлдвэрлэхийн тулд эхлээд жигд бүтэцтэй, нягт бүтэцтэй боржин чулуун материалыг сонгох хэрэгтэй. Энэ төрлийн боржингийн эрдсийн тоосонцор нь нарийн ширхэгтэй, жигд тархсан, өндөр хатуулаг, хүч чадалтай тул өндөр нарийвчлалтай тэгш байдлыг олж авах үндсэн нөхцлийг бүрдүүлдэг. Жишээлбэл, Жинань Грин, Тайшан ногоон болон бусад өндөр чанартай боржин чулуун сортууд нь тогтвортой физик шинж чанар, сайн боловсруулалтын шинж чанартай тул нарийн суурь үйлдвэрлэхэд ихэвчлэн ашиглагддаг.
• Барзгар хэлбэржүүлэлт: Том зүсэх төхөөрөмж ашиглан боржин чулуун түүхий эдийг суурийн эцсийн хэмжээтэй ойролцоо хоосон зайд зүсэж, дараа нь нарийн боловсруулалт хийх зай үлдээнэ. Энэ үе шатанд алмаазан хөрөөний ир зэрэг зүсэх хэрэгслийг ашиглан зүсэх гадаргуугийн тэгш байдал, босоо байдлыг хангахын тулд CNC програмчлалын тусламжтайгаар зүсэх хурд, тэжээлийн хурд, зүсэх замыг хянадаг бөгөөд дараагийн боловсруулалтанд илүү тогтмол бэлдэц гаргахын тулд тэгш байдлын алдааг тодорхой хязгаарт хянадаг.
• Нарийн нунтаглах: Барзгар боловсруулалтын дараа боржин чулуун суурийг нарийн нунтаглах шаардлагатай бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай тэгш байдлыг хангах гол процесс юм. Нунтаглах машиныг ихэвчлэн ашигладаг, нунтаглах дугуй эсвэл өөр өөр хэмжээтэй нунтаглах дискээр тоноглогдсон бөгөөд нунтаглах ажлыг бүдүүн ширхэгтэй, нарийн ширхэгтэй хүртэл алхам алхмаар гүйцэтгэдэг. Нэгдүгээрт, бүдүүн зүлгүүрийн материал нь боловсруулалтын тэтгэмжийн ихэнх хэсгийг хурдан арилгаж, эхлээд тэгш байдлыг сайжруулахад ашиглагддаг; Дараа нь нарийн нунтаглах зориулалттай илүү нарийн нунтаглах материалыг сольж, гадаргуугийн тэгш бус байдлыг улам бүр багасгаж, тэгш байдлын нарийвчлалыг сайжруулна. Нунтаглалтын явцад нунтаглалтын даралт, нунтаглалтын хурд, нунтаглах хугацааг нарийн хянах, түүнчлэн гаригийн нунтаглах, хоёр талт нунтаглах зэрэг нунтаглалтын дэвшилтэт процессуудыг ашиглан боржингийн суурийн гадаргуугийн тэгш байдлыг тасралтгүй сайжруулдаг.
• Өндөр нарийвчлалтай хэмжилт, эргэх холбоо: Боловсруулалтын явцад өндөр нарийвчлалтай хэмжих хэрэгслийг ашиглан боржингийн суурийн тэгш байдлыг бодит цаг хугацаанд хэмжих, хянах шаардлагатай. Түгээмэл хэрэглэгддэг хэмжих хэрэгсэл нь лазер интерферометр, электрон түвшин, координат хэмжих хэрэгсэл гэх мэт. Лазер интерферометр нь гэрлийн хөндлөнгийн зарчмыг ашиглан нанометр хүртэлх нарийвчлалтайгаар лазер туяа ялгаруулж онгоцны тэгш байдлыг нарийн хэмждэг. Хэмжих хэрэгсэл нь хэмжилтийн өгөгдлийг дахин боловсруулах төхөөрөмжийн хяналтын системд нийлүүлдэг бөгөөд хяналтын систем нь нунтаглалтын байрлал, даралт гэх мэт санал хүсэлтийн дагуу боловсруулалтын параметрүүдийг автоматаар тохируулж, битүү хэлхээний хяналтанд хүрэхийн тулд тэгш байдлын алдааг засч, тэгш байдал нь дизайны шаардлагад байнга ойртож байгааг баталгаажуулдаг.
• Гадаргууг боловсруулах, өнгөлөх: Нунтагласны дараа боржин чулуун суурийн гадаргууг өнгөлж, гадаргуугийн чанар, тэгш байдлыг улам сайжруулах шаардлагатай. Өнгөлгөөний процесс нь өнгөлгөөний хүрд болон өнгөлгөөний шингэнийг ашиглан гадаргуу дээрх бичил харуурын согогийг химийн болон механик үйлдлээр арилгаж, гадаргууг илүү тэгш, тэгш болгож, өндөр нарийвчлалтай тэгш байдлын эцсийн шаардлагыг хангадаг. Үүний зэрэгцээ ионы цацраг өнгөлгөө, соронзон геологийн өнгөлгөө гэх мэт өнгөлгөөний зарим дэвшилтэт технологийг боржин чулуун нарийн суурийг боловсруулахад ашигладаг бөгөөд энэ нь гадаргууг илүү нарийвчлалтай өнгөлж, хэт нарийн боловсруулалтын хэрэгцээг хангах боломжтой юм.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 10